פּראַקטישע דערפאַרונג אין אַטמאָספער קאָנטראָל פֿאַר וואַקוום קאָוטינג

אין וואַקוום קאָוטינג, איז אַטמאָספער קאָנטראָל איינער פון די מערסט פונדאַמענטאַלע פאַקטאָרן וואָס ווירקן אויף פילם קוואַליטעט און פּראָצעס פעסטקייט. כאָטש די קאָוטינג קאַמער אַרבעט אונטער וואַקוום, איז די דעפּאָזיציע סביבה נישט אַ גאָר "גאַז-פֿרייַ" פּלאַץ. רעזידועל גאַזן, פּראָצעס גאַזן, רעאַקטיוו גאַזן, גאַז שטראָם, אַרבעט דרוק, און פּאָמפּע באדינגונגען ינטעראַקט קאַנטיניואַסלי מיט די פּלאַזמע און דעפּאָזיציע מינים.

אין דער פאַקטישער פּראָדוקציע, קענען פילע קאָוטינג חסרונות וואָס שיינען צו זיין פֿאַרבונדן מיטן ציל, קאַטאָדע, סאַבסטראַט, אָדער מאַכט צושטעל לעצטendlich צוריקגעפירט ווערן צו נישט-סטאַבילער אַטמאָספֿער קאָנטראָל. פּראָבלעמען ווי נישט-סטאַבילער פֿילם קאָליר, שלעכטע אַדכיזשאַן, אַבנאָרמאַלער פֿילם קעגנשטעל, איבערגעטריבענע בויגן, נישט-גלייכע פֿילם גרעב, פּין האָלעס, און באַטש-צו-באַטש וואַריאַציע זענען אָפֿט ענג פֿאַרבונדן מיט ענדערונגען אין דער פּראָצעס אַטמאָספֿערע.

דעריבער, פֿאַר אינדוסטריעלע PVD סיסטעמען, זאָל אַטמאָספֿער קאָנטראָל נישט באַטראַכט ווערן פשוט ווי אַדזשאַסטינג די גאַז-פלוס מעטער. עס איז אַ קאָאָרדינירטער פּראָצעס וואָס נעמט אַרײַן באַזע דרוק, רעזידועל גאַז צוזאַמענשטעלונג, פּראָצעס-גאַז פלוס, אַרבעט דרוק, גאַז טייל דרוק, פּאָמפּע קאַנדאַקטאַנס, פּלאַזמע באדינגונגען, און רעאַקטיוו-גאַז פֿידבעק.

1. דער ערשטער שריט איז נישט גאז אינדזשעקציע, נאר קאנטראלירן דעם באזע וואקיום

א געוויינטלעכער טעות אין פּראָדוקציע איז צו פאָקוסירן אויף פּראָצעס-גאַז פּאַראַמעטערס בשעת מען איבערקוקט דעם צושטאַנד פון דער וואַקוום קאַמער אַליין.

איידער מען לייגט אריין פּראָצעס גאַזן, מוז די קאָוטינג קאַמער דערגרייכן אַן פּאַסיקן באַזע דרוק. א גענוג נידעריק באַזע דרוק העלפט רעדוצירן רעשטלעך זויערשטאָף, וואַסער פארע, כיידראָקאַרבאַנז און אַנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ. די רעשטלעך גאַזן קענען זיך באַטייליקן אין דעם דעפּאָזיציע פּראָצעס און ווערן איינגעבויט אין דעם וואַקסנדיקן פילם, וואָס אַפעקטירט פילם קאָמפּאָזיציע, מיקראָסטרוקטור, אַדכיזשאַן און אָפּטישע אָדער עלעקטרישע אייגנשאַפטן.

דאָס איז באַזונדערס וויכטיק פֿאַר רעאַקטיווע PVD פּראָצעסן. למשל, ווען מען לייגט אַוועק ניטרידן אָדער אָקסיידן, מוז מען אונטערשיידן דעם געוואָלטן רעאַקטיוון גאַז פֿון אומקאָנטראָלירטן זויערשטאָף אָדער וואַסער פארע וואָס בלייבט איבער אין דער קאַמער. אַנדערש קען די פאַקטישע רעאַקטיווע אַטמאָספֿערע באַדייטנד אָפּווייכן פֿון דעם פּראָצעס רעצעפּט, אפילו כאָטש דער מאַסע-פֿלוס קאָנטראָללער אַרבעט נאָרמאַל.

אין פּראַקטישער פּראָדוקציע, אויב דער זעלביקער רעצעפּט ברענגט פּלוצעם אַנדערע קאָוטינג רעזולטאַטן, זאָל די ערשטע פראַגע נישט שטענדיק זיין צי די ציל מאַכט האָט זיך געביטן. עס איז אויך נייטיק צו קאָנטראָלירן צי דער באַזע דרוק, פּאָמפּ-דאַון צייט, קאַמער ריינקייט, און רעשט גאַז באדינגונגען האָבן זיך געביטן.

2. פּאָמפּ-דאַון נאַטור איז אַ וויכטיקער פּראָצעס אינדיקאַטאָר

א געזונטע וואַקוום סיסטעם זאָל האָבן לעפיערעך סטאַבילע און איבערחזרנדיקע פּאָמפּ-דאַון קעראַקטעריסטיקס.

