ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਲਈ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਵਿਹਾਰਕ ਤਜਰਬਾ

ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਸਭ ਤੋਂ ਬੁਨਿਆਦੀ ਕਾਰਕਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵੈਕਿਊਮ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਪਰ ਜਮ੍ਹਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ "ਗੈਸ-ਮੁਕਤ" ਜਗ੍ਹਾ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਬਾਕੀ ਗੈਸਾਂ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸਾਂ, ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ, ਅਤੇ ਪੰਪਿੰਗ ਸਥਿਤੀਆਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਨਾਲ ਲਗਾਤਾਰ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ।

ਅਸਲ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ, ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਕੋਟਿੰਗ ਨੁਕਸ ਜੋ ਟਾਰਗੇਟ, ਕੈਥੋਡ, ਸਬਸਟਰੇਟ, ਜਾਂ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਜਾਪਦੇ ਹਨ, ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਅਸਥਿਰ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਵਾਪਸ ਲੱਭੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਅਸਥਿਰ ਫਿਲਮ ਰੰਗ, ਮਾੜੀ ਅਡੈਸ਼ਨ, ਅਸਧਾਰਨ ਫਿਲਮ ਰੋਧਕਤਾ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਆਰਸਿੰਗ, ਅਸਮਾਨ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ, ਪਿੰਨਹੋਲ ਅਤੇ ਬੈਚ-ਟੂ-ਬੈਚ ਪਰਿਵਰਤਨ ਵਰਗੀਆਂ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਅਕਸਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਜੁੜੀਆਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਲਈ, ਉਦਯੋਗਿਕ PVD ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਲਈ, ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਸਿਰਫ਼ ਗੈਸ-ਫਲੋ ਮੀਟਰ ਨੂੰ ਐਡਜਸਟ ਕਰਨ ਦੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਹੀਂ ਸਮਝਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ। ਇਹ ਇੱਕ ਤਾਲਮੇਲ ਵਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਬਕਾਇਆ ਗੈਸ ਰਚਨਾ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ-ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ, ਗੈਸ ਦਾ ਅੰਸ਼ਕ ਦਬਾਅ, ਪੰਪਿੰਗ ਕੰਡਕਟੈਂਸ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਥਿਤੀਆਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਫੀਡਬੈਕ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।

1. ਪਹਿਲਾ ਕਦਮ ਗੈਸ ਇੰਜੈਕਸ਼ਨ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਬੇਸ ਵੈਕਿਊਮ ਨੂੰ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰਨਾ ਹੈ।

ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਆਮ ਗਲਤੀ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਨਜ਼ਰਅੰਦਾਜ਼ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ-ਗੈਸ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ 'ਤੇ ਧਿਆਨ ਕੇਂਦਰਿਤ ਕਰਨਾ ਹੈ।

ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰਨ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ, ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਇੱਕ ਢੁਕਵੇਂ ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਕਾਫ਼ੀ ਘੱਟ ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਬਕਾਇਆ ਆਕਸੀਜਨ, ਪਾਣੀ ਦੀ ਭਾਫ਼, ਹਾਈਡਰੋਕਾਰਬਨ ਅਤੇ ਹੋਰ ਦੂਸ਼ਿਤ ਤੱਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਬਚੀਆਂ ਗੈਸਾਂ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਹਿੱਸਾ ਲੈ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਵਧ ਰਹੀ ਫਿਲਮ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਰਚਨਾ, ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਟ੍ਰਕਚਰ, ਅਡੈਸ਼ਨ, ਅਤੇ ਆਪਟੀਕਲ ਜਾਂ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਹ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ PVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜਦੋਂ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਜਾਂ ਆਕਸਾਈਡ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਇੱਛਤ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਨੂੰ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਬਾਕੀ ਬਚੇ ਬੇਕਾਬੂ ਆਕਸੀਜਨ ਜਾਂ ਪਾਣੀ ਦੇ ਭਾਫ਼ ਤੋਂ ਵੱਖਰਾ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ। ਨਹੀਂ ਤਾਂ, ਅਸਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਧੀ ਤੋਂ ਕਾਫ਼ੀ ਭਟਕ ਸਕਦਾ ਹੈ ਭਾਵੇਂ ਪੁੰਜ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਕੰਟਰੋਲਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰ ਰਿਹਾ ਹੋਵੇ।

