Di pêçandina valahiyê de, kontrola atmosferê yek ji faktorên herî bingehîn e ku bandorê li ser kalîteya fîlm û aramiya pêvajoyê dike. Her çend odeya pêçandinê di bin valahiyê de dixebite jî, jîngeha danînê ne cîhek bi tevahî "bê gaz" e. Gazên mayî, gazên pêvajoyê, gazên reaktîf, herikîna gazê, zexta xebatê û şert û mercên pompkirinê bi berdewamî bi plazma û cureyên danînê re têkilî daynin.
Di hilberîna rastîn de, gelek kêmasiyên pêçanê ku xuya dikin bi hedef, katod, substrat, an dabînkirina hêzê ve girêdayî ne, di dawiyê de dikarin werin şopandin ber bi kontrola atmosferê ya nearam. Pirsgirêkên wekî rengê fîlmê yê nearam, girêdana xirab, berxwedana fîlmê ya neasayî, çîpkirina zêde, qalindahiya fîlmê ya neyeksan, qulên piçûk, û guherîna ji komê heta komê pir caran bi guhertinên di atmosfera pêvajoyê de bi hev ve girêdayî ne.
Ji ber vê yekê, ji bo pergalên PVD yên pîşesaziyê, divê kontrola atmosferê tenê wekî verastkirina pîvana herikîna gazê neyê hesibandin. Ew pêvajoyek hevrêzkirî ye ku zexta bingehîn, pêkhateya gaza mayî, herikîna gaza pêvajoyê, zexta xebatê, zexta qismî ya gazê, konduktansa pompkirinê, şert û mercên plazmayê, û bersiva gaza reaktîf vedihewîne.
1. Gava Yekem Ne Derzîkirina Gazê ye, Lê Kontrolkirina Valahiya Bingehê ye
Xeletiyeke hevpar di hilberînê de ew e ku meriv li ser parametreyên gaza pêvajoyê bisekine û rewşa odeya valahiyê bi xwe ji nedîtî ve were hiştin.
Berî danasîna gazên pêvajoyê, divê odeya pêçandinê bigihîje zexteke bingehîn a guncaw. Zexteke bingehîn a têra xwe nizm dibe alîkar ku oksîjena mayî, buxara avê, hîdrokarbon û gemarên din kêm bibin. Ev gazên mayî dikarin beşdarî pêvajoya danînê bibin û di nav fîlma mezinbûyî de cih bigirin, bandorê li pêkhateya fîlmê, mîkroavahî, zeliqandin û taybetmendiyên optîkî an elektrîkî bikin.
Ev yek bi taybetî ji bo pêvajoyên PVD-ya reaktîf girîng e. Bo nimûne, dema ku nîtrîd an oksîd têne danîn, divê gaza reaktîf a armanckirî ji oksîjena bêkontrol an buhara avê ya di odeyê de mayî were cudakirin. Wekî din, atmosfera reaktîf a rastîn dikare ji reçeteya pêvajoyê pir dûr bikeve, her çend kontrolkera herikîna girseyî bi awayekî normal dixebite.
Di hilberîna pratîkî de, heke heman reçete ji nişkê ve encamên cûda yên pêçandinê derxe holê, pirsa yekem divê ne her gav ev be ka hêza hedef guheriye an na. Her weha pêdivî ye ku were kontrol kirin ka zexta bingehîn, dema pompkirinê, paqijiya odeyê û şert û mercên gaza mayî guheriye an na.
2. Reftara Pomp-Down Nîşaneyek Pêvajoyek Girîng e
Divê sîstemeke valahiyê ya saxlem xwedî taybetmendiyên pompkirinê yên nisbeten sabît û dubarekirî be.
Eger ode ji asayî dirêjtir dem bigire da ku bigihîje zexta bingehîn a pêwîst, ev dibe ku zêdebûna derketina gazê, qirêjî, rijandina valahiyê, performansa xirab a pompê, an jî şilbûna zêde di hundurê odeyê de nîşan bide.
Çavkaniyên tîpîk ên derxistina gazê materyalên substratê, amûr, bermayiyên polîmer, rûnê valahiyê, rûyên odeyên qirêj û şilbûna mijandî ne. Dibe ku hin materyal piştî ku ode gihîştiye zextek ku bi awayekî maqûl tê dîtin, gazan berdin, ku di dema danînê de dibe sedema şert û mercên pêvajoyê yên nearam.
Ji ber vê yekê, têkiliya di navbera dema pompkirinê, zexta dawîn, rêjeya bilindbûna zextê, û aramiya pêvajoyê de dikare agahdariya hêja li ser rewşa pergala valahiyê peyda bike.
