ۋاكۇئۇم قاپلاشتا، ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش پىلاستىنكا سۈپىتى ۋە جەرياننىڭ مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان ئەڭ ئاساسلىق ئامىللارنىڭ بىرى. قاپلاش كامېراسى ۋاكۇئۇم ئاستىدا ئىشلىسىمۇ، چۆكمە مۇھىتى پۈتۈنلەي «گازسىز» بوشلۇق ئەمەس. قالدۇق گازلار، جەريان گازلىرى، ئاكتىپ گازلار، گاز ئېقىمى، خىزمەت بېسىمى ۋە پومپا شارائىتى پلازما ۋە چۆكمە تۈرلىرى بىلەن ئۈزلۈكسىز ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئەمەلىي ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، نىشان، كاتود، ئاساسىي قاتلام ياكى توك بىلەن مۇناسىۋەتلىك بولغان نۇرغۇن قاپلاش نۇقسانلىرى ئاخىرىدا مۇقىمسىز ئاتموسفېرا كونتروللۇقىدىن كېلىپ چىقىدۇ. پىلاستىنكا رەڭگىنىڭ مۇقىمسىزلىقى، يېپىشقاقلىقىنىڭ ناچارلىقى، پىلاستىنكا قارشىلىقىنىڭ نورمالسىزلىقى، ھەددىدىن زىيادە قوس شەكىللىنىشى، پىلاستىنكا قېلىنلىقىنىڭ تەكشى بولماسلىقى، تۆشۈكلەر ۋە تۈركۈم بويىچە ئۆزگىرىش قاتارلىق مەسىلىلەر كۆپىنچە جەريان ئاتموسفېراسىدىكى ئۆزگىرىشلەر بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك.
شۇڭلاشقا، سانائەت PVD سىستېمىلىرى ئۈچۈن، ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش پەقەت گاز ئېقىمى ئۆلچەش ئەسۋابىنى تەڭشەش دەپ قارىلىشى كېرەك ئەمەس. ئۇ ئاساسىي بېسىم، قالدۇق گاز تەركىبى، ئىشلەپچىقىرىش گاز ئېقىمى، خىزمەت بېسىمى، گازنىڭ قىسمەن بېسىمى، پومپا ئۆتكۈزۈشچانلىقى، پلازما شارائىتى ۋە رېئاكتىپ گاز ئىنكاسىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ماسلاشتۇرۇلغان جەريان.
1. بىرىنچى قەدەم گاز قۇيۇش ئەمەس، بەلكى ئاساسىي چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچنى كونترول قىلىش
ئىشلەپچىقىرىشتا كۆپ ئۇچرايدىغان خاتالىقلارنىڭ بىرى، ۋاكۇئۇم كامېراسىنىڭ ئەھۋالىنى نەزەردىن ساقىت قىلىپ، جەريان گاز پارامېتىرلىرىغا دىققەت قىلىشتۇر.
جەريان گازلىرىنى كىرگۈزۈشتىن بۇرۇن، قاپلاش كامېراسى مۇۋاپىق ئاساسىي بېسىمغا يېتىشى كېرەك. ئاساسىي بېسىمنىڭ يېتەرلىك تۆۋەن بولۇشى قالدۇق ئوكسىگېن، سۇ پارى، كاربون سۇ بىرىكمىلىرى ۋە باشقا بۇلغىنىشلارنى ئازايتىشقا ياردەم بېرىدۇ. بۇ قالدۇق گازلار چۆكمە جەريانىغا قاتنىشىپ، ئۆسۈش پەردىسىگە قوشۇلۇپ، پەردە تەركىبى، مىكرو قۇرۇلمىسى، يېپىشقاقلىقى ۋە ئوپتىكىلىق ياكى ئېلېكتر خۇسۇسىيىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
بۇ، بولۇپمۇ رېئاكتىپ PVD جەريانلىرى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. مەسىلەن، نىترىد ياكى ئوكسىدلارنى قويغاندا، مەقسەت قىلىنغان رېئاكتىپ گازنى كامېرادا قالغان كونترول قىلىنمايدىغان ئوكسىگېن ياكى سۇ پارىدىن پەرقلەندۈرۈش كېرەك. بولمىسا، ماسسا ئېقىمىنى كونتروللىغۇچ نورمال ئىشلەۋاتقان بولسىمۇ، ئەمەلىي رېئاكتىپ ئاتموسفېرا جەريان رېتسېپىدىن زور دەرىجىدە پەرقلىنىشى مۇمكىن.