ਵਿਹਾਰਕ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ, ਜੇਕਰ ਇੱਕੋ ਵਿਅੰਜਨ ਅਚਾਨਕ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕੋਟਿੰਗ ਨਤੀਜੇ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਪਹਿਲਾ ਸਵਾਲ ਹਮੇਸ਼ਾ ਇਹ ਨਹੀਂ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਕਿ ਕੀ ਟੀਚਾ ਸ਼ਕਤੀ ਬਦਲ ਗਈ ਹੈ। ਇਹ ਵੀ ਜਾਂਚ ਕਰਨਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ ਕਿ ਕੀ ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਪੰਪ-ਡਾਊਨ ਸਮਾਂ, ਚੈਂਬਰ ਸਫਾਈ, ਅਤੇ ਬਚੀ ਹੋਈ ਗੈਸ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਬਦਲ ਗਈਆਂ ਹਨ।

2. ਥੱਕ-ਹਾਰ ਵਾਲਾ ਵਿਵਹਾਰ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸੂਚਕ ਹੈ

ਇੱਕ ਸਿਹਤਮੰਦ ਵੈਕਿਊਮ ਸਿਸਟਮ ਵਿੱਚ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਪੰਪ-ਡਾਊਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹੋਣੀਆਂ ਚਾਹੀਦੀਆਂ ਹਨ।

ਜੇਕਰ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਲੋੜੀਂਦੇ ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਵਿੱਚ ਆਮ ਨਾਲੋਂ ਕਾਫ਼ੀ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਮਾਂ ਲੱਗਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਵਧੀ ਹੋਈ ਗੈਸਿੰਗ, ਗੰਦਗੀ, ਵੈਕਿਊਮ ਲੀਕ, ਪੰਪ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਗਿਰਾਵਟ, ਜਾਂ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਮੀ ਦਾ ਸੰਕੇਤ ਦੇ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਗੈਸ ਨਿਕਾਸ ਦੇ ਆਮ ਸਰੋਤਾਂ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ, ਫਿਕਸਚਰ, ਪੋਲੀਮਰ ਰਹਿੰਦ-ਖੂੰਹਦ, ਵੈਕਿਊਮ ਗਰੀਸ, ਦੂਸ਼ਿਤ ਚੈਂਬਰ ਸਤਹਾਂ, ਅਤੇ ਸੋਖੀ ਹੋਈ ਨਮੀ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ। ਕੁਝ ਸਮੱਗਰੀ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਇੱਕ ਸਵੀਕਾਰਯੋਗ ਦਬਾਅ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਵੀ ਗੈਸਾਂ ਛੱਡਣਾ ਜਾਰੀ ਰੱਖ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੌਰਾਨ ਅਸਥਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਲਈ, ਪੰਪ-ਡਾਊਨ ਸਮਾਂ, ਅੰਤਮ ਦਬਾਅ, ਦਬਾਅ ਵਧਣ ਦੀ ਦਰ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧ ਵੈਕਿਊਮ ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਬਾਰੇ ਕੀਮਤੀ ਜਾਣਕਾਰੀ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਉਤਪਾਦਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ, ਪੰਪਿੰਗ ਸਿਸਟਮ ਤੋਂ ਅਲੱਗ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਦਬਾਅ-ਵਧਣ ਦੇ ਵਿਵਹਾਰ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਨਾਲ ਵੀ ਅਸਲ ਲੀਕ ਅਤੇ ਆਮ ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਵਿੱਚ ਫਰਕ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਮਿਲ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਸਮੱਸਿਆ ਨਿਪਟਾਰਾ ਦੌਰਾਨ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਾਭਦਾਇਕ ਹੈ।

3. ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ ਆਵਾਜਾਈ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ

ਇੱਕ ਢੁਕਵਾਂ ਬੇਸ ਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਗੈਸ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਦਬਾਅ ਦੇ ਸ਼ਾਸਨ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂਆਂ, ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਦੇ ਔਸਤ ਮੁਕਤ ਮਾਰਗ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ ਇਹ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ, ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ, ਕਣ ਖਿੰਡਾਉਣ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੀ ਕੋਣੀ ਵੰਡ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਘੱਟ ਦਬਾਅ 'ਤੇ, ਸਪਟਰਡ ਸਪੀਸੀਜ਼ ਘੱਟ ਟੱਕਰਾਂ ਨਾਲ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚੋਂ ਲੰਘ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਵਧੇਰੇ ਦਿਸ਼ਾਤਮਕ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਕੁਝ ਖਾਸ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਲਾਭਦਾਇਕ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ ਪਰ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਤਿੰਨ-ਅਯਾਮੀ ਹਿੱਸਿਆਂ 'ਤੇ ਪਰਛਾਵੇਂ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਨੂੰ ਵਧਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਦਬਾਅ ਵਧਦਾ ਹੈ, ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਸਪੀਸੀਜ਼ ਅਤੇ ਗੈਸ ਅਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਟੱਕਰਾਂ ਵਧੇਰੇ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਫਲਕਸ ਹੋਰ ਖਿੰਡਿਆ ਹੋਇਆ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਰੀਸੈਸਡ ਸਤਹਾਂ 'ਤੇ ਕਵਰੇਜ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਪਰ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਵੀ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਰੂਪ ਵਿਗਿਆਨ ਨੂੰ ਬਦਲ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਸਿੱਟੇ ਵਜੋਂ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਦੇ ਦਬਾਅ ਨੂੰ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਮੁੱਲ ਵਜੋਂ ਨਹੀਂ ਮੰਨਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਜਿਸਨੂੰ "ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੈੱਟ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੈ।" ਇਹ ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵੇਰੀਏਬਲ ਹੈ ਜੋ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਦੇ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਗਤੀ ਵਿਗਿਆਨ ਨੂੰ ਸਿੱਧਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।

4. ਗੈਸ ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਦਬਾਅ ਇੱਕੋ ਚੀਜ਼ ਨਹੀਂ ਹਨ।

ਵਿਹਾਰਕ PVD ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ, ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ (MFC) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਗੈਸ ਇਨਪੁੱਟ ਅਤੇ ਪੰਪਿੰਗ ਸਮਰੱਥਾ ਵਿਚਕਾਰ ਸੰਤੁਲਨ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਇਹ ਫ਼ਰਕ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

ਇੱਕੋ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ ਜ਼ਰੂਰੀ ਨਹੀਂ ਕਿ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵੈਕਿਊਮ-ਸਿਸਟਮ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕੋ ਜਿਹਾ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ ਪੈਦਾ ਕਰੇ। ਜੇਕਰ ਪੰਪਿੰਗ ਸਪੀਡ, ਥ੍ਰੋਟਲ-ਵਾਲਵ ਸਥਿਤੀ, ਚੈਂਬਰ ਚਾਲਕਤਾ, ਜਾਂ ਅੰਦਰੂਨੀ ਗੈਸ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਮਾਰਗ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਦਬਾਅ ਵੀ ਬਦਲ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜੇਕਰ ਕੋਈ ਥ੍ਰੋਟਲ ਵਾਲਵ ਜਾਂ ਪੰਪਿੰਗ ਸਿਸਟਮ ਅਸਧਾਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੰਮ ਕਰ ਰਿਹਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਓਪਰੇਟਰ ਦਬਾਅ ਭਟਕਣ ਦੀ ਭਰਪਾਈ ਲਈ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਧਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ ਦਬਾਅ ਅਸਥਾਈ ਤੌਰ 'ਤੇ ਟੀਚੇ ਦੇ ਮੁੱਲ 'ਤੇ ਵਾਪਸ ਆ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਸਲ ਗੈਸ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਥਿਤੀਆਂ ਪਹਿਲਾਂ ਹੀ ਬਦਲ ਗਈਆਂ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਲਈ, ਤਜਰਬੇਕਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਦਬਾਅ ਦੀ ਇਕੱਠੇ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਨਾ ਕਿ ਕਿਸੇ ਵੀ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਨੂੰ ਇਕੱਲੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸੰਦਰਭ ਵਜੋਂ ਸੁਤੰਤਰ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਣ ਦੀ ਬਜਾਏ।

5. ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਧੇਰੇ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ PVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, ਅਤੇ ਹੋਰ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਲਈ, ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਕਾਫ਼ੀ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਫਿਲਮ ਦੇ ਗਠਨ ਵਿੱਚ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਹਿੱਸਾ ਲੈਂਦੀ ਹੈ। ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ, ਆਕਸੀਜਨ, ਐਸੀਟਲੀਨ, ਮੀਥੇਨ, ਜਾਂ ਹੋਰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸਾਂ ਅੰਤਿਮ ਫਿਲਮ ਰਚਨਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਜਾਂ ਥੁੱਕੀਆਂ ਹੋਈਆਂ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇਸ ਲਈ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਦੇ ਅੰਸ਼ਕ ਦਬਾਅ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਛੋਟੀ ਜਿਹੀ ਤਬਦੀਲੀ ਫਿਲਮ ਦੇ ਗੁਣਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਬਦੀਲੀ ਲਿਆ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਅਧੂਰਾ ਨਾਈਟ੍ਰੇਡੇਸ਼ਨ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਵਿਵਹਾਰ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਰਚਨਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ ਵੀ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਜ਼ਹਿਰ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਪਰਤ ਬਣਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲਦੀ ਹੈ।

