රික්ත ආලේපනයේදී, වායුගෝලීය පාලනය යනු පටල ගුණාත්මකභාවය සහ ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාවයට බලපාන මූලිකම සාධකයකි. ආලේපන කුටිය රික්තය යටතේ ක්‍රියාත්මක වුවද, තැන්පත් කිරීමේ පරිසරය සම්පූර්ණයෙන්ම "වායු-නිදහස්" අවකාශයක් නොවේ. අවශේෂ වායු, ක්‍රියාවලි වායු, ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු, වායු ප්‍රවාහය, වැඩ කරන පීඩනය සහ පොම්ප කිරීමේ තත්වයන් ප්ලාස්මා සහ තැන්පත් කිරීමේ විශේෂ සමඟ අඛණ්ඩව අන්තර්ක්‍රියා කරයි.
සැබෑ නිෂ්පාදනයේදී, ඉලක්කය, කැතෝඩය, උපස්ථරය හෝ බල සැපයුමට සම්බන්ධ බව පෙනෙන බොහෝ ආලේපන දෝෂ අවසානයේ අස්ථායී වායුගෝලීය පාලනයට හේතු විය හැක. අස්ථායී පටල වර්ණය, දුර්වල ඇලවීම, අසාමාන්‍ය පටල ප්‍රතිරෝධය, අධික චාප කිරීම, අසමාන පටල ඝණකම, සිදුරු සහ කාණ්ඩයෙන් කාණ්ඩයට විචලනය වැනි ගැටළු බොහෝ විට ක්‍රියාවලි වායුගෝලයේ සිදුවන වෙනස්කම් සමඟ සමීපව සම්බන්ධ වේ.
එබැවින්, කාර්මික PVD පද්ධති සඳහා, වායුගෝලීය පාලනය හුදෙක් වායු-ප්‍රවාහ මාපකය සකස් කිරීමක් ලෙස නොසැලකිය යුතුය. එය පාදක පීඩනය, අවශේෂ වායු සංයුතිය, ක්‍රියාවලි-වායු ප්‍රවාහය, වැඩ කරන පීඩනය, වායු අර්ධ පීඩනය, පොම්ප සන්නායකතාවය, ප්ලාස්මා තත්වයන් සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු ප්‍රතිපෝෂණය ඇතුළත් සම්බන්ධීකරණ ක්‍රියාවලියකි.
1. පළමු පියවර වන්නේ ගෑස් එන්නත් කිරීම නොව, මූලික රික්තය පාලනය කිරීමයි.
නිෂ්පාදනයේදී සිදුවන පොදු වැරැද්දක් නම්, රික්ත කුටියේ තත්ත්වය නොසලකා හරිමින් ක්‍රියාවලි-වායු පරාමිතීන් කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීමයි.
ක්‍රියාවලි වායු හඳුන්වා දීමට පෙර, ආලේපන කුටිය සුදුසු පාදක පීඩනයකට ළඟා විය යුතුය. ප්‍රමාණවත් තරම් අඩු පාදක පීඩනයක් අවශේෂ ඔක්සිජන්, ජල වාෂ්ප, හයිඩ්‍රොකාබන සහ අනෙකුත් දූෂක අඩු කිරීමට උපකාරී වේ. මෙම අවශේෂ වායූන් තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියට සහභාගී විය හැකි අතර වැඩෙන පටලයට ඇතුළත් විය හැකි අතර එය පටල සංයුතිය, ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහය, ඇලවීම සහ දෘශ්‍ය හෝ විද්‍යුත් ගුණාංගවලට බලපායි.