ئەمەلىي ئىشلەپچىقىرىشتا، ئەگەر ئوخشاش رېتسېپ تۇيۇقسىز ئوخشىمايدىغان قاپلاش نەتىجىسىنى پەيدا قىلسا، بىرىنچى سوئال ھەمىشە نىشان قۇۋۋىتىنىڭ ئۆزگەرگەن-ئۆزگەرمىگەنلىكى بولۇشى كېرەك ئەمەس. شۇنداقلا، ئاساسىي بېسىم، پومپا چۈشۈرۈش ۋاقتى، كامېرانىڭ پاكىزلىقى ۋە قالدۇق گاز شارائىتىنىڭ ئۆزگەرگەن-ئۆزگەرمىگەنلىكىنى تەكشۈرۈش كېرەك.
2. پومپا چۈشۈرۈش ھەرىكىتى مۇھىم جەريان كۆرسەتكۈچى
ساغلام ۋاكۇئۇم سىستېمىسى نىسبەتەن مۇقىم ۋە تەكرارلىنىدىغان پومپالاش خۇسۇسىيىتىگە ئىگە بولۇشى كېرەك.
ئەگەر كامېرا تەلەپ قىلىنغان ئاساسىي بېسىمغا يېتىش ئۈچۈن ئادەتتىكىدىن خېلى ئۇزۇن ۋاقىت كەتسە، بۇ گازنىڭ كۆپىيىشى، بۇلغىنىش، ۋاكۇئۇم ئېقىشى، پومپا ئىقتىدارىنىڭ تۆۋەنلىشى ياكى كامېرا ئىچىدىكى ھەددىدىن زىيادە نەملىكنى كۆرسىتىپ بېرىشى مۇمكىن.
گازنىڭ ئادەتتىكى مەنبەلىرى ئاساسىي ماتېرىياللار، ئۈسكۈنىلەر، پولىمېر قالدۇقلىرى، ۋاكۇئۇم مايى، بۇلغانغان كامېرا يۈزى ۋە سۈمۈرۈلگەن نەملىكنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بەزى ماتېرىياللار كامېرا قوبۇل قىلغىلى بولىدىغان بېسىمغا يەتكەندىن كېيىنمۇ گاز قويۇپ بېرىشنى داۋاملاشتۇرۇپ، چۆكمە جەريانىدا مۇقىمسىز جەريان شارائىتىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
شۇڭلاشقا، پومپىلاش ۋاقتى، ئاخىرقى بېسىم، بېسىم ئۆرلەش سۈرئىتى ۋە جەريان مۇقىملىقى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت ۋاكۇئۇم سىستېمىسىنىڭ ئەھۋالى ھەققىدە قىممەتلىك ئۇچۇرلارنى بېرەلەيدۇ.
ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن، پومپا سىستېمىسىدىن ئايرىۋېتىلگەندىن كېيىنكى بېسىمنىڭ ئۆرلەش ھالىتىنى كۆزىتىش، ھەقىقىي ئېقىش بىلەن نورمال گاز چىقىشنى پەرقلەندۈرۈشكە ياردەم بېرەلەيدۇ. بۇ، بولۇپمۇ مەسىلىلەرنى ھەل قىلىشتا ئالاھىدە پايدىلىق.