ਇਹੀ ਕਾਰਨ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਲਈ ਅਕਸਰ ਰਵਾਇਤੀ ਧਾਤੂ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਸੂਝਵਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

6. ਟਾਰਗੇਟ ਪੋਇਜ਼ਨਿੰਗ ਇੱਕ ਆਮ ਵਾਯੂਮੰਡਲ-ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਮੱਸਿਆ ਹੈ।

ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਟਾਰਗੇਟ ਜ਼ਹਿਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨਾਲ ਜੁੜੇ ਸਭ ਤੋਂ ਆਮ ਮੁੱਦਿਆਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ।

ਜਦੋਂ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਦਾ ਅੰਸ਼ਕ ਦਬਾਅ ਇੱਕ ਨਿਸ਼ਚਿਤ ਸੀਮਾ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਤ੍ਹਾ ਇੱਕ ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਪਰਤ ਦੁਆਰਾ ਢੱਕੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਫਿਰ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਇੱਕ ਧਾਤੂ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਵਸਥਾ ਤੋਂ ਇੱਕ ਜ਼ਹਿਰੀਲੀ ਅਵਸਥਾ ਵੱਲ ਤਬਦੀਲ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਇਹ ਤਬਦੀਲੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦਰ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ, ਸੈਕੰਡਰੀ-ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਨਿਕਾਸ, ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ, ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਰਚਨਾ ਵਿੱਚ ਬਦਲਾਅ ਲਿਆ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਸਮੱਸਿਆ ਹੋਰ ਵੀ ਚੁਣੌਤੀਪੂਰਨ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਥਿਤੀ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧ ਅਕਸਰ ਗੈਰ-ਰੇਖਿਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਛੋਟੀ ਜਿਹੀ ਤਬਦੀਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਅਸਪਸ਼ਟ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੱਡੀ ਤਬਦੀਲੀ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਉੱਚ-ਆਵਾਜ਼ ਵਾਲੇ ਉਤਪਾਦਨ ਲਈ, ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਨਾ ਕਾਫ਼ੀ ਨਹੀਂ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਵਧੇਰੇ ਉੱਨਤ ਸਿਸਟਮ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਜਮ੍ਹਾ ਵਿੰਡੋ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਲਈ ਆਪਟੀਕਲ ਨਿਕਾਸ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਅੰਸ਼ਕ-ਦਬਾਅ ਮਾਪ, ਜਾਂ ਹੋਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸੰਕੇਤਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਬੰਦ-ਲੂਪ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।

7. ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਸਫਾਈ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਿਰਫ਼ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਪ੍ਰਣਾਲੀ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਨਹੀਂ ਕਰਦਾ। ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਸਥਿਤੀ ਵੀ ਓਨੀ ਹੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

ਵਾਰ-ਵਾਰ ਉਤਪਾਦਨ ਚੱਕਰਾਂ ਦੌਰਾਨ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਚੈਂਬਰ ਦੀਆਂ ਕੰਧਾਂ, ਸ਼ੀਲਡਾਂ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਫਿਕਸਚਰ ਅਤੇ ਹੋਰ ਅੰਦਰੂਨੀ ਹਿੱਸਿਆਂ 'ਤੇ ਇਕੱਠੀ ਹੁੰਦੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਣਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਜਾਂ ਆਊਟਗੈਸਿੰਗ ਦੇ ਸਰੋਤ ਬਣ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਕੁਝ ਜਮ੍ਹਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ ਨਾਲ ਵੀ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ ਜਾਂ ਬਾਅਦ ਦੇ ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਓਪਰੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਪਹਿਲਾਂ ਸੋਖੀਆਂ ਗਈਆਂ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਛੱਡ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਇਹ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਅਸਲ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਮਾਹੌਲ ਨੂੰ ਬਦਲ ਸਕਦਾ ਹੈ ਭਾਵੇਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਬਦਲਾਅ ਨਾ ਹੋਵੇ।