ප්‍රතික්‍රියාශීලී PVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වේ. උදාහරණයක් ලෙස, නයිට්‍රයිඩ හෝ ඔක්සයිඩ තැන්පත් කිරීමේදී, අපේක්ෂිත ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුව කුටියේ ඉතිරිව ඇති පාලනය නොකළ ඔක්සිජන් හෝ ජල වාෂ්ප වලින් වෙන්කර හඳුනාගත යුතුය. එසේ නොමැති නම්, ස්කන්ධ ප්‍රවාහ පාලකය සාමාන්‍යයෙන් ක්‍රියාත්මක වුවද, සැබෑ ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුගෝලය ක්‍රියාවලි වට්ටෝරුවෙන් සැලකිය යුතු ලෙස අපගමනය විය හැකිය.
ප්‍රායෝගික නිෂ්පාදනයේදී, එකම වට්ටෝරුව හදිසියේම විවිධ ආලේපන ප්‍රතිඵල නිපදවන්නේ නම්, පළමු ප්‍රශ්නය සෑම විටම ඉලක්ක බලය වෙනස් වී ඇත්ද යන්න නොවිය යුතුය. පාදක පීඩනය, පොම්ප කිරීමේ කාලය, කුටීර පිරිසිදුකම සහ අවශේෂ වායු තත්ත්වයන් වෙනස් වී ඇත්දැයි පරීක්ෂා කිරීම ද අවශ්‍ය වේ.
2. පොම්ප-පහළ හැසිරීම වැදගත් ක්‍රියාවලි දර්ශකයකි
සෞඛ්‍ය සම්පන්න රික්ත පද්ධතියකට සාපේක්ෂව ස්ථායී සහ නැවත නැවත කළ හැකි පොම්ප-පහළ ලක්ෂණ තිබිය යුතුය.
අවශ්‍ය පාදක පීඩනයට ළඟා වීමට කුටිය සාමාන්‍යයට වඩා සැලකිය යුතු කාලයක් ගතවේ නම්, මෙය වැඩි වායු පිටවීම, දූෂණය, රික්ත කාන්දුවක්, පිරිහුණු පොම්ප ක්‍රියාකාරිත්වය හෝ කුටිය තුළ අධික තෙතමනය පෙන්නුම් කරයි.
සාමාන්‍ය වායු පිටකිරීමේ ප්‍රභවයන් අතර උපස්ථර ද්‍රව්‍ය, සවිකිරීම්, පොලිමර් අපද්‍රව්‍ය, රික්ත ග්‍රීස්, දූෂිත කුටි මතුපිට සහ අවශෝෂණය කරන ලද තෙතමනය ඇතුළත් වේ. සමහර ද්‍රව්‍ය කුටිය පිළිගත හැකි පීඩනයකට ළඟා වූ පසු වායූන් මුදා හැරීම දිගටම කරගෙන යා හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස තැන්පත් වීමේදී අස්ථායී ක්‍රියාවලි තත්වයන් ඇති වේ.
එබැවින්, පොම්ප-පහළ කාලය, අවසාන පීඩනය, පීඩන නැගීමේ අනුපාතය සහ ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව අතර සම්බන්ධතාවය රික්ත පද්ධතියේ තත්ත්වය පිළිබඳ වටිනා තොරතුරු සැපයිය හැකිය.
නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා, පොම්ප පද්ධතියෙන් හුදකලා වීමෙන් පසු පීඩනය ඉහළ යාමේ හැසිරීම නිරීක්ෂණය කිරීම සැබෑ කාන්දුවක් සහ සාමාන්‍ය වායු පිටවීමක් අතර වෙනස හඳුනා ගැනීමට උපකාරී වේ. දෝශ නිරාකරණයේදී මෙය විශේෂයෙන් ප්‍රයෝජනවත් වේ.
3. වැඩ පීඩනය ප්‍රවාහන පරිසරය තීරණය කරයි
සුදුසු පාදක රික්තයක් ලබා ගැනීමෙන් පසු, ක්‍රියාවලි වායුව හඳුන්වා දෙන අතර කුටිය වැඩ කරන පීඩන තන්ත්‍රයට ඇතුළු වේ.
