Hauv kev txheej txheej uas muaj lub tshuab nqus tsev, kev tswj huab cua yog ib qho tseem ceeb tshaj plaws uas cuam tshuam rau qhov zoo ntawm zaj duab xis thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem. Txawm hais tias lub chamber txheej ua haujlwm hauv lub tshuab nqus tsev, qhov chaw tso cov khoom tsis yog qhov chaw "tsis muaj roj". Cov pa roj seem, cov pa roj txheej txheem, cov pa roj reactive, cov pa roj ntws, lub zog ua haujlwm, thiab cov xwm txheej twj tso kua mis sib cuam tshuam nrog cov plasma thiab cov hom tso cov khoom.
Hauv kev tsim khoom tiag tiag, ntau qhov tsis zoo ntawm cov txheej uas zoo li muaj feem cuam tshuam nrog lub hom phiaj, cathode, substrate, lossis lub zog fais fab tuaj yeem raug taug qab mus rau kev tswj huab cua tsis ruaj khov. Cov teeb meem xws li xim zaj duab xis tsis ruaj khov, kev nplaum tsis zoo, kev tiv taus zaj duab xis tsis zoo, kev sib tsoo ntau dhau, cov tuab zaj duab xis tsis sib xws, qhov pinholes, thiab kev hloov pauv ntawm ib pawg mus rau ib pawg feem ntau cuam tshuam nrog kev hloov pauv hauv huab cua txheej txheem.
Yog li ntawd, rau cov tshuab PVD hauv kev lag luam, kev tswj huab cua yuav tsum tsis txhob suav tias yog kev kho lub ntsuas roj-ntws. Nws yog ib qho txheej txheem sib koom ua ke uas muaj kev siab hauv paus, cov roj seem, cov txheej txheem-roj ntws, kev siab ua haujlwm, kev siab ib nrab ntawm cov roj, kev coj ua twj tso kua mis, cov xwm txheej plasma, thiab kev tawm tswv yim-roj.
1. Kauj Ruam Thawj Tsis Yog Kev Txhaj Tshuaj Roj, Tab Sis Tswj Lub Tshuab Nqus Plua Plav
Ib qho yuam kev uas feem ntau tshwm sim hauv kev tsim khoom yog tsom mus rau cov txheej txheem roj thaum tsis quav ntsej txog qhov xwm txheej ntawm lub tshuab nqus tsev nws tus kheej.
Ua ntej yuav muab cov pa roj tso rau hauv cov txheej txheem, lub chamber txheej yuav tsum muaj qhov siab tsim nyog. Qhov siab qis txaus yuav pab txo cov pa oxygen seem, cov pa dej, cov hydrocarbons, thiab lwm yam khoom tsis huv. Cov pa roj seem no tuaj yeem koom nrog cov txheej txheem tso dej thiab nkag mus rau hauv cov zaj duab xis uas loj hlob, cuam tshuam rau cov khoom sib xyaw ntawm zaj duab xis, cov qauv me me, kev nplaum, thiab cov khoom siv hluav taws xob lossis kho qhov muag.
Qhov no tseem ceeb heev rau cov txheej txheem PVD uas muaj tshuaj lom. Piv txwv li, thaum tso cov nitrides lossis oxides, cov roj uas xav tau yuav tsum tau sib txawv ntawm cov pa oxygen lossis cov dej uas tsis tswj tau uas tseem nyob hauv lub chamber. Txwv tsis pub, qhov chaw uas muaj tshuaj lom tiag tiag yuav txawv ntawm cov txheej txheem txawm tias lub tshuab tswj hwm qhov hnyav ua haujlwm li qub.
Hauv kev tsim khoom siv, yog tias tib daim ntawv qhia ua rau muaj cov txiaj ntsig sib txawv, lo lus nug thawj zaug yuav tsum tsis txhob yog seb lub zog ntawm lub hom phiaj puas tau hloov pauv tas li. Nws tseem yog qhov tsim nyog los xyuas seb lub zog ntawm lub hauv paus, lub sijhawm twj tso kua mis, kev huv ntawm chav tsev, thiab cov xwm txheej roj seem puas tau hloov pauv.
2. Kev coj cwj pwm Pump-Down yog ib qho cim qhia tseem ceeb ntawm cov txheej txheem
Ib lub tshuab nqus tsev zoo yuav tsum muaj cov yam ntxwv ruaj khov thiab rov ua dua.