ਇਸ ਕਾਰਨ ਕਰਕੇ, ਨਿਯਮਤ ਚੈਂਬਰ ਸਫਾਈ, ਸ਼ੀਲਡ ਬਦਲਣਾ, ਫਿਕਸਚਰ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ, ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ-ਸੀਲ ਨਿਰੀਖਣ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਦੇ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹਿੱਸੇ ਹਨ।

ਇੱਕ ਸਥਿਰ PVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਵਿਅੰਜਨ ਦਾ ਨਤੀਜਾ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਇਹ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਇੱਕ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਥਿਰ ਭੌਤਿਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ।

8. ਗੈਸ ਵੰਡ ਗੈਸ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਜਿੰਨੀ ਮਾਇਨੇ ਰੱਖਦੀ ਹੈ।

ਇੱਕ ਹੋਰ ਵਿਹਾਰਕ ਮੁੱਦਾ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਦੀ ਕੁੱਲ ਮਾਤਰਾ ਇੱਕ ਸਮਾਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਨਹੀਂ ਦਿੰਦੀ।

ਗੈਸ ਇਨਲੇਟ, ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ, ਬੈਫਲ, ਪੰਪਿੰਗ ਪੋਰਟ, ਥ੍ਰੋਟਲ ਵਾਲਵ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਹੋਲਡਰ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਸਥਿਤੀ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ ਕਿ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਗੈਸ ਕਿਵੇਂ ਵੰਡੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਮਾੜੀ ਗੈਸ ਵੰਡ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਜਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਸਥਾਨਕ ਭਿੰਨਤਾਵਾਂ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਨਤੀਜਾ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਫਿਲਮ ਰਚਨਾਵਾਂ ਜਾਂ ਮੋਟਾਈ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਇਹ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੱਡੇ-ਖੇਤਰ ਵਾਲੇ ਕੋਟਿੰਗ ਸਿਸਟਮਾਂ ਅਤੇ ਉੱਚ ਲੋਡਿੰਗ ਸਮਰੱਥਾ ਵਾਲੇ ਉਤਪਾਦਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ।

ਇਸ ਲਈ, ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਂਦੇ ਸਮੇਂ, ਗੈਸ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਨੂੰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਸਰੋਤ ਸੰਰਚਨਾ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਰੋਟੇਸ਼ਨ, ਪੰਪਿੰਗ ਜਿਓਮੈਟਰੀ, ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਬਣਤਰ ਦੇ ਨਾਲ ਵਿਚਾਰਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।

9. ਜਦੋਂ ਪਰਤ ਅਚਾਨਕ ਬਦਲ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਪਹਿਲਾਂ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰੋ।

ਅਸਲ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਅਕਸਰ ਰੰਗ, ਕਠੋਰਤਾ, ਚਿਪਕਣ, ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ, ਜਾਂ ਬਿਜਲੀ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਅਚਾਨਕ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਗਟ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਜਦੋਂ ਅਜਿਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਪਾਵਰ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਬਾਈਸ, ਜਾਂ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਟਾਈਮ ਨੂੰ ਤੁਰੰਤ ਐਡਜਸਟ ਕਰਨਾ ਲੁਭਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਪਹਿਲਾਂ ਵਾਯੂਮੰਡਲ-ਸਬੰਧਤ ਵੇਰੀਏਬਲਾਂ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕੀਤੀ ਜਾਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।

ਇੱਕ ਵਿਹਾਰਕ ਸਮੱਸਿਆ-ਨਿਪਟਾਰਾ ਕ੍ਰਮ ਮੌਜੂਦਾ ਉਤਪਾਦਨ ਡੇਟਾ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਆਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਤੀ ਨਾਲ ਕਰਨਾ ਹੈ: ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਪੰਪ-ਡਾਊਨ ਸਮਾਂ, ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ-ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਥ੍ਰੋਟਲ-ਵਾਲਵ ਸਥਿਤੀ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ/ਕਰੰਟ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ, ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦਰ।