Ji bo alavên hilberînê, şopandina tevgera bilindbûna zextê piştî veqetandina ji pergala pompkirinê jî dikare ji bo cûdakirina di navbera rijandina rastîn û derketina gazê ya normal de bibe alîkar. Ev bi taybetî di dema çareserkirina pirsgirêkan de kêrhatî ye.
3. Fişara Xebatê Jîngeha Veguhastinê Diyar Dike
Piştî bidestxistina valahiyek bingehîn a guncaw, gaza pêvajoyê tê danîn û ode dikeve rewşa zexta xebatê.
Zeexta xebatê rasterast bandorê li ser rêya azad a navînî ya atom, îyon û elektronên sputterkirî dike. Ji ber vê yekê ew bandorê li taybetmendiyên plazmayê, rêjeya danînê, îyonîzasyonê, belavbûna perçeyan, û belavbûna goşeyî ya herikîna danînê dike.
Di zexteke nisbeten kêm de, cureyên sputterkirî dikarin bi pevçûnên kêmtir di odeyê re derbas bibin, ku di encamê de herikîna danîna rêyek firehtir çêdibe. Ev dikare ji bo hin serîlêdanan sûdmend be lê dibe ku bandorên siya li ser pêkhateyên sê-alî yên tevlihev zêde bike.
Her ku zext zêde dibe, pevçûnên di navbera cureyên danînê û molekulên gazê de pirtir dibin. Herikîna danînê bêtir belav dibe, ku dikare vegirtinê li ser rûberên kûr baştir bike lê di heman demê de dibe ku karîgeriya danînê kêm bike û morfolojiya fîlmê biguhezîne.
Ji ber vê yekê, zexta xebatê divê tenê wekî nirxek neyê hesibandin ku divê "bi rêkûpêk were mîheng kirin". Ew guhêrbarek pêvajoyê ye ku rasterast bandorê li kînetîka veguhastinê ya cureyên depokirinê dike.
4. Herikîna Gazê û Zext Ne Yek Tişt in
Di xebitandina pratîkî ya PVD de, herikîna gazê bi gelemperî bi karanîna kontrolkerek herikîna girseyî (MFC) tê kontrol kirin, lê zexta odeyê ji hêla hevsengiya di navbera têketina gazê û kapasîteya pompkirinê de tê destnîşankirin.
Ev cudahî pir girîng e.
Rêjeya herikîna gazê ya heman, di şert û mercên pergala valahiyê yên cuda de, ne hewce ye ku heman zexta xebatê çêbike. Ger leza pompêkirinê, pozîsyona valva gazê, konduktîsyona odeyê, an rêça herikîna gazê ya navxweyî biguhere, zexta ku çêdibe jî dikare biguhere.
Bo nimûne, eger valva gazê an sîstema pompkirinê bi awayekî neasayî bixebite, operator dikare herikîna gazê zêde bike da ku ji bo cûdahiya zextê telafî bike. Her çend zext dibe ku demkî vegere nirxa armanc jî, dibe ku şert û mercên rastîn ên herikîna gazê û plazmayê berê xwe guherîbin.
Ji ber vê yekê, endezyarên pêvajoyê yên xwedî ezmûn bi gelemperî herikîna gazê û zexta odeyê bi hev re dişopînin, li şûna ku her du parametreyan bi serê xwe wekî referansa pêvajoyê ya yekane bikar bînin.
5. Kontrola Gaza Reaktîf Hesastir e
Ji bo pêvajoyên PVD yên reaktîf ên wekî TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, û pêçanên din ên pêkhatî, kontrola atmosferê pir tevlihevtir dibe.
Gaza reaktîf rasterast di çêbûna fîlmê de beşdar dibe. Nîtrojen, oksîjen, asetîlen, metan, an gazên din ên reaktîf dikarin bi cureyên buharbûyî an jî yên sputterkirî re reaksiyonê bikin da ku pêkhateya fîlmê ya dawîn diyar bikin.
Ji ber vê yekê, guhertinek piçûk di zexta qismî ya gaza reaktîf de dikare di taybetmendiyên fîlmê de guherînek girîng çêbike.
Bo nimûne, herikîna nîtrojenê ya nebaş dikare bibe sedema nîtrîzasyona netemam, lê belê nîtrojena zêde dikare bandorê li rêjeya danînê, taybetmendiyên plazmayê, tevgera hedefê û pêkhateya fîlmê bike. Di sputterkirina magnetronê ya reaktîf de, zêde-danasîna gaza reaktîf jî dikare bibe sedema jehrîbûna hedefê, ku tê de çînek pêkhatî li ser rûyê hedefê çêdibe û taybetmendiyên sputterkirinê diguherîne.