Yog tias lub chamber siv sijhawm ntev dua li niaj zaus kom ncav cuag qhov siab uas xav tau, qhov no yuav qhia tau tias muaj pa tawm ntau ntxiv, muaj kuab paug, xau ntawm lub tshuab nqus tsev, ua haujlwm twj tsis zoo, lossis muaj dej noo ntau dhau hauv lub chamber.
Cov pa roj tawm feem ntau suav nrog cov ntaub ntawv substrate, cov khoom siv, cov polymer residues, cov roj nqus tsev, cov chaw ua kom lub chamber muaj kuab paug, thiab cov dej noo uas nqus tau. Qee cov ntaub ntawv yuav txuas ntxiv tso cov pa roj tawm tom qab lub chamber tau mus txog qhov siab uas zoo li txaus siab, ua rau cov txheej txheem tsis ruaj khov thaum lub sijhawm tso tawm.
Yog li ntawd, kev sib raug zoo ntawm lub sijhawm twj tso kua mis, qhov siab kawg, qhov nce siab, thiab kev ruaj khov ntawm cov txheej txheem tuaj yeem muab cov ntaub ntawv tseem ceeb txog qhov xwm txheej ntawm lub tshuab nqus tsev.
Rau cov khoom siv tsim khoom, kev saib xyuas tus cwj pwm ntawm lub siab tom qab cais tawm ntawm lub tshuab twj tso kua mis kuj tseem tuaj yeem pab paub qhov txawv ntawm qhov xau tiag tiag thiab qhov pa tawm ib txwm muaj. Qhov no yog qhov tshwj xeeb tshaj yog thaum lub sijhawm daws teeb meem.
3. Kev Ua Haujlwm Siab Txiav Txim Siab Qhov Chaw Thauj Mus Los
Tom qab ua tiav qhov chaw nqus tsev uas tsim nyog, cov roj txheej txheem raug tso tawm thiab lub chamber nkag mus rau hauv qhov kev ua haujlwm siab.
Lub zog ua haujlwm cuam tshuam ncaj qha rau txoj kev dawb nruab nrab ntawm cov atoms, ions, thiab electrons uas tawg. Yog li ntawd nws cuam tshuam rau cov yam ntxwv ntawm plasma, tus nqi tso tawm, ionization, particle scattering, thiab qhov faib tawm ntawm cov dej ntws tso tawm.
Thaum lub siab qis, cov khoom uas tawg tuaj yeem mus ncig hauv lub chamber nrog tsawg dua kev sib tsoo, ua rau muaj kev xau dej ntau dua. Qhov no tuaj yeem pab tau rau qee qhov kev siv tab sis yuav ua rau muaj kev cuam tshuam rau cov duab ntxoov ntxoo ntawm cov khoom peb-seem uas nyuaj.
Thaum lub siab nce ntxiv, kev sib tsoo ntawm cov hom deposition thiab cov roj molecule yuav tshwm sim ntau zaus. Cov dej ntws deposition yuav tawg ntau dua, uas tuaj yeem txhim kho kev npog ntawm cov chaw recessed tab sis kuj tseem yuav txo qhov ua tau zoo ntawm deposition thiab hloov pauv cov duab zaj duab xis.
Yog li ntawd, qhov siab ua haujlwm yuav tsum tsis txhob raug suav hais tias yog tus nqi uas yuav tsum tau "teeb tsa kom raug." Nws yog ib qho txheej txheem hloov pauv uas cuam tshuam ncaj qha rau kev thauj mus los ntawm cov hom kev tso tawm.
4. Cov Pa Roj thiab Lub Siab Tsis Yog Tib Yam
Hauv kev ua haujlwm PVD tiag tiag, feem ntau cov roj ntws raug tswj los ntawm kev siv lub tshuab tswj cov roj ntws (MFC), thaum lub siab ntawm chav tsev raug txiav txim siab los ntawm qhov sib npaug ntawm cov roj nkag thiab lub peev xwm twj.
Qhov kev sib txawv no tseem ceeb heev.