ਜੇਕਰ ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਕੋਈ ਇੱਕ ਮਾਪਦੰਡ ਬਦਲ ਗਿਆ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਸਿਰਫ਼ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਅੰਜਨ ਨੂੰ ਸੋਧਣ ਨਾਲੋਂ ਵਧੇਰੇ ਸਿੱਧੀ ਵਿਆਖਿਆ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਜੇਕਰ ਗੈਸ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਸੈਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਬਦਲਾਅ ਨਹੀਂ ਹੈ ਪਰ ਚੈਂਬਰ ਦਾ ਦਬਾਅ ਬਦਲ ਗਿਆ ਹੈ, ਤਾਂ ਸਮੱਸਿਆ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਬਜਾਏ ਪੰਪਿੰਗ ਸਿਸਟਮ, ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ-ਕੰਟਰੋਲ ਵਾਲਵ, ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ, ਚੈਂਬਰ ਕੰਡਕਟੈਂਸ, ਜਾਂ ਲੀਕੇਜ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।

10. ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸਿਸਟਮ-ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਮੱਸਿਆ ਹੈ।

ਉਦਯੋਗਿਕ ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਤੋਂ ਇਕੱਠਾ ਹੋਇਆ ਵਿਹਾਰਕ ਤਜਰਬਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਸਮੁੱਚੇ ਵੈਕਿਊਮ ਸਿਸਟਮ ਤੋਂ ਵੱਖ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ।

ਵੈਕਿਊਮ ਪੰਪ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਪੰਪਿੰਗ ਸਮਰੱਥਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਗੈਸ-ਡਿਲੀਵਰੀ ਸਿਸਟਮ ਗੈਸ ਇਨਪੁੱਟ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਥ੍ਰੋਟਲ ਵਾਲਵ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਦਬਾਅ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤ੍ਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਰੋਤ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਗੈਸ ਕਿਵੇਂ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਨਾਲ ਇੰਟਰੈਕਟ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਿਸਟਮ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਵਰਕਪੀਸ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨਾਲ ਕਿਵੇਂ ਇੰਟਰੈਕਟ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਇਹ ਸਿਸਟਮ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਇੱਕ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਕਈ ਹੋਰਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਇਸ ਲਈ, ਇੱਕ ਪਰਿਪੱਕ PVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਪੈਰਾਮੀਟਰ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਨ ਦੀ ਬਜਾਏ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੰਡੋ ਸਥਾਪਤ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ। ਉਦੇਸ਼ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ ਕਿ ਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ, ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਥਿਤੀਆਂ, ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡ ਪੂਰੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੌਰਾਨ ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਸੀਮਾ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰਹਿਣ।

ਸਿੱਟਾ

ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਸਥਿਰ ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੱਤਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ। ਬੇਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਅਤੇ ਬਕਾਇਆ ਗੈਸ ਪ੍ਰਬੰਧਨ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਦਬਾਅ, ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ-ਗੈਸ ਅੰਸ਼ਕ ਦਬਾਅ, ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਜ਼ਹਿਰ, ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਸਫਾਈ ਤੱਕ, ਹਰੇਕ ਕਾਰਕ ਅੰਤਿਮ ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਰਵਾਇਤੀ PVD ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਲਈ, ਸਥਿਰ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਫਿਲਮ ਵਿਕਾਸ ਲਈ ਇੱਕ ਨੀਂਹ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ, ਸਹੀ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਹੋਰ ਵੀ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਗੈਸ ਰਚਨਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਫਿਲਮ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਹਿੱਸਾ ਲੈਂਦੀ ਹੈ।

ਇਸ ਲਈ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦਾ ਅਸਲ ਉਦੇਸ਼ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਖਾਸ ਦਬਾਅ ਜਾਂ ਗੈਸ-ਪ੍ਰਵਾਹ ਮੁੱਲ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਇਹ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਜਨਨਯੋਗ ਜਮ੍ਹਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਸਥਾਪਤ ਕਰਨਾ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ, ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਵਾਯੂਮੰਡਲ ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਰਹਿੰਦੇ ਹਨ।

ਉਦਯੋਗਿਕ ਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ, ਇਸ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਪੰਪਿੰਗ ਸਿਸਟਮ, ਗੈਸ-ਡਿਲੀਵਰੀ ਸਿਸਟਮ, ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ-ਕੰਟਰੋਲ ਸਿਸਟਮ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਰੋਤ, ਚੈਂਬਰ ਬਣਤਰ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ-ਕੰਟਰੋਲ ਸੌਫਟਵੇਅਰ ਦੇ ਤਾਲਮੇਲ ਵਾਲੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

-ਇਹ ਲੇਖ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਨਿਰਮਾਤਾਜ਼ੇਨਹੂਆ ਵੈਕਿਊਮ