ක්‍රියාකාරී පීඩනය, ඉසින ලද පරමාණු, අයන සහ ඉලෙක්ට්‍රෝන වල මධ්‍යන්‍ය නිදහස් මාර්ගයට සෘජුවම බලපායි. එබැවින් එය ප්ලාස්මා ලක්ෂණ, තැන්පත් වීමේ අනුපාතය, අයනීකරණය, අංශු විසිරීම සහ තැන්පත් ප්‍රවාහයේ කෝණික ව්‍යාප්තිය කෙරෙහි බලපායි.
සාපේක්ෂව අඩු පීඩනයකදී, ඉසින ලද විශේෂවලට අඩු ගැටුම් සහිතව කුටිය හරහා ගමන් කළ හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස වඩාත් දිශානුගත තැන්පත් ප්‍රවාහයක් ඇති වේ. මෙය ඇතැම් යෙදුම් සඳහා ප්‍රයෝජනවත් විය හැකි නමුත් සංකීර්ණ ත්‍රිමාණ සංරචක මත සෙවනැලි බලපෑම් වැඩි කළ හැකිය.
පීඩනය වැඩි වන විට, තැන්පත් විශේෂ සහ වායු අණු අතර ගැටුම් නිතර සිදු වේ. තැන්පත් ප්‍රවාහය වඩාත් විසිරී යන අතර, එමඟින් අවපාත පෘෂ්ඨ මත ආවරණය වැඩි දියුණු කළ හැකි නමුත් තැන්පත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව අඩු කර පටල රූප විද්‍යාව වෙනස් කළ හැකිය.
එහි ප්‍රතිඵලයක් වශයෙන්, වැඩ කරන පීඩනය හුදෙක් "නිවැරදිව සකසා ගත යුතු" අගයක් ලෙස නොසැලකිය යුතුය. එය තැන්පත් විශේෂයේ ප්‍රවාහන චාලකයට සෘජුවම බලපාන ක්‍රියාවලි විචල්‍යයකි.
4. ගෑස් ප්‍රවාහය සහ පීඩනය එකම දෙයක් නොවේ.
ප්‍රායෝගික PVD ක්‍රියාකාරිත්වයේදී, වායු ප්‍රවාහය සාමාන්‍යයෙන් ස්කන්ධ ප්‍රවාහ පාලකයක් (MFC) භාවිතයෙන් පාලනය කරනු ලබන අතර, කුටීර පීඩනය තීරණය වන්නේ වායු ආදානය සහ පොම්ප ධාරිතාව අතර තුලනය මගිනි.
මෙම වෙනස අතිශයින්ම වැදගත් ය.
එකම වායු ප්‍රවාහ අනුපාතය විවිධ රික්ත පද්ධති තත්වයන් යටතේ එකම ක්‍රියාකාරී පීඩනයක් ඇති නොකරයි. පොම්ප කිරීමේ වේගය, තෙරපුම් කපාට පිහිටීම, කුටීර සන්නායකතාවය හෝ අභ්‍යන්තර වායු ප්‍රවාහ මාර්ගය වෙනස් වුවහොත්, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස ඇතිවන පීඩනය ද වෙනස් විය හැකිය.
උදාහරණයක් ලෙස, ත්‍රොට්ල් කපාටයක් හෝ පොම්ප පද්ධතියක් අසාමාන්‍ය ලෙස ක්‍රියාත්මක වන්නේ නම්, පීඩන අපගමනයකට වන්දි ගෙවීම සඳහා ක්‍රියාකරුට ගෑස් ප්‍රවාහය වැඩි කළ හැකිය. පීඩනය තාවකාලිකව ඉලක්කගත අගයට නැවත පැමිණිය හැකි වුවද, සැබෑ වායු ප්‍රවාහ සහ ප්ලාස්මා තත්වයන් දැනටමත් වෙනස් වී තිබිය හැකිය.
