በቫክዩም ሽፋን ላይ በከባቢ አየር ቁጥጥር ውስጥ ተግባራዊ ልምድ

በቫክዩም ሽፋን ውስጥ፣ የከባቢ አየር ቁጥጥር የፊልም ጥራትን እና የሂደቱን መረጋጋት ከሚነኩ በጣም መሠረታዊ ነገሮች አንዱ ነው። የሽፋን ክፍሉ በቫክዩም ስር ቢሠራም፣ የማጠራቀሚያ አካባቢው ሙሉ በሙሉ “ጋዝ የሌለው” ቦታ አይደለም። የቀሪ ጋዞች፣ የሂደት ጋዞች፣ ምላሽ ሰጪ ጋዞች፣ የጋዝ ፍሰት፣ የስራ ግፊት እና የፓምፕ ሁኔታዎች ከፕላዝማ እና ከተቀማጭ ዝርያዎች ጋር ያለማቋረጥ ይገናኛሉ።

በእውነተኛ ምርት ውስጥ፣ ከዒላማው፣ ከካቶድ፣ ከንጣፍ ወይም ከኃይል አቅርቦት ጋር የተያያዙ የሚመስሉ ብዙ የሽፋን ጉድለቶች በመጨረሻ ወደ ያልተረጋጋ የከባቢ አየር ቁጥጥር ሊመለሱ ይችላሉ። እንደ ያልተረጋጋ የፊልም ቀለም፣ ደካማ ማጣበቂያ፣ ያልተለመደ የፊልም መቋቋም፣ ከመጠን በላይ ቅስት፣ ያልተስተካከለ የፊልም ውፍረት፣ የፒንሆል ቀዳዳዎች እና የባች-ወደ-ባች ልዩነት ያሉ ችግሮች ብዙውን ጊዜ ከሂደቱ ከባቢ አየር ለውጦች ጋር በቅርበት የተቆራኙ ናቸው።

ስለዚህ፣ ለኢንዱስትሪ PVD ስርዓቶች፣ የከባቢ አየር ቁጥጥር የጋዝ-ፍሰት መለኪያን ማስተካከል ብቻ ተደርጎ መታየት የለበትም። የመሠረት ግፊትን፣ የተረፈ የጋዝ ስብጥርን፣ የሂደት-ጋዝ ፍሰትን፣ የስራ ግፊትን፣ የጋዝ ከፊል ግፊትን፣ የፓምፕ ኮንዳክሽንን፣ የፕላዝማ ሁኔታዎችን እና ምላሽ ሰጪ-ጋዝ ግብረመልስን የሚያካትት የተቀናጀ ሂደት ነው።

1. የመጀመሪያው እርምጃ የጋዝ መርፌ ሳይሆን የመሠረቱን ቫክዩም መቆጣጠር ነው

በምርት ውስጥ የተለመደ ስህተት የቫክዩም ክፍሉን ሁኔታ ችላ ብሎ በሂደት-ጋዝ መለኪያዎች ላይ ማተኮር ነው።

የሂደት ጋዞችን ከማስገባትዎ በፊት የሽፋን ክፍሉ ተገቢውን የመሠረት ግፊት መድረስ አለበት። በቂ ዝቅተኛ የመሠረት ግፊት የተረፈ ኦክስጅንን፣ የውሃ ትነት፣ ሃይድሮካርቦኖችን እና ሌሎች ብክለቶችን ለመቀነስ ይረዳል። እነዚህ ቀሪ ጋዞች በማጠራቀሚያ ሂደት ውስጥ ሊሳተፉ እና በማደግ ላይ ባለው ፊልም ውስጥ ሊካተቱ ይችላሉ፣ ይህም የፊልም ቅንብርን፣ ማይክሮስትራክቸርን፣ ማጣበቅን እና የኦፕቲካል ወይም የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ይነካል።