3. خىزمەت بېسىمى توشۇش مۇھىتىنى بەلگىلەيدۇ
مۇۋاپىق ئاساسىي ۋاكۇئۇمغا ئېرىشكەندىن كېيىن، ئىشلەپچىقىرىش گازى كىرگۈزۈلىدۇ ۋە كامېرا خىزمەت بېسىمى ھالىتىگە كىرىدۇ.
خىزمەت بېسىمى چېچىلىپ كەتكەن ئاتوم، ئىئون ۋە ئېلېكترونلارنىڭ ئوتتۇرىچە ئەركىن يولىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇڭا ئۇ پلازما خۇسۇسىيىتى، چۆكمە سۈرئىتى، ئىئونلىشىش، زەررىچىلەرنىڭ تارقىلىشى ۋە چۆكمە ئېقىمىنىڭ بۇلۇڭلۇق تەقسىملىنىشىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
نىسبەتەن تۆۋەن بېسىم ئاستىدا، چاچرىغان تۈرلەر كامېرا ئارقىلىق ئازراق سوقۇلۇش بىلەن ئۆتۈپ، يۆنىلىشلىك چۆكمە ئېقىمىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ بەزى قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن پايدىلىق بولۇشى مۇمكىن، ئەمما مۇرەككەپ ئۈچ ئۆلچەملىك تەركىبلەرگە سايە تەسىرىنى كۈچەيتىشى مۇمكىن.
بېسىم ئاشقانسېرى، چۆكمە تۈرلىرى بىلەن گاز مولېكۇلاسى ئوتتۇرىسىدىكى سوقۇلۇشلار تېخىمۇ كۆپىيىدۇ. چۆكمە ئېقىمى تېخىمۇ تارقاق بولۇپ، بۇ چۆكمە يۈزلەرنىڭ قاپلىنىشىنى ياخشىلىشى مۇمكىن، ئەمما چۆكمە ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىپ، پەردە شەكلىنى ئۆزگەرتىشى مۇمكىن.
شۇڭلاشقا، خىزمەت بېسىمى پەقەت «توغرا تەڭشىلىنىشى» كېرەك بولغان قىممەت دەپ قارىلىشى كېرەك ئەمەس. ئۇ چۆكمە تۈرىنىڭ توشۇش كىنېتىكىسىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان جەريان ئۆزگەرگۈچىسى.
4. گاز ئېقىمى ۋە بېسىم ئوخشاش ئەمەس
ئەمەلىي PVD ئىشلىتىش جەريانىدا، گاز ئېقىمى ئادەتتە ماسسا ئېقىمى كونتروللىغۇچ (MFC) ئارقىلىق كونترول قىلىنىدۇ، كامېرا بېسىمى بولسا گاز كىرگۈزۈش مىقدارى بىلەن پومپا سىغىمى ئوتتۇرىسىدىكى تەڭپۇڭلۇق بىلەن بەلگىلىنىدۇ.
بۇ پەرقلەندۈرۈش ئىنتايىن مۇھىم.
ئوخشاش گاز ئېقىمى سۈرئىتى ھەر خىل ۋاكۇئۇم سىستېمىسى شارائىتىدا چوقۇم ئوخشاش خىزمەت بېسىمىنى ھاسىل قىلمايدۇ. ئەگەر پومپا سۈرئىتى، گاز كلاپانىنىڭ ئورنى، كامېرا ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياكى ئىچكى گاز ئېقىمى يولى ئۆزگەرسە، نەتىجىدە پەيدا بولغان بېسىممۇ ئۆزگىرىشى مۇمكىن.
مەسىلەن، ئەگەر گاز تىقىغۇچ ياكى پومپا سىستېمىسى نورمالسىز ئىشلەۋاتقان بولسا، ئىشلەتكۈچى بېسىمنىڭ ئۆزگىرىشىنى تولدۇرۇش ئۈچۈن گاز ئېقىمىنى كۆپەيتىشى مۇمكىن. بېسىم ۋاقىتلىق نىشان قىممىتىگە قايتىشى مۇمكىن بولسىمۇ، ئەمەلىي گاز ئېقىمى ۋە پلازما شارائىتى ئاللىقاچان ئۆزگەرگەن بولۇشى مۇمكىن.