Qhov roj ntws ceev tib yam tsis tas yuav tsim tib lub zog ua haujlwm nyob rau hauv cov xwm txheej sib txawv ntawm lub tshuab nqus tsev. Yog tias qhov ceev ntawm lub twj tso kua mis, qhov chaw ntawm lub valve, qhov hluav taws xob hauv chav, lossis txoj kev ntws roj sab hauv hloov pauv, qhov siab uas tshwm sim kuj tuaj yeem hloov pauv.
Piv txwv li, yog tias lub qhov cua lossis lub twj tso kua dej ua haujlwm tsis zoo, tus neeg teb xov tooj tuaj yeem nce cov roj ntws kom them rau qhov sib txawv ntawm lub siab. Txawm hais tias lub siab yuav rov qab mus rau tus nqi lub hom phiaj ib ntus, qhov tseeb ntawm cov roj ntws thiab cov xwm txheej plasma tej zaum yuav tau hloov pauv lawm.
Yog li ntawd, cov kws ua haujlwm txheej txheem uas muaj kev paub dhau los feem ntau saib xyuas cov roj ntws thiab lub siab ntawm chav ua haujlwm ua ke, es tsis txhob siv ob qho tib si ua ib qho kev siv ua piv txwv rau cov txheej txheem.
5. Kev Tswj Xyuas Cov Pa Roj Uas Muaj Kev Xav Tau Ntau Dua
Rau cov txheej txheem PVD reactive xws li TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, thiab lwm yam txheej txheem sib xyaw, kev tswj huab cua ua rau nyuaj dua.
Cov pa roj reactive koom nrog ncaj qha rau hauv kev tsim cov zaj duab xis. Nitrogen, oxygen, acetylene, methane, lossis lwm yam pa roj reactive tuaj yeem cuam tshuam nrog cov evaporated lossis sputtered hom kom txiav txim siab qhov kawg ntawm cov zaj duab xis.
Yog li ntawd, qhov kev hloov me me ntawm cov roj reactive-gas ib feem ntawm lub zog yuav ua rau muaj kev hloov pauv tseem ceeb hauv cov khoom ntawm zaj duab xis.
Piv txwv li, qhov tsis txaus nitrogen ntws yuav ua rau nitridation tsis tiav, thaum nitrogen ntau dhau yuav cuam tshuam rau qhov kev tso tawm, cov yam ntxwv ntawm plasma, tus cwj pwm ntawm lub hom phiaj, thiab cov yeeb yaj kiab. Hauv kev siv magnetron sputtering, kev siv roj reactive ntau dhau kuj tuaj yeem ua rau lub hom phiaj lom, uas cov txheej txheem sib xyaw ua rau ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj thiab hloov cov yam ntxwv ntawm sputtering.
Qhov no yog vim li cas cov tshuaj reactive sputtering feem ntau xav tau kev tswj hwm cov txheej txheem zoo dua li cov khoom siv hlau ib txwm muaj.
6. Kev lom los ntawm lub hom phiaj yog ib qho teeb meem ib txwm muaj uas tswj tau huab cua
Hauv kev siv tshuaj magnetron sputtering, kev lom tshuaj lom yog ib qho teeb meem feem ntau cuam tshuam nrog kev tswj huab cua.
Thaum lub zog ntawm cov pa roj reactive nce siab tshaj qhov ntau thiab tsawg, qhov chaw ntawm lub hom phiaj tuaj yeem raug npog los ntawm ib txheej sib xyaw. Tom qab ntawd lub hom phiaj hloov pauv ntawm lub xeev hlau sputtering mus rau lub xeev lom.
Qhov kev hloov pauv no tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv hauv qhov nrawm sputtering, qhov hluav taws xob tawm, qhov tam sim no tawm, qhov hluav taws xob theem nrab, qhov nqi tso tawm, thiab cov yeeb yaj kiab.
Qhov teeb meem no nyuaj dua vim tias kev sib raug zoo ntawm cov pa roj reactive thiab lub hom phiaj feem ntau tsis yog linear. Kev hloov me me ntawm cov pa roj tuaj yeem ua rau muaj kev hloov pauv loj heev hauv cov txheej txheem.
Yog tias muaj ntau yam khoom tsim tawm, kev cia siab rau cov roj reactive uas tsis hloov pauv yuav tsis txaus. Cov txheej txheem siab dua tuaj yeem siv kev tswj hwm kaw-voj raws li kev tso tawm teeb pom kev zoo, cov yam ntxwv ntawm kev tso tawm, kev ntsuas qhov siab ib nrab, lossis lwm cov cim txheej txheem los tswj lub qhov rais tso tawm reactive.