එමනිසා, පළපුරුදු ක්‍රියාවලි ඉංජිනේරුවන් සාමාන්‍යයෙන් එකම ක්‍රියාවලි යොමුව ලෙස ස්වාධීනව පරාමිතීන් භාවිතා කිරීම වෙනුවට, වායු ප්‍රවාහය සහ කුටීර පීඩනය එකට නිරීක්ෂණය කරයි.
5. ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු පාලනය වඩාත් සංවේදී වේ.
TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂ සහ අනෙකුත් සංයෝග ආලේපන වැනි ප්‍රතික්‍රියාශීලී PVD ක්‍රියාවලීන් සඳහා, වායුගෝලීය පාලනය සැලකිය යුතු ලෙස සංකීර්ණ වේ.
ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුව පටලය සෑදීමේදී සෘජුවම සහභාගී වේ. නයිට්‍රජන්, ඔක්සිජන්, ඇසිටිලීන්, මීතේන් හෝ වෙනත් ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු වාෂ්පීකරණය වූ හෝ ඉසින ලද විශේෂ සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර අවසාන පටල සංයුතිය තීරණය කළ හැකිය.
එබැවින් ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු අර්ධ පීඩනයේ කුඩා වෙනසක් පටල ගුණාංගවල සැලකිය යුතු වෙනසක් ඇති කළ හැකිය.
උදාහරණයක් ලෙස, ප්‍රමාණවත් නයිට්‍රජන් ප්‍රවාහයක් නොමැතිකම අසම්පූර්ණ නයිට්‍රීකරණයට හේතු විය හැකි අතර, අධික නයිට්‍රජන් තැන්පත් වීමේ අනුපාතය, ප්ලාස්මා ලක්ෂණ, ඉලක්ක හැසිරීම සහ පටල සංයුතියට බලපෑම් කළ හැකිය. ප්‍රතික්‍රියාශීලී මැග්නට්‍රෝන ඉසීමේදී, අධික ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු හඳුන්වාදීම ඉලක්ක විෂ වීමට ද හේතු විය හැක, එහිදී ඉලක්ක මතුපිට සංයෝග තට්ටුවක් සෑදී ඉසීමේ ලක්ෂණ වෙනස් කරයි.
මේ නිසා ප්‍රතික්‍රියාශීලී ස්පුටරින් සඳහා බොහෝ විට සාම්ප්‍රදායික ලෝහ තැන්පත් වීමට වඩා සංකීර්ණ ක්‍රියාවලි පාලනයක් අවශ්‍ය වේ.
6. ඉලක්කගත විෂ වීම සාමාන්‍ය වායුගෝලීය පාලන ගැටළුවකි.
ප්‍රතික්‍රියාශීලී මැග්නට්‍රෝන ඉසීමේදී, ඉලක්කගත විෂ වීම වායුගෝලීය පාලනය හා සම්බන්ධ වඩාත් පොදු ගැටළු වලින් එකකි.
ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුවේ අර්ධ පීඩනය යම් පරාසයකට වඩා වැඩි වූ විට, ඉලක්කගත පෘෂ්ඨය සංයෝග ස්ථරයකින් ආවරණය විය හැක. ඉන්පසු ඉලක්කය ලෝහමය ඉසින තත්වයක සිට විෂ සහිත තත්වයක් කරා සංක්‍රමණය වේ.
මෙම සංක්‍රාන්තිය නිසා ස්පුටරින් අනුපාතය, විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය, විසර්ජන ධාරාව, ද්විතියික-ඉලෙක්ට්‍රෝන විමෝචනය, තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ පටල සංයුතියේ වෙනස්කම් ඇති විය හැක.
ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු ප්‍රවාහය සහ ඉලක්ක තත්ත්වය අතර සම්බන්ධතාවය බොහෝ විට රේඛීය නොවන බැවින් ගැටළුව වඩාත් අභියෝගාත්මක වේ. වායු ප්‍රවාහයේ කුඩා වෙනසක් ක්‍රියාවලි තත්වයේ අසමානුපාතිකව විශාල වෙනසක් ඇති කළ හැකිය.