ይህ በተለይ ለሪአክቲቭ PVD ሂደቶች በጣም አስፈላጊ ነው። ለምሳሌ፣ ናይትሬይድ ወይም ኦክሳይድ ሲከማች፣ የታሰበው ምላሽ ሰጪ ጋዝ ከቁጥጥር ውጪ ከሆነው ኦክስጅን ወይም በክፍሉ ውስጥ ከሚቀረው የውሃ ትነት መለየት አለበት። አለበለዚያ፣ የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያው በመደበኛነት እየሰራ ቢሆንም፣ ትክክለኛው ምላሽ ሰጪ ከባቢ አየር ከሂደቱ የምግብ አሰራር በእጅጉ ሊርቅ ይችላል።

በተግባራዊ ምርት ውስጥ፣ ተመሳሳይ የምግብ አዘገጃጀት መመሪያ በድንገት የተለያዩ የሽፋን ውጤቶችን ካመጣ፣ የመጀመሪያው ጥያቄ ሁልጊዜ የታለመው ኃይል ተለውጧል ወይ የሚለው መሆን የለበትም። እንዲሁም የመሠረት ግፊት፣ የፓምፕ-መውረጃ ጊዜ፣ የክፍሉ ንፅህና እና የተረፈ ጋዝ ሁኔታዎች ተለውጠዋል ወይ የሚለውን ማረጋገጥ አስፈላጊ ነው።

2. የፓምፕ-ዳውን ባህሪ አስፈላጊ የሂደት አመልካች ነው

ጤናማ የቫክዩም ሲስተም በአንጻራዊ ሁኔታ የተረጋጋ እና ተደጋጋሚ የፓምፕ-ዳውንድ ባህሪያት ሊኖረው ይገባል።

ክፍሉ የሚፈለገውን የመሠረት ግፊት ለመድረስ ከወትሮው በላይ ረዘም ያለ ጊዜ የሚወስድ ከሆነ፣ ይህ የጋዝ መጨመር፣ ብክለት፣ የቫክዩም መፍሰስ፣ የፓምፕ አፈጻጸም መበላሸት ወይም በክፍሉ ውስጥ ከመጠን በላይ እርጥበት መኖሩን ሊያመለክት ይችላል።

የተለመዱ የጋዝ ማስወገጃ ምንጮች የንጥረ ነገሮች ቁሳቁሶች፣ እቃዎች፣ የፖሊመር ቅሪቶች፣ የቫክዩም ቅባት፣ የተበከለ የክፍል ወለል እና የተዋጠ እርጥበት ያካትታሉ። አንዳንድ ቁሳቁሶች ክፍሉ ተቀባይነት ያለው የሚመስል ግፊት ከደረሰ በኋላ ጋዞችን መልቀቅ ሊቀጥሉ ይችላሉ፣ ይህም በሚከማችበት ጊዜ ያልተረጋጋ የሂደት ሁኔታ ያስከትላል።

ስለዚህ፣ በፓምፕ-ማውረድ ጊዜ፣ የመጨረሻ ግፊት፣ የግፊት መጨመር ፍጥነት እና የሂደት መረጋጋት መካከል ያለው ግንኙነት ስለ ቫክዩም ሲስተም ሁኔታ ጠቃሚ መረጃ ሊሰጥ ይችላል።

ለማምረቻ መሳሪያዎች፣ ከፓምፕ ሲስተም ከተገለሉ በኋላ የግፊት መጨመር ባህሪን መከታተል በእውነተኛ ፍሳሽ እና በተለመደው የጋዝ መጨፍለቅ መካከል ያለውን ልዩነት ለመለየት ይረዳል። ይህ በተለይ በመላ ፍለጋ ወቅት ጠቃሚ ነው።