Ji ber vê yekê ye ku sputterkirina reaktîf pir caran kontrola pêvajoyê ya sofîstîketir ji depoya metalîk a kevneşopî hewce dike.
6. Jehrîbûna Armancê Pirsgirêkek Tîpîk a Kontrolkirina Atmosferê ye
Di sputteringa magnetronê ya reaktîf de, jehrîbûna hedefan yek ji pirsgirêkên herî gelemperî ye ku bi kontrola atmosferê ve girêdayî ye.
Dema ku zexta qismî ya gaza reaktîf ji rêjeyek diyarkirî derbas bibe, rûyê hedef dikare bi qatek pêkhatî were nixumandin. Dûv re hedef ji rewşa sputterkirina metalîk ber bi rewşa jehrîbûnê ve diçe.
Ev veguhêz dikare bibe sedema guhertinan di rêjeya sputtering, voltaja daxistinê, herika daxistinê, emîsyona elektrona duyemîn, rêjeya danînê, û pêkhateya fîlmê de.
Pirsgirêk dijwartir dibe ji ber ku têkiliya di navbera herikîna gaza reaktîf û rewşa hedef de pir caran ne-xêzik e. Guhertinek piçûk di herikîna gazê de dikare bibe sedema guherînek nehevseng a mezin di rewşa pêvajoyê de.
Ji bo hilberîna bi qebareya bilind, tenê xwe bispêrin herikîna gaza reaktîf a sabît dibe ku ne bes be. Sîstemên pêşkeftîtir dikarin kontrola çerxa girtî li ser bingeha emîsyona optîkî, taybetmendiyên derxistinê, pîvandina zexta qismî, an sînyalên pêvajoyê yên din bikar bînin da ku pencereya depoya reaktîf stabîl bikin.
7. Paqijiya Odeyan Rasterast Bandorê li ser Aramiya Atmosferê Dike
Kontrolkirina atmosferê ne tenê bi pergala dabînkirina gazê ve girêdayî ye. Rewşa hundirîn a odeya pêçandinê jî bi heman rengî girîng e.
Di dema çerxên hilberînê yên dubarekirî de, materyalê pêçandinê hêdî hêdî li ser dîwarên odeyê, mertal, alavên substratê û pêkhateyên din ên navxweyî kom dibe. Ev bermahî dikarin bibin çavkaniyên qirêjbûna perçeyan an jî derxistina gazê. Hin bermahî dikarin bi gazên pêvajoyê re reaksiyonê nîşan bidin an jî di dema germkirin û xebitandina plazmayê ya paşê de gazên ku berê hatine kişandin berdin.
Ev dikare hêdî hêdî atmosfera rastîn a odeyê biguherîne, tewra dema ku reçeteya pêvajoyê bêguher bimîne jî.
Ji ber vê sedemê, paqijkirina birêkûpêk a odeyê, guheztina mertalê, parastina alavên cîhazê, û teftîşa mohra valahiyê beşên girîng ên rêveberiya atmosferê ne.
Pêvajoyeke PVD ya stabîl ne tenê encama reçeteyek stabîl e. Ew girêdayî parastina jîngeheke fîzîkî ya nisbeten stabîl di hundirê odeyê de ye.
8. Belavkirina Gazê Bi qasî Mîqdara Gazê Girîng e
Pirsgirêkek din a pratîkî ew e ku tevahiya mîqdara gazê ya ku dikeve odeyê atmosferek pêvajoyek yekreng garantî nake.
Sêwirandin û pozîsyona deriyê gazê, serê serşokê, defîleyê, porta pompê, valva gazê, û cihê substratê diyar dike ka gaz çawa di hundurê odeyê de tê belavkirin.
Belavbûna nebaş a gazê dikare guherînên herêmî di rêjeya gaza reaktîf an jî dendika plazmayê de çêbike. Encam dibe ku pêkhateyên fîlmê an jî qalindahiyên wê li cihên cuda yên li ser substratê cuda bin.
Ev bi taybetî ji bo pergalên pêçandina rûbera mezin û alavên hilberînê yên bi kapasîteya barkirinê ya bilind girîng e.
Ji ber vê yekê, dema ku makîneyeke boyaxkirina valahiyê tê baştirkirin, divê sêwirana herikîna gazê ligel konfigurasyona çavkaniya plazmayê, zivirîna substratê, geometrîya pompkirinê û avahiya odeyê were hesibandin.