7. Kev Huv Huv ntawm Chav Tsev Ncaj Qha Cuam Tshuam Rau Qhov Ruaj Ntseg ntawm Huab Cua
Kev tswj huab cua tsis yog nyob ntawm lub kaw lus xa roj xwb. Lub xeev sab hauv ntawm lub chamber txheej kuj tseem ceeb ib yam.
Thaum lub sijhawm ua ntau zaus, cov khoom siv txheej yuav maj mam sib sau ua ke rau ntawm phab ntsa chav, cov ntaub thaiv, cov khoom siv hauv qab, thiab lwm yam khoom sab hauv. Cov av no yuav ua rau muaj kev sib kis lossis cov pa tawm. Qee cov av kuj tseem tuaj yeem cuam tshuam nrog cov pa roj lossis tso cov pa roj uas tau nqus thaum lub sijhawm ua kom sov thiab ua haujlwm plasma tom qab.
Qhov no tuaj yeem hloov pauv qhov chaw hauv chav tsev txawm tias daim ntawv qhia ua haujlwm tseem tsis tau hloov pauv.
Vim li no, kev ntxuav chav tsis tu ncua, kev hloov daim ntaub thaiv, kev saib xyuas cov khoom siv, thiab kev tshuaj xyuas lub tshuab nqus tsev yog qhov tseem ceeb ntawm kev tswj huab cua.
Ib qho txheej txheem PVD ruaj khov tsis yog tsuas yog qhov tshwm sim ntawm daim ntawv qhia ua zaub mov ruaj khov xwb. Nws nyob ntawm kev tswj hwm ib puag ncig lub cev ruaj khov hauv chav.
8. Kev faib roj tseem ceeb npaum li qhov ntau ntawm roj
Lwm qhov teeb meem tseem ceeb yog tias tag nrho cov roj nkag mus rau hauv lub chamber tsis lav qhov huab cua zoo ib yam.
Tus qauv tsim thiab qhov chaw ntawm qhov nkag roj, lub taub hau da dej, lub baffle, qhov chaw twj tso kua mis, lub valve throttle, thiab lub substrate holder txiav txim siab seb cov roj raug faib li cas hauv chav.
Kev faib roj tsis zoo tuaj yeem tsim kev hloov pauv hauv zos ntawm cov roj reactive lossis qhov ceev ntawm cov ntshav. Qhov tshwm sim yuav yog cov zaj duab xis sib txawv lossis cov tuab ntawm qhov chaw sib txawv ntawm cov substrate.
Qhov no tseem ceeb heev rau cov txheej txheem txheej loj thiab cov khoom siv tsim khoom uas muaj peev xwm thauj khoom siab.
Yog li ntawd, thaum ua kom lub tshuab nqus tsev zoo dua, kev tsim cov roj-flow yuav tsum tau txiav txim siab ua ke nrog kev teeb tsa plasma-source, kev tig ntawm cov substrate, cov qauv twj tso kua mis, thiab cov qauv chamber.
9. Thaum Lub Txheej Txheej Hloov Pauv Tam Sim Ntawd, Tshawb Xyuas Qhov Huab Cua Ua Ntej
Hauv kev tsim khoom tiag tiag, cov teeb meem txheej feem ntau tshwm sim ua qhov hloov pauv sai sai ntawm cov xim, qhov nyuaj, kev nplaum, qhov tuab ntawm zaj duab xis, lossis kev ua haujlwm hluav taws xob.
Thaum qhov no tshwm sim, nws yog qhov xav kom hloov kho lub zog tso dej, qhov cuam tshuam ntawm cov khoom siv, lossis lub sijhawm tso dej tam sim ntawd. Txawm li cas los xij, cov yam ntxwv cuam tshuam nrog huab cua yuav tsum tau kuaj xyuas ua ntej.
Ib qho kev daws teeb meem uas siv tau yog los piv cov ntaub ntawv tam sim no ntawm kev tsim khoom nrog rau cov txheej txheem ib txwm muaj: lub zog pib, lub sijhawm twj tso kua mis, lub zog ua haujlwm, cov roj ntws los ntawm cov txheej txheem, cov roj ntws los ntawm cov tshuaj tiv thaiv, qhov chaw ntawm lub valve, lub zog tawm/tam sim no, qhov kub ntawm cov substrate, thiab tus nqi tso tawm.