3. የሥራ ጫና የትራንስፖርት አካባቢን ይወስናል

ተገቢውን የመሠረት ቫክዩም ካገኙ በኋላ የሂደት ጋዝ ይተዋወቃል እና ክፍሉ ወደ ሥራ ግፊት ስርዓት ይገባል።

የሥራ ግፊት በቀጥታ የተበተኑ አቶሞች፣ አዮኖች እና ኤሌክትሮኖች አማካይ ነፃ መንገድ ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል። ስለዚህ የፕላዝማ ባህሪያትን፣ የተከማቸ መጠንን፣ አዮናይዝሽን፣ የቅንጣት መበታተንን እና የተከማቸ ፍሰትን አንግል ስርጭት ይነካል።

በአንጻራዊ ሁኔታ ዝቅተኛ ግፊት ሲኖር፣ የተተፉ ዝርያዎች በክፍሉ ውስጥ ጥቂት ግጭቶች ሲኖሩባቸው ሊጓዙ ይችላሉ፣ ይህም አቅጣጫዊ የሆነ የማጠራቀሚያ ፍሰት ያስከትላል። ይህ ለተወሰኑ አፕሊኬሽኖች ጠቃሚ ሊሆን ይችላል ነገር ግን ውስብስብ በሆኑ ሶስት አቅጣጫዊ ክፍሎች ላይ የጥላ ተፅእኖዎችን ሊጨምር ይችላል።

ግፊቱ እየጨመረ በሄደ ቁጥር፣ በማጠራቀሚያ ዝርያዎች እና በጋዝ ሞለኪውሎች መካከል የሚፈጠሩ ግጭቶች በተደጋጋሚ ይከሰታሉ። የማጠራቀሚያ ፍሰቱ የበለጠ የተበታተነ ይሆናል፣ ይህም በተሸፈኑ ቦታዎች ላይ ያለውን ሽፋን ሊያሻሽል ይችላል ነገር ግን የማጠራቀሚያ ቅልጥፍናን ሊቀንስ እና የፊልም ሞርፎሎጂን ሊለውጥ ይችላል።

በዚህም ምክንያት፣ የሥራ ጫና "በትክክል መቀመጥ ያለበት" እሴት ብቻ ተደርጎ መታየት የለበትም። በቀጥታ የተከማቸውን ዝርያ የትራንስፖርት ኪነቲክስ ላይ ተጽዕኖ የሚያሳድር የሂደት ተለዋዋጭ ነው።

4. የጋዝ ፍሰት እና ግፊት አንድ አይነት አይደሉም

በተግባራዊ የPVD አሠራር ውስጥ የጋዝ ፍሰት አብዛኛውን ጊዜ የሚቆጣጠረው የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያ (MFC) በመጠቀም ሲሆን የክፍል ግፊት ደግሞ የሚለካው በጋዝ ግብዓት እና በፓምፕ አቅም መካከል ባለው ሚዛን ነው።

ይህ ልዩነት እጅግ በጣም አስፈላጊ ነው።

ተመሳሳይ የጋዝ ፍሰት መጠን በተለያዩ የቫክዩም-ሲስተም ሁኔታዎች ውስጥ ተመሳሳይ የሥራ ግፊት ላያመጣ ይችላል። የፓምፑ ፍጥነት፣ የስሮትል-ቫልቭ አቀማመጥ፣ የቻምበር ኮንዳክሽን ወይም የውስጥ ጋዝ-ፍሰት መንገድ ከተቀየረ፣ የሚፈጠረው ግፊትም ሊለወጥ ይችላል።

ለምሳሌ፣ የስትሮትል ቫልቭ ወይም የፓምፕ ሲስተም ባልተለመደ ሁኔታ እየሰራ ከሆነ፣ ኦፕሬተሩ የግፊት መዛባትን ለማካካስ የጋዝ ፍሰትን ሊጨምር ይችላል። ግፊቱ ለጊዜው ወደ ኢላማው እሴት ሊመለስ ቢችልም፣ ትክክለኛው የጋዝ ፍሰት እና የፕላዝማ ሁኔታዎች ቀድሞውኑ ተለውጠው ሊሆን ይችላል።