אויב די קאַמער נעמט באַדייטנד לענגער ווי געוויינטלעך צו דערגרייכן דעם פארלאנגטן באַזע דרוק, קען דאָס אָנווייַזן אויף געוואקסענע אויסגאַזינג, קאַנטאַמאַניישאַן, אַ וואַקוום ליק, דעגראַדירטע פּאָמפּע פאָרשטעלונג, אָדער איבערגעטריבענע נעץ אין דער קאַמער.

טיפישע קוועלער פון אויסגאזן שליסן איין סאַבסטראַט מאַטעריאַלן, פֿיקסטשורז, פּאָלימער רעשטלעך, וואַקוום פֿעט, קאָנטאַמינירטע קאַמער ייבערפֿלאַכן, און אַבזאָרבירטע פֿײַכטקייט. עטלעכע מאַטעריאַלן קענען ווײַטער ארויסלאָזן גאַזן נאָכדעם וואָס די קאַמער האָט דערגרייכט אַן אויסזעענדיק אַקצעפּטאַבלן דרוק, וואָס רעזולטירט אין נישט-סטאַבילע פּראָצעס באַדינגונגען בעת ​​דעפּאָזיציע.

דעריבער, די באַציִונג צווישן פּאָמפּע-דאַון צייט, לעצטן דרוק, דרוק העכערונג קורס, און פּראָצעס סטאַביליטעט קען צושטעלן ווערטפולע אינפֿאָרמאַציע וועגן דעם צושטאַנד פון די וואַקוום סיסטעם.

פֿאַר פּראָדוקציע עקוויפּמענט, קען מאָניטאָרירן דעם דרוק-שטייג נאַטור נאָך אפגעזונדערטקייט פֿון דער פּאָמפּע סיסטעם אויך העלפֿן אונטערשיידן צווישן אַן עכטן ליק און נאָרמאַלן אויסגאַז. דאָס איז ספּעציעל נוצלעך בעת פּראָבלעם-לייזונג.

3. ארבעטס דרוק באשטימט די טראנספארט סביבה

נאכדעם וואס מען דערגרייכט א פאסיגע באזע וואקיום, ווערט פראצעס גאז אריינגעפירט און די קאמער גייט אריין אין דעם ארבעטס-דרוק רעזשים.

ארבעטס דרוק האט א דירעקטן איינפלוס אויף דעם דורכשניטלעכן פרייען וועג פון פארשפריצטע אטאמען, יאנען, און עלעקטראנען. דעריבער ווירקט עס אויף די פלאזמע אייגנשאפטן, דעפאזיציע ראטע, יאניזאציע, פארטיילונג פון די פארטיילונג, און די ווינקלדיגע פארטיילונג פון דעם דעפאזיציע שטראם.

ביי רעלאטיוו נידריגן דרוק, קענען פארשפריצטע מינים דורכפארן די קאמער מיט ווייניגער קאליזיעס, וואס רעזולטירט אין א מער ריכטונגספולן דעפאזיציע שטראם. דאס קען זיין נוצבאר פאר געוויסע אנווענדונגען אבער קען פארגרעסערן שאטן-עפעקטן אויף קאמפלעקסע דריי-דימענסיאנעלע קאמפאנענטן.

ווי דרוק וואקסט, ווערן קאליזיעס צווישן די דעפאזיציע מינים און גאז מאלעקולן מער אָפט. דער דעפאזיציע שטראָם ווערט מער צעוואָרפן, וואָס קען פֿאַרבעסערן קאַווערידזש אויף פֿאַרטיפֿטע ייבערפֿלאַכן אָבער קען אויך רעדוצירן דעפאזיציע עפעקטיווקייט און ענדערן פילם מאָרפאָלאָגיע.

דערפֿאַר זאָל מען נישט באַטראַכטן אַרבעטס־דרוק פשוט ווי אַ ווערט וואָס דאַרף "ריכטיק געשטעלט ווערן." דאָס איז אַ פּראָצעס־וואַריאַבל וואָס האָט אַ דירעקטן השפּעה אויף דער טראַנספּאָרט־קינעטיק פֿון די דעפּאָזיציע־ספּעציעס.

4. גאז פלוס און דרוק זענען נישט די זעלבע זאך

אין פּראַקטישער PVD אָפּעראַציע, ווערט גאַז־פלוס געוויינטלעך קאָנטראָלירט מיט אַ מאַסע־פלוס קאָנטראָללער (MFC), בשעת קאַמער־דרוק ווערט באַשטימט דורך דער וואָג צווישן גאַז־אַרייַנגאַנג און פּאָמפּע־קאַפּאַציטעט.

די אונטערשיידונג איז גאָר וויכטיק.

די זעלבע גאז שטראָם ראַטע טוט נישט דאַווקע פּראָדוצירן די זעלבע אַרבעט דרוק אונטער פאַרשידענע וואַקוום-סיסטעם באדינגונגען. אויב די פּאָמפּע גיכקייט, טראָטל-ווענטיל שטעלע, קאַמער קאַנדאַקטאַנס, אָדער ינערלעך גאַז-פלוס וועג ענדערט זיך, קען דער רעזולטאַט דרוק אויך ענדערן זיך.

למשל, אויב אַ דראָט ווענטיל אָדער פּאָמפּע סיסטעם אַרבעט נישט נאָרמאַל, קען דער אָפּעראַטאָר פאַרגרעסערן דעם גאַז שטראָם צו קאָמפּענסירן פֿאַר אַ דרוק אָפּנייגונג. כאָטש דער דרוק קען צייטווייליק צוריקקומען צום ציל ווערט, קען