Yog tias ib qho ntawm cov kev ntsuas no tau hloov pauv, nws yuav muab cov lus piav qhia ncaj qha dua li tsuas yog hloov kho daim ntawv qhia txheej.
Tshwj xeeb, yog tias qhov chaw teeb tsa roj ntws tsis hloov pauv tab sis lub siab ntawm chav tsev tau hloov pauv, qhov teeb meem yuav nyob rau hauv lub kaw lus twj tso kua mis, lub qhov tswj siab, kev muab roj, kev coj ua ntawm chav tsev, lossis qhov xwm txheej xau, es tsis yog nyob rau hauv cov khoom siv txheej nws tus kheej.
10. Kev Tswj Huab Cua Thaum Kawg Yog Qhov Teeb Meem Tswj Xyuas Lub Tshuab
Cov kev paub dhau los uas tau los ntawm kev siv lub tshuab nqus tsev hauv kev lag luam qhia tau hais tias kev tswj huab cua tsis tuaj yeem sib cais los ntawm tag nrho lub tshuab nqus tsev.
Cov twj tso kua mis nqus tsev txiav txim siab seb lub chamber lub peev xwm nqus roj. Lub kaw lus xa roj txiav txim siab seb cov roj nkag mus li cas. Lub qhov cua valve tswj kev sib raug zoo ntawm cov roj ntws thiab lub siab ntawm chamber. Lub plasma source txiav txim siab seb cov roj ionized li cas thiab cuam tshuam nrog cov hom deposition. Lub substrate system txiav txim siab seb lub workpiece cuam tshuam nrog cov plasma li cas.
Cov kab ke no ua haujlwm tib lub sijhawm, thiab kev hloov pauv ntawm ib qho parameter tuaj yeem cuam tshuam rau ntau lwm yam.
Yog li ntawd, cov txheej txheem PVD uas laus lawm yuav tsum tsim kom muaj lub qhov rais ua haujlwm ruaj khov dua li cia siab rau ib qho parameter ruaj khov. Lub hom phiaj yog xyuas kom meej tias lub siab nqus tsev, cov pa roj ntws, cov yam ntxwv ntawm plasma, cov xwm txheej ntawm cov substrate, thiab cov kev teeb tsa tso tawm tseem nyob hauv qhov ntau yam tswj tau thoob plaws hauv kev tsim khoom.
Xaus lus
Kev tswj huab cua yog ib qho ntawm cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm kev txheej txheem nqus tsev kom ruaj khov. Txij li qhov siab hauv paus thiab kev tswj cov pa roj seem mus rau qhov siab ua haujlwm, cov pa roj ntws, qhov siab ib nrab ntawm cov pa tshuaj tiv thaiv, kev lom neeg rau lub hom phiaj, thiab kev huv ntawm chav tsev, txhua yam tuaj yeem cuam tshuam rau qhov txheej txheem kawg.
Rau kev tso tawm PVD ib txwm muaj, cov huab cua ruaj khov muab lub hauv paus rau kev loj hlob ntawm zaj duab xis rov ua dua. Rau kev siv tshuaj reactive sputtering thiab lwm yam txheej txheem plasma-assisted, kev tswj hwm huab cua kom meej meej yuav tseem ceeb dua vim tias cov pa roj sib xyaw ncaj qha koom nrog kev tsim zaj duab xis.
Yog li ntawd, lub hom phiaj tiag tiag ntawm kev tswj huab cua tsis yog tsuas yog tswj hwm qee qhov siab lossis cov roj ntws xwb. Nws yog los tsim kom muaj ib puag ncig ruaj khov thiab rov ua dua uas cov plasma, cov hom kev tso tawm, cov khoom siv, thiab cov huab cua reactive tseem nyob hauv qhov xwm txheej tswj tau.
Rau cov khoom siv nqus tsev rau kev lag luam, qhov no yuav tsum tau tsim qauv sib koom tes ntawm lub tshuab nqus tsev, lub tshuab xa roj, lub tshuab tswj siab, qhov chaw plasma, cov qauv chamber, thiab software tswj cov txheej txheem.
- Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmChaw tsim khoom siv nqus tsev txheejZhenhua Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Yim Hli-08-2026