ඉහළ පරිමාණ නිෂ්පාදනයක් සඳහා, ස්ථාවර ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු ප්‍රවාහයක් මත පමණක් රඳා පැවතීම ප්‍රමාණවත් නොවිය හැකිය. ප්‍රතික්‍රියාශීලී තැන්පත් කිරීමේ කවුළුව ස්ථාවර කිරීම සඳහා වඩාත් දියුණු පද්ධතිවලට දෘශ්‍ය විමෝචනය, විසර්ජන ලක්ෂණ, අර්ධ පීඩන මිනුම් හෝ වෙනත් ක්‍රියාවලි සංඥා මත පදනම් වූ සංවෘත-ලූප පාලනය භාවිතා කළ හැකිය.
7. කුටීර පිරිසිදුකම වායුගෝලීය ස්ථායිතාවයට සෘජුවම බලපායි.
වායුගෝලීය පාලනය ගෑස් සැපයුම් පද්ධතිය මත පමණක් රඳා නොපවතී. ආලේපන කුටියේ අභ්‍යන්තර තත්ත්වය ද ඒ හා සමානව වැදගත් වේ.
නැවත නැවත නිෂ්පාදන චක්‍ර අතරතුර, ආලේපන ද්‍රව්‍ය ක්‍රමයෙන් කුටි බිත්ති, පලිහ, උපස්ථර සවිකිරීම් සහ අනෙකුත් අභ්‍යන්තර සංරචක මත එකතු වේ. මෙම තැන්පතු අංශු දූෂණය වීමේ හෝ වායු පිටකිරීමේ ප්‍රභවයන් බවට පත්විය හැකිය. සමහර තැන්පතු ක්‍රියාවලි වායූන් සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කිරීමට හෝ පසුව උණුසුම සහ ප්ලාස්මා ක්‍රියාකාරිත්වය අතරතුර කලින් අවශෝෂණය කරන ලද වායූන් මුදා හැරීමට ද හැකිය.
ක්‍රියාවලි වට්ටෝරුව නොවෙනස්ව පැවතියද, මෙය ක්‍රමයෙන් සැබෑ කුටියේ වායුගෝලය වෙනස් කළ හැකිය.
මේ හේතුව නිසා, නිතිපතා කුටි පිරිසිදු කිරීම, පලිහ ප්‍රතිස්ථාපනය, සවිකිරීම් නඩත්තු කිරීම සහ රික්ත මුද්‍රා පරීක්ෂාව වායුගෝලීය කළමනාකරණයේ අත්‍යවශ්‍ය කොටස් වේ.
ස්ථාවර PVD ක්‍රියාවලියක් යනු හුදෙක් ස්ථාවර වට්ටෝරුවක ප්‍රතිඵලයක් නොවේ. එය කුටිය තුළ සාපේක්ෂව ස්ථාවර භෞතික පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම මත රඳා පවතී.
8. ගෑස් බෙදා හැරීම ගෑස් ප්‍රමාණය තරම්ම වැදගත් වේ
තවත් ප්‍රායෝගික ගැටළුවක් වන්නේ කුටියට ඇතුළු වන මුළු වායු ප්‍රමාණය ඒකාකාර ක්‍රියාවලි වාතාවරණයක් සහතික නොකිරීමයි.
ගෑස් ඇතුල්වීමේ දොරටුව, ෂවර් හෙඩ්, බැෆල්, පොම්ප කිරීමේ වරාය, ත්‍රොටල් කපාටය සහ උපස්ථර රඳවනයේ සැලසුම සහ පිහිටීම කුටිය තුළ වායුව බෙදා හරින ආකාරය තීරණය කරයි.