9. Dema ku Rûpûş Ji Nişkê Ve Diguhere, Pêşî Atmosferê Kontrol Bike
Di hilberîna rastîn de, pirsgirêkên pêçandinê pir caran wekî guhertinên ji nişka ve di reng, hişkbûn, zeliqandin, qalindahiya fîlimê, an performansa elektrîkî de xuya dibin.
Dema ku ev diqewime, cazîbeyek heye ku tavilê hêza danîna erdê, meyldariya substratê, an dema danîna erdê were sererast kirin. Lêbelê, divê pêşî guhêrbarên têkildarî atmosferê werin kontrol kirin.
Rêzek pratîkî ya çareserkirina pirsgirêkan ew e ku daneyên hilberîna heyî bi şert û mercên pêvajoya normal re werin berawirdkirin: zexta bingehîn, dema pompkirinê, zexta xebatê, herikîna gaza pêvajoyê, herikîna gaza reaktîf, pozîsyona valva gazê, voltaja/herikîna dakêşanê, germahiya substratê, û rêjeya danînê.
Eger yek ji van parametreyan hatibe guhertin, dibe ku ew ji guhertina tenê ya reçeteya pêçandinê ravekirinek rasterasttir peyda bike.
Bi taybetî, heke mîhenga herikîna gazê neguheriye lê zexta odeyê guheriye, pirsgirêk dibe ku di pergala pompkirinê, valva kontrola zextê, dabînkirina gazê, guhêrbariya odeyê, an rewşa rijandinê de be, ne di materyalê pêçandinê bi xwe de.
10. Kontrolkirina Atmosferê Di Dawiya Dawiyê de Pirsgirêkek Kontrolkirina Sîstemê ye
Ezmûna pratîkî ya ji boyaxkirina valahiya pîşesaziyê hatî berhevkirin nîşan dide ku kontrola atmosferê nikare ji pergala valahiya giştî were veqetandin.
Pompeyên valahiyê kapasîteya pompekirina odeyê diyar dikin. Sîstema radestkirina gazê têketina gazê diyar dike. Vana gazê têkiliya di navbera herikîna gazê û zexta odeyê de rêk dixe. Çavkaniya plazmayê diyar dike ka gaz çawa tê iyonîzekirin û bi cureyên danînê re têkilî datîne. Sîstema substratê diyar dike ka perçeya kar çawa bi plazmayê re têkilî datîne.
Ev sîstem di heman demê de dixebitin, û guhertinek di yek parametreyê de dikare bandorê li çend yên din bike.
Ji ber vê yekê, pêvajoyek PVD-ya gihîştî divê pencereyek pêvajoyek stabîl ava bike, ne ku xwe bispêre parametreyek sabît. Armanc ew e ku zexta valahiyê, herikîna gazê, taybetmendiyên plazmayê, şert û mercên substratê, û parametreyên danînê di seranserê hilberînê de di nav rêzek kontrolkirî de bimînin.
Xelasî
Kontrolkirina atmosferê yek ji hêmanên bingehîn ên pêçandina valahiya stabîl e. Ji zexta bingehîn û rêveberiya gaza mayî bigire heya zexta xebatê, herikîna gazê, zexta qismî ya gaza reaktîf, jehrîbûna hedefê û paqijiya odeyê, her faktor dikare bandorê li ser pêçandina dawîn bike.
Ji bo depoya PVD ya kevneşopî, şert û mercên atmosferê yên sabît bingehek ji bo mezinbûna fîlmê ya dubarekirî peyda dikin. Ji bo sputterkirina reaktîf û pêvajoyên din ên bi alîkariya plazmayê, kontrola rastîn a atmosferê hîn girîngtir dibe ji ber ku pêkhateya gazê rasterast di çêbûna fîlmê de beşdar dibe.
Ji ber vê yekê, armanca rastîn a kontrola atmosferê ne tenê parastina nirxek zext an herikîna gazê ya diyarkirî ye. Ew avakirina hawîrdorek danîna stabîl û dubarekirî ye ku tê de plazma, cureyên danîna, substrat û atmosfera reaktîf di rewşek kontrolkirî de dimînin.
Ji bo alavên boyaxkirina valahiya pîşesaziyê, ev pêdivî bi sêwirana hevrêzkirî ya pergala pompkirina valahiya, pergala radestkirina gazê, pergala kontrola zextê, çavkaniya plazmayê, avahiya odeyê û nermalava kontrola pêvajoyê heye.
- Ev gotar ji hêla ... ve hatiye weşandin.hilberînerê alavên boyaxkirina valahiyêZhenhua Valahî
Dema şandinê: Tebax-08-2026