شۇڭلاشقا، تەجرىبىلىك ئىشلەپچىقىرىش ئىنژېنېرلىرى ئادەتتە گاز ئېقىمى ۋە كامېر بېسىمىنى بىرلىكتە كۆزىتىدۇ، ھەر ئىككى پارامېتىرنى مۇستەقىل ھالدا بىردىنبىر ئىشلەپچىقىرىش ئۇسۇلى سۈپىتىدە ئىشلەتمەيدۇ.
5. رېئاكتىپ گاز كونترول قىلىش تېخىمۇ سەزگۈر
TiN، CrN، TiAlN، Al₂O₃، SiO₂ ۋە باشقا بىرىكمە قاپلاملار قاتارلىق رېئاكتىپ PVD جەريانلىرى ئۈچۈن، ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش تېخىمۇ مۇرەككەپلىشىدۇ.
ئاكتىپ گاز پەردىنىڭ شەكىللىنىشىگە بىۋاسىتە قاتنىشىدۇ. ئازوت، ئوكسىگېن، ئاتسېتىلېن، مېتان ياكى باشقا ئاكتىپ گازلار پارغا ئايلانغان ياكى چېچىلىپ كەتكەن ماددىلار بىلەن رېئاكسىيە قىلىپ، پەردىنىڭ ئاخىرقى تەركىبىنى بەلگىلىيەلەيدۇ.
شۇڭا رېئاكتىپ گازنىڭ قىسمەن بېسىمىدىكى كىچىك ئۆزگىرىش پىلىنكا خۇسۇسىيىتىدە زور ئۆزگىرىش پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
مەسىلەن، ئازوت ئېقىمىنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى تولۇق نىترىدلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن، ئازوتنىڭ ھەددىدىن زىيادە كۆپ بولۇشى بولسا چۆكمە سۈرئىتى، پلازما خۇسۇسىيىتى، نىشاننىڭ ھەرىكىتى ۋە پەردە تەركىبىگە تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. رېئاكتىپ ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، ھەددىدىن زىيادە رېئاكتىپ گازنىڭ كىرىشى نىشاننىڭ زەھەرلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، بۇنىڭدا نىشان يۈزىدە بىرىكمە قەۋەت شەكىللىنىدۇ ۋە پۈركۈش خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىدۇ.
شۇڭلاشقا رېئاكتىپ پۈركۈش ئادەتتە ئادەتتىكى مېتال چۆكمىسىگە قارىغاندا تېخىمۇ مۇرەككەپ جەريان كونتروللۇقىنى تەلەپ قىلىدۇ.
6. نىشان زەھەرلىنىش ئادەتتىكى ئاتموسفېرا كونترول قىلىش مەسىلىسى
رېئاكتىپ ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، نىشان زەھەرلىنىش ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش بىلەن مۇناسىۋەتلىك ئەڭ كۆپ ئۇچرايدىغان مەسىلىلەرنىڭ بىرى.
رېئاكتىپ گازنىڭ قىسمەن بېسىمى مەلۇم دائىرىدىن ئېشىپ كەتكەندە، نىشان يۈزى بىرىكمە قەۋەت بىلەن قاپلىنىپ قالىدۇ. ئاندىن نىشان مېتال چاچراش ھالىتىدىن زەھەرلىنىش ھالىتىگە ئۆتىدۇ.