දුර්වල වායු ව්‍යාප්තිය ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු සාන්ද්‍රණයේ හෝ ප්ලාස්මා ඝනත්වයේ දේශීය වෙනස්කම් ඇති කළ හැකිය. ප්‍රතිඵලය උපස්ථරයේ විවිධ ස්ථානවල විවිධ පටල සංයුති හෝ ඝනකම් විය හැකිය.
මෙය විශේෂයෙන් වැදගත් වන්නේ විශාල ප්‍රදේශ ආලේපන පද්ධති සහ ඉහළ පැටවුම් ධාරිතාවක් සහිත නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා ය.
එබැවින්, රික්ත ආලේපන යන්ත්‍රයක් ප්‍රශස්ත කිරීමේදී, වායු ප්‍රවාහ සැලසුම ප්ලාස්මා-ප්‍රභව වින්‍යාසය, උපස්ථර භ්‍රමණය, පොම්ප කිරීමේ ජ්‍යාමිතිය සහ කුටීර ව්‍යුහය සමඟ සලකා බැලිය යුතුය.
9. ආලේපනය හදිසියේ වෙනස් වූ විට, පළමුව වායුගෝලය පරීක්ෂා කරන්න.
සැබෑ නිෂ්පාදනයේදී, ආලේපන ගැටළු බොහෝ විට වර්ණය, දෘඪතාව, ඇලවීම, පටල ඝණකම හෝ විදුලි ක්‍රියාකාරිත්වයේ හදිසි වෙනස්කම් ලෙස පෙනේ.
මෙය සිදු වූ විට, තැන්පත් කිරීමේ බලය, උපස්ථර නැඹුරුව හෝ තැන්පත් වීමේ කාලය වහාම සකස් කිරීමට පෙළඹවීමක් ඇති කරයි. කෙසේ වෙතත්, වායුගෝලයට අදාළ විචල්‍යයන් පළමුව පරීක්ෂා කළ යුතුය.
ප්‍රායෝගික දෝශ නිරාකරණ අනුපිළිවෙලක් වන්නේ වත්මන් නිෂ්පාදන දත්ත සාමාන්‍ය ක්‍රියාවලි තත්ත්වය සමඟ සංසන්දනය කිරීමයි: පාදක පීඩනය, පොම්ප-පහළ කාලය, වැඩ කරන පීඩනය, ක්‍රියාවලි-වායු ප්‍රවාහය, ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු ප්‍රවාහය, තෙරපුම්-කපාට පිහිටීම, විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය/ධාරාව, උපස්ථර උෂ්ණත්වය සහ තැන්පත් වීමේ අනුපාතය.
මෙම පරාමිතීන්ගෙන් එකක් වෙනස් වී ඇත්නම්, එය ආලේපන වට්ටෝරුව වෙනස් කිරීමට වඩා සෘජු පැහැදිලි කිරීමක් සැපයිය හැකිය.
විශේෂයෙන්, ගෑස් ප්‍රවාහ සැකසුම නොවෙනස්ව පවතින නමුත් කුටීර පීඩනය වෙනස් වී ඇත්නම්, ගැටළුව ආලේපන ද්‍රව්‍යයට වඩා පොම්ප පද්ධතිය, පීඩන පාලන කපාටය, ගෑස් සැපයුම, කුටීර සන්නායකතාවය හෝ කාන්දු තත්ත්වය තුළ පැවතිය හැකිය.
10. වායුගෝලීය පාලනය අවසානයේ පද්ධති පාලන ගැටලුවකි
කාර්මික රික්තක ආලේපනයෙන් ලබාගත් ප්‍රායෝගික අත්දැකීම්වලින් පෙනී යන්නේ වායුගෝලීය පාලනය සමස්ත රික්තක පද්ධතියෙන් වෙන් කළ නොහැකි බවයි.