ስለዚህ፣ ልምድ ያላቸው የሂደት መሐንዲሶች በአጠቃላይ የጋዝ ፍሰትን እና የክፍል ግፊትን አንድ ላይ ይቆጣጠራሉ፣ ሁለቱንም መለኪያዎች በተናጥል እንደ ብቸኛ የሂደት ማጣቀሻ ከመጠቀም ይልቅ።

5. ምላሽ ሰጪ የጋዝ መቆጣጠሪያ የበለጠ ስሜታዊ ነው

እንደ TiN፣ CrN፣ TiAlN፣ Al₂O₃፣ SiO₂ እና ሌሎች የተዋሃዱ ሽፋኖች ላሉ ምላሽ ሰጪ የPVD ሂደቶች፣ የከባቢ አየር ቁጥጥር በጣም ውስብስብ ይሆናል።

ምላሽ ሰጪው ጋዝ በቀጥታ በፊልሙ መፈጠር ውስጥ ይሳተፋል። ናይትሮጅን፣ ኦክሲጅን፣ አሲቲሊን፣ ሚቴን ወይም ሌሎች ምላሽ ሰጪ ጋዞች የመጨረሻውን የፊልም ቅንብር ለመወሰን ከተተነፈሱ ወይም ከተበተኑ ዝርያዎች ጋር ምላሽ ሊሰጡ ይችላሉ።

ስለዚህ በፊልም ባህሪያት ላይ ከፍተኛ ለውጥ ሊያስከትል የሚችለው በሪአክቲቭ-ጋዝ ከፊል ግፊት ላይ ትንሽ ለውጥ ነው።

ለምሳሌ፣ በቂ ያልሆነ የናይትሮጅን ፍሰት ያልተሟላ ናይትሬዲሽን ሊያስከትል ይችላል፣ ከመጠን በላይ ናይትሮጅን ደግሞ የተከማቸ መጠን፣ የፕላዝማ ባህሪያት፣ የታለመ ባህሪ እና የፊልም ቅንብር ላይ ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል። ምላሽ ሰጪ ማግኔትሮን ስፐተርቲንግ ውስጥ፣ ከመጠን በላይ ምላሽ ሰጪ-ጋዝ መግቢያ ወደ ኢላማ መመረዝ ሊያመራ ይችላል፣ በዚህም ምክንያት የተዋሃደ ንብርብር በዒላማው ወለል ላይ ይፈጠራል እና የስፐተርቲንግ ባህሪያትን ይለውጣል።

ለዚህም ነው ምላሽ ሰጪ ስፓትተርንግ ብዙውን ጊዜ ከተለመደው የብረት ክምችት ይልቅ የበለጠ የተራቀቀ የሂደት ቁጥጥር የሚፈልገው።

6. የዒላማ መመረዝ የተለመደ የከባቢ አየር-ቁጥጥር ችግር ነው

በተለዋዋጭ ማግኔቶን ስፐተርቲንግ፣ ኢላማ መመረዝ ከከባቢ አየር ቁጥጥር ጋር ተያይዘው ከሚመጡት በጣም የተለመዱ ችግሮች አንዱ ነው።

የሪአክቲቭ ጋዝ ከፊል ግፊት ከተወሰነ ክልል በላይ ሲጨምር፣ የታለመው ገጽ በተዋሃደ ንብርብር ሊሸፈን ይችላል። ከዚያም ኢላማው ከብረታ ብረት ስፐተርቲንግ ሁኔታ ወደ መርዛማ ሁኔታ ይሸጋገራል።

ይህ ሽግግር በስፕቱተር ፍጥነቱ፣ በፈሳሽ ቮልቴጅ፣ በፈሳሽ ጅረት፣ በሁለተኛ ደረጃ ኤሌክትሮን ልቀት፣ በዲፖዚሽን ፍጥነቱ እና በፊልም ቅንብር ላይ ለውጦችን ሊያስከትል ይችላል።