بۇ ئۆزگىرىش چاچراش سۈرئىتى، قويۇپ بېرىش توك بېسىمى، قويۇپ بېرىش توكى، ئىككىنچى دەرىجىلىك ئېلېكترون قويۇپ بېرىش، چۆكۈش سۈرئىتى ۋە پىلاستىنكا تەركىبىدە ئۆزگىرىشلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
بۇ مەسىلە تېخىمۇ قىيىنلىشىدۇ، چۈنكى رېئاكتىپ گاز ئېقىمى بىلەن نىشان ھالىتى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت كۆپىنچە سىزىقسىز بولىدۇ. گاز ئېقىمىدىكى كىچىك ئۆزگىرىش جەريان ھالىتىدە تەڭپۇڭسىز چوڭ ئۆزگىرىش پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
شۇڭا يۇقىرى ھەجىملىك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن، پەقەت مۇقىم رېئاكتىپ گاز ئېقىمىغا تايىنىش يېتەرلىك بولماسلىقى مۇمكىن. تېخىمۇ ئىلغار سىستېمىلار رېئاكتىپ چۆكمە كۆزنىكىنى مۇقىملاشتۇرۇش ئۈچۈن ئوپتىكىلىق چىقىرىش، چىقىرىش خۇسۇسىيىتى، قىسمەن بېسىم ئۆلچەش ياكى باشقا جەريان سىگناللىرىغا ئاساسلانغان يېپىق ئايلانما كونترولنى ئىشلىتەلەيدۇ.
7. كامېرنىڭ پاكىزلىقى ئاتموسفېرا مۇقىملىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ
ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش پەقەت گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسىغىلا باغلىق ئەمەس. قاپلاش كامېراسىنىڭ ئىچكى ئەھۋالىمۇ ئوخشاشلا مۇھىم.
قايتا-قايتا ئىشلەپچىقىرىش دەۋرىيلىكى جەريانىدا، قاپلاش ماتېرىيالى كامېرا تاملىرى، قالقانلار، ئاساسىي قۇرۇلمىلار ۋە باشقا ئىچكى زاپچاسلارغا ئاستا-ئاستا يىغىلىدۇ. بۇ قالدۇقلار زەررىچە بۇلغىنىشى ياكى گازنىڭ سىرتقا چىقىپ كېتىشىنىڭ مەنبەسىگە ئايلىنىشى مۇمكىن. بەزى قالدۇقلار يەنە ئىشلەپچىقىرىش گازلىرى بىلەن رېئاكسىيەلىشىشى ياكى كېيىنكى قىزىتىش ۋە پلازما مەشغۇلاتى جەريانىدا ئىلگىرى سۈمۈرۈلگەن گازلارنى قويۇپ بېرىشى مۇمكىن.
بۇ، جەريان رېتسېپى ئۆزگەرمىگەن تەقدىردىمۇ، ئەمەلىي كامېرانىڭ كەيپىياتىنى ئاستا-ئاستا ئۆزگەرتىۋېتىشى مۇمكىن.
شۇڭلاشقا، دائىملىق كامېرانى تازىلاش، قالقاننى ئالماشتۇرۇش، ئۈسكۈنىلەرنى ئاسراش ۋە ۋاكۇئۇم پېچەتلەشنى تەكشۈرۈش ئاتموسفېرا باشقۇرۇشنىڭ مۇھىم قىسىملىرى.
مۇقىم PVD جەريانى پەقەت مۇقىم رېتسېپنىڭ نەتىجىسى ئەمەس. ئۇ كامېرا ئىچىدىكى نىسبەتەن مۇقىم فىزىكىلىق مۇھىتنى ساقلاشقا باغلىق.
8. گاز تارقىتىش مىقدارى بىلەن ئوخشاش مۇھىم
يەنە بىر ئەمەلىي مەسىلە شۇكى، كامېراغا كىرىدىغان ئومۇمىي گاز مىقدارى بىردەك بىر جەريان مۇھىتىنى كاپالەتلەندۈرەلمەيدۇ.
گاز كىرىش ئېغىزى، دۇش بېشى، توسۇش ئېغىزى، پومپا ئېغىزى، گاز كلاپان ۋە ئاساس تاختىسىنىڭ لايىھىسى ۋە ئورنى گازنىڭ كامېرا ئىچىدە قانداق تەقسىملىنىدىغانلىقىنى بەلگىلەيدۇ.