රික්ත පොම්ප මගින් කුටියේ පොම්ප කිරීමේ හැකියාව තීරණය කරයි. ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිය ගෑස් ආදානය තීරණය කරයි. ත්‍රොට්ල් කපාටය වායු ප්‍රවාහය සහ කුටීර පීඩනය අතර සම්බන්ධතාවය නියාමනය කරයි. ප්ලාස්මා ප්‍රභවය වායුව අයනීකරණය වී ඇති ආකාරය සහ තැන්පත් කිරීමේ විශේෂ සමඟ අන්තර්ක්‍රියා කරන ආකාරය තීරණය කරයි. උපස්ථර පද්ධතිය මඟින් වැඩ කොටස ප්ලාස්මා සමඟ අන්තර්ක්‍රියා කරන ආකාරය තීරණය කරයි.
මෙම පද්ධති එකවර ක්‍රියාත්මක වන අතර, එක් පරාමිතියක වෙනසක් තවත් කිහිපයකට බලපෑම් කළ හැකිය.
එබැවින්, පරිණත PVD ක්‍රියාවලියක් තනි ස්ථාවර පරාමිතියක් මත රඳා නොසිට ස්ථාවර ක්‍රියාවලි කවුළුවක් ස්ථාපිත කළ යුතුය. අරමුණ වන්නේ රික්ත පීඩනය, වායු ප්‍රවාහය, ප්ලාස්මා ලක්ෂණ, උපස්ථර තත්වයන් සහ තැන්පත් කිරීමේ පරාමිතීන් නිෂ්පාදනය පුරාවට පාලිත පරාසයක් තුළ පවතින බව සහතික කිරීමයි.
නිගමනය
වායුගෝල පාලනය යනු ස්ථායී රික්ත ආලේපනයේ මූලික අංගයකි. පාදක පීඩනය සහ අවශේෂ වායු කළමනාකරණයේ සිට වැඩ කරන පීඩනය, වායු ප්‍රවාහය, ප්‍රතික්‍රියාශීලී-වායු අර්ධ පීඩනය, ඉලක්ක විෂ වීම සහ කුටීර පිරිසිදුකම දක්වා, සෑම සාධකයක්ම අවසාන ආලේපනයට බලපෑම් කළ හැකිය.
සාම්ප්‍රදායික PVD තැන්පත් වීම සඳහා, ස්ථායී වායුගෝලීය තත්වයන් නැවත නැවත කළ හැකි පටල වර්ධනය සඳහා පදනමක් සපයයි. ප්‍රතික්‍රියාශීලී ස්පුටරින් සහ අනෙකුත් ප්ලාස්මා ආධාරක ක්‍රියාවලීන් සඳහා, වායු සංයුතිය පටල සෑදීමේදී සෘජුවම සහභාගී වන බැවින් නිරවද්‍ය වායුගෝලීය පාලනය වඩාත් තීරණාත්මක වේ.
එබැවින් වායුගෝලීය පාලනයේ සැබෑ අරමුණ වන්නේ යම් පීඩනයක් හෝ වායු ප්‍රවාහ අගයක් පවත්වා ගැනීම පමණක් නොවේ. එය ප්ලාස්මා, තැන්පත් විශේෂ, උපස්ථරය සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුගෝලය පාලිත තත්වයක පවතින ස්ථාවර සහ ප්‍රතිනිෂ්පාදනය කළ හැකි තැන්පත් පරිසරයක් ස්ථාපිත කිරීමයි.
කාර්මික රික්ත ආලේපන උපකරණ සඳහා, මේ සඳහා රික්ත පොම්ප පද්ධතිය, ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිය, පීඩන පාලන පද්ධතිය, ප්ලාස්මා ප්‍රභවය, කුටීර ව්‍යුහය සහ ක්‍රියාවලි පාලන මෘදුකාංගවල සම්බන්ධීකරණ සැලසුම අවශ්‍ය වේ.
-මෙම ලිපිය ප්‍රකාශයට පත් කරන ලද්දේරික්තක ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදකයාෂෙන්හුවා රික්තකය
පළ කිරීමේ කාලය: අගෝස්තු-08-2026