ችግሩ የበለጠ ፈታኝ የሚሆነው በሪአክቲቭ-ጋዝ ፍሰት እና በዒላማ ሁኔታ መካከል ያለው ግንኙነት ብዙውን ጊዜ መስመራዊ ያልሆነ ስለሆነ ነው። በጋዝ ፍሰት ላይ ትንሽ ለውጥ በሂደቱ ሁኔታ ላይ ከመጠን በላይ ትልቅ ለውጥ ሊያመጣ ይችላል።

ስለዚህ ለከፍተኛ መጠን ምርት፣ በቋሚ ምላሽ ሰጪ-ጋዝ ፍሰት ላይ ብቻ መተማመን በቂ ላይሆን ይችላል። የበለጠ የላቁ ስርዓቶች ምላሽ ሰጪ ማከማቻ መስኮቱን ለማረጋጋት በኦፕቲካል ልቀት፣ በፈሳሽ ባህሪያት፣ ከፊል-ግፊት መለኪያ ወይም በሌሎች የሂደት ምልክቶች ላይ በመመስረት የተዘጉ-ሉፕ መቆጣጠሪያን መጠቀም ይችላሉ።

7. የክፍል ንፅህና በቀጥታ የከባቢ አየር መረጋጋትን ይጎዳል

የከባቢ አየር ቁጥጥር በጋዝ አቅርቦት ስርዓት ላይ ብቻ የተመካ አይደለም። የሽፋን ክፍሉ ውስጣዊ ሁኔታ እኩል አስፈላጊ ነው።

በተደጋጋሚ የምርት ዑደቶች ወቅት፣ የሽፋን ቁሳቁስ በክፍል ግድግዳዎች፣ ጋሻዎች፣ የንጣፍ እቃዎች እና ሌሎች ውስጣዊ ክፍሎች ላይ ቀስ በቀስ ይከማቻል። እነዚህ ክምችቶች የቅንጣት ብክለት ወይም የጋዝ መጨፍለቅ ምንጮች ሊሆኑ ይችላሉ። አንዳንድ ክምችቶች በቀጣይ ማሞቂያ እና ፕላዝማ አሠራር ወቅት ከሂደት ጋዞች ጋር ምላሽ ሊሰጡ ወይም ቀደም ሲል የተዋጡ ጋዞችን ሊለቁ ይችላሉ።

ይህ የሂደቱ የምግብ አዘገጃጀት መመሪያ ሳይለወጥ ቢቆይም እንኳ ትክክለኛውን የክፍል አየር ቀስ በቀስ ሊለውጥ ይችላል።

በዚህ ምክንያት፣ መደበኛ የክፍል ጽዳት፣ ጋሻ መተካት፣ የክፍሎቹን ጥገና እና የቫክዩም-ማኅተም ፍተሻ የከባቢ አየር አስተዳደር አስፈላጊ ክፍሎች ናቸው።

የተረጋጋ የPVD ሂደት የተረጋጋ የምግብ አሰራር ውጤት ብቻ አይደለም። በክፍሉ ውስጥ በአንጻራዊ ሁኔታ የተረጋጋ አካላዊ አካባቢን በመጠበቅ ላይ የተመሰረተ ነው።

8. የጋዝ ስርጭት ልክ እንደ ጋዝ ብዛት አስፈላጊ ነው

ሌላው ተግባራዊ ጉዳይ ወደ ክፍሉ የሚገባው አጠቃላይ የጋዝ መጠን ወጥ የሆነ የሂደት ከባቢ አየር ዋስትና አይሰጥም የሚለው ነው።

የጋዝ መግቢያ፣ የሻወር ራስ፣ የባፍል፣ የፓምፕ ወደብ፣ የስትሮትል ቫልቭ እና የንዑስ ክፍል መያዣ ዲዛይን እና አቀማመጥ ጋዝ በክፍሉ ውስጥ እንዴት እንደሚሰራጭ ይወስናል።