گازنىڭ تارقىلىشىنىڭ ناچار بولۇشى رېئاكتىپ گاز قويۇقلۇقى ياكى پلازما زىچلىقىدا يەرلىك ئۆزگىرىشلەرنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن. نەتىجىدە ئاساسىي قاتلامنىڭ ھەر خىل ئورۇنلىرىدا پەردە تەركىبى ياكى قېلىنلىقى ئوخشىماسلىقى مۇمكىن.
بۇ، بولۇپمۇ چوڭ دائىرىلىك قاپلاش سىستېمىسى ۋە يۈك كۆتۈرۈش ئىقتىدارى يۇقىرى بولغان ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن ئالاھىدە مۇھىم.
شۇڭا، ۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسىنى ئەلالاشتۇرغاندا، گاز ئېقىمى لايىھىسىنى پلازما مەنبەسىنىڭ سەپلىمىسى، ئاساسىي قاتلامنىڭ ئايلىنىشى، پومپا گېئومېتىرىيەسى ۋە كامېرا قۇرۇلمىسى بىلەن بىرلىكتە ئويلىشىش كېرەك.
9. قاپلاش تۇيۇقسىز ئۆزگەرگەندە، ئالدى بىلەن ئاتموسفېرانى تەكشۈرۈڭ
ئەمەلىي ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، قاپلاش مەسىلىلىرى كۆپىنچە رەڭ، قاتتىقلىق، يېپىشقاقلىق، پىلاستىنكا قېلىنلىقى ياكى ئېلېكتر ئىقتىدارىنىڭ تۇيۇقسىز ئۆزگىرىشى سۈپىتىدە كۆرۈلىدۇ.
بۇنداق ئەھۋال يۈز بەرگەندە، دەرھال چۆكمە كۈچى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى ياكى چۆكمە ۋاقتىنى تەڭشەشكە قىزىقىش پەيدا بولىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئالدى بىلەن ئاتموسفېراغا مۇناسىۋەتلىك ئۆزگەرگۈچى مىقدارلارنى تەكشۈرۈش كېرەك.
ئەمەلىي مەسىلىنى ھەل قىلىش تەرتىپى نۆۋەتتىكى ئىشلەپچىقىرىش سانلىق مەلۇماتلىرىنى نورمال ئىشلەپچىقىرىش ئەھۋالى بىلەن سېلىشتۇرۇشتىن ئىبارەت: ئاساسىي بېسىم، پومپا چۈشۈرۈش ۋاقتى، خىزمەت بېسىمى، ئىشلەپچىقىرىش گاز ئېقىمى، رېئاكتىپ گاز ئېقىمى، گاز تىقىمى-كلاپان ئورنى، چىقىرىش توك بېسىمى/توك ئېقىمى، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ۋە چۆكۈش سۈرئىتى.
ئەگەر بۇ پارامېتىرلارنىڭ بىرى ئۆزگەرگەن بولسا، بۇ قاپلاش رېتسېپىنى ئۆزگەرتىشتىن كۆرە تېخىمۇ بىۋاسىتە چۈشەندۈرۈش بىلەن تەمىنلىشى مۇمكىن.
بولۇپمۇ، ئەگەر گاز ئېقىمى تەڭشىكى ئۆزگەرمىسە، ئەمما كامېرا بېسىمى ئۆزگەرگەن بولسا، مەسىلە قاپلاش ماتېرىيالىنىڭ ئۆزىدە ئەمەس، بەلكى پومپا سىستېمىسى، بېسىم كونترول كلاپان، گاز بىلەن تەمىنلەش، كامېرا ئۆتكۈزۈشچانلىقى ياكى ئېقىش ئەھۋالىدا بولۇشى مۇمكىن.
10. ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش ئاخىرىدا سىستېما كونترول قىلىش مەسىلىسىدۇر
سانائەت ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۇسۇلىدىن توپلانغان ئەمەلىي تەجرىبىلەر شۇنى كۆرسىتىپ بېرىدۇكى، ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش ئومۇمىي ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدىن ئايرىلالمايدۇ.