ደካማ የጋዝ ስርጭት በሪአክቲቭ-ጋዝ ክምችት ወይም በፕላዝማ ጥግግት ላይ የአካባቢ ልዩነቶችን ሊፈጥር ይችላል። ውጤቱም በንጥረ ነገሩ ላይ በተለያዩ ቦታዎች ላይ የተለያዩ የፊልም ጥንቅሮች ወይም ውፍረቶች ሊሆኑ ይችላሉ።

ይህ በተለይ ለትልቅ ቦታ ሽፋን ስርዓቶች እና ከፍተኛ የመጫኛ አቅም ላላቸው የማምረቻ መሳሪያዎች በጣም አስፈላጊ ነው።

ስለዚህ፣ የቫክዩም ሽፋን ማሽንን ሲያመቻቹ፣ የጋዝ ፍሰት ዲዛይን ከፕላዝማ-ምንጭ ውቅር፣ የንዑስ ክፍል ሽክርክሪት፣ የፓምፕ ጂኦሜትሪ እና የክፍል መዋቅር ጋር አብሮ መታየት አለበት።

9. ሽፋኑ በድንገት ሲቀየር፣ መጀመሪያ ከባቢ አየርን ያረጋግጡ

በእውነተኛ ምርት ውስጥ የሽፋን ችግሮች ብዙውን ጊዜ በቀለም፣ በጥንካሬ፣ በማጣበቅ፣ በፊልም ውፍረት ወይም በኤሌክትሪክ አፈጻጸም ላይ ድንገተኛ ለውጦች ይታያሉ።

ይህ በሚሆንበት ጊዜ፣ የማስቀመጫ ኃይልን፣ የንዑስ ክፍልን አድልዎ ወይም የማስቀመጫ ጊዜን ወዲያውኑ ማስተካከል ፈታኝ ነው። ሆኖም፣ ከከባቢ አየር ጋር የተያያዙ ተለዋዋጮች መጀመሪያ መፈተሽ አለባቸው።

ተግባራዊ የሆነ የችግር መፍቻ ቅደም ተከተል የአሁኑን የምርት መረጃ ከመደበኛው የሂደት ሁኔታ ጋር ማወዳደር ነው፡ የመሠረት ግፊት፣ የፓምፕ-መውረጃ ጊዜ፣ የሥራ ግፊት፣ የሂደት-ጋዝ ፍሰት፣ ምላሽ ሰጪ-ጋዝ ፍሰት፣ የስሮትል-ቫልቭ አቀማመጥ፣ የፈሳሽ ቮልቴጅ/የአሁኑ፣ የንዑስ ክፍል የሙቀት መጠን እና የተቀማጭ መጠን።

ከእነዚህ መለኪያዎች ውስጥ አንዱ ከተቀየረ፣ የሽፋን የምግብ አዘገጃጀቱን ከማሻሻል የበለጠ ቀጥተኛ ማብራሪያ ሊሰጥ ይችላል።

በተለይም የጋዝ-ፍሰት መቼቱ ካልተቀየረ ነገር ግን የክፍሉ ግፊት ከተቀያየረ፣ ችግሩ በፓምፕ ሲስተም፣ በግፊት መቆጣጠሪያ ቫልቭ፣ በጋዝ አቅርቦት፣ በክፍል ማስተላለፊያ ወይም በማፍሰሻ ሁኔታ ላይ ሊሆን ይችላል፣ ይህም በሽፋን ቁሱ ራሱ ላይ አይደለም።

10. የከባቢ አየር ቁጥጥር በመጨረሻ የስርዓት-ቁጥጥር ችግር ነው

ከኢንዱስትሪ የቫክዩም ሽፋን የተገኘው ተግባራዊ ተሞክሮ እንደሚያሳየው የከባቢ አየር ቁጥጥር ከጠቅላላው የቫክዩም ሲስተም ሊለይ አይችልም።

የቫክዩም ፓምፖች የክፍሉን የፓምፕ አቅም ይወስናሉ። የጋዝ አቅርቦት ስርዓቱ የጋዝ ግብዓትን ይወስናል። የስሮትል ቫልቭ በጋዝ ፍሰት እና በክፍል ግፊት መካከል ያለውን ግንኙነት ይቆጣጠራል። የፕላዝማ ምንጭ ጋዙ እንዴት አዮናዊ እንደሆነ እና ከተቀማጭ ዝርያዎች ጋር እንደሚገናኝ ይወስናል። የንዑስ ክፍል ስርዓቱ የስራ ክፍሉ ከፕላዝማ ጋር እንዴት እንደሚገናኝ ይወስናል።

እነዚህ ስርዓቶች በአንድ ጊዜ ይሰራሉ፣ እና በአንድ መለኪያ ላይ የሚደረግ ለውጥ ሌሎች በርካታ ነገሮችን ሊጎዳ ይችላል።

ስለዚህ፣ የበሰለ የPVD ሂደት በአንድ ቋሚ መለኪያ ላይ ከመመካት ይልቅ የተረጋጋ የሂደት መስኮት መመስረት አለበት። ዓላማው የቫክዩም ግፊት፣ የጋዝ ፍሰት፣ የፕላዝማ ባህሪያት፣ የንዑስ ክፍል ሁኔታዎች እና የማስቀመጫ መለኪያዎች በምርት ጊዜ ሁሉ ቁጥጥር በሚደረግበት ክልል ውስጥ መቆየታቸውን ማረጋገጥ ነው።

መደምደሚያ

የከባቢ አየር ቁጥጥር ከተረጋጋ የቫክዩም ሽፋን መሰረታዊ ነገሮች አንዱ ነው። ከመሠረት ግፊት እና ከቀሪ ጋዝ አስተዳደር እስከ የስራ ግፊት፣ የጋዝ ፍሰት፣ ምላሽ ሰጪ-ጋዝ ከፊል ግፊት፣ የታለመ መመረዝ እና የክፍል ንፅህና፣ እያንዳንዱ ምክንያት የመጨረሻውን ሽፋን ላይ ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል።

ለተለመደው የPVD ክምችት፣ የተረጋጋ የከባቢ አየር ሁኔታዎች ለሚደገም የፊልም እድገት መሰረት ይሰጣሉ። ለሪአክቲቭ ስፑተርሲንግ እና ለሌሎች በፕላዝማ የሚደገፉ ሂደቶች፣ ትክክለኛ የከባቢ አየር ቁጥጥር የበለጠ ወሳኝ ይሆናል ምክንያቱም የጋዝ ስብጥር በቀጥታ በፊልም ምስረታ ውስጥ ስለሚሳተፍ።

ስለዚህ የከባቢ አየር ቁጥጥር ትክክለኛ ዓላማ የተወሰነ የግፊት ወይም የጋዝ ፍሰት እሴት መጠበቅ ብቻ አይደለም። ፕላዝማ፣ የተከማቸ ዝርያ፣ ንጣፉ እና ምላሽ ሰጪ ከባቢ አየር ቁጥጥር በሚደረግበት ሁኔታ ውስጥ የሚቆዩበት የተረጋጋ እና ሊባዛ የሚችል የተከማቸ አካባቢ መመስረት ነው።

ለኢንዱስትሪ የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች፣ ይህ የቫክዩም ፓምፕ ሲስተም፣ የጋዝ አቅርቦት ስርዓት፣ የግፊት መቆጣጠሪያ ስርዓት፣ የፕላዝማ ምንጭ፣ የክፍል መዋቅር እና የሂደት መቆጣጠሪያ ሶፍትዌር የተቀናጀ ዲዛይን ይፈልጋል።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሣሪያዎች አምራችዜንሁዋ ቫክዩም