ۋاكۇئۇم پومپىلىرى كامېرانىڭ پومپا قىلىش ئىقتىدارىنى بەلگىلەيدۇ. گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى گاز كىرگۈزۈش مىقدارىنى بەلگىلەيدۇ. گاز بېسىمى كلاپان گاز ئېقىمى بىلەن كامېرا بېسىمى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتنى تەڭشەيدۇ. پلازما مەنبەسى گازنىڭ قانداق ئىئونلىشىشىنى ۋە چۆكمە تۈرى بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىشىنى بەلگىلەيدۇ. ئاساسىي سىستېما ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ پلازما بىلەن قانداق ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىشىنى بەلگىلەيدۇ.
بۇ سىستېمىلار بىرلا ۋاقىتتا ئىشلەيدۇ، بىر پارامېتىرنىڭ ئۆزگىرىشى باشقا نۇرغۇن سىستېمىلارغا تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن.
شۇڭا، پىشقان PVD جەريانى بىرلا مۇقىم پارامېتىرغا تايىنىشنىڭ ئورنىغا مۇقىم جەريان كۆزنىكىنى قۇرۇشى كېرەك. مەقسەت ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ۋاكۇئۇم بېسىمى، گاز ئېقىمى، پلازما خۇسۇسىيىتى، ئاساسىي قاتلام شارائىتى ۋە چۆكمە پارامېتىرلىرىنىڭ كونترول قىلىنىدىغان دائىرىدە تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىشتۇر.
خۇلاسە
ئاتموسفېرانى كونترول قىلىش مۇقىم ۋاكۇئۇم قاپلاشنىڭ ئاساسلىق ئېلېمېنتلىرىنىڭ بىرى. ئاساسىي بېسىم ۋە قالدۇق گازنى باشقۇرۇشتىن تارتىپ خىزمەت بېسىمى، گاز ئېقىمى، ئاكتىپ گازنىڭ قىسمەن بېسىمى، نىشان زەھەرلىنىشى ۋە كامېرانىڭ پاكىزلىقىغىچە، ھەر بىر ئامىل ئاخىرقى قاپلاشقا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئادەتتىكى PVD چۆكمىسى ئۈچۈن، مۇقىم ئاتموسفېرا شارائىتى تەكرارلىنىدىغان پىلىنكا ئۆسۈشى ئۈچۈن ئاساس سالىدۇ. رېئاكتىپ پۈركۈش ۋە باشقا پلازما ياردەملىك جەريانلار ئۈچۈن، گاز تەركىبى پىلىنكا شەكىللىنىشىگە بىۋاسىتە قاتنىشىدىغان بولغاچقا، ئاتموسفېرانى ئېنىق كونترول قىلىش تېخىمۇ مۇھىم.
شۇڭا ئاتموسفېرانى كونترول قىلىشنىڭ ھەقىقىي مەقسىتى پەقەت بەلگىلىك بىر بېسىم ياكى گاز ئېقىمى قىممىتىنى ساقلاپ قېلىش ئەمەس، بەلكى پلازما، چۆكمە تۈرى، ئاساسىي ماددا ۋە ئاكتىپ ئاتموسفېرانىڭ كونترول قىلىنىدىغان ھالىتىنى ساقلايدىغان مۇقىم ۋە قايتا ھاسىل قىلغىلى بولىدىغان چۆكمە مۇھىتىنى بەرپا قىلىشتىن ئىبارەت.
سانائەت ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن، بۇ ۋاكۇئۇم پومپا سىستېمىسى، گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى، بېسىم كونترول سىستېمىسى، پلازما مەنبەسى، كامېرا قۇرۇلمىسى ۋە جەريان كونترول يۇمشاق دېتالىنى ماسلاشتۇرۇپ لايىھىلەشنى تەلەپ قىلىدۇ.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىجېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 8-ئاينىڭ 8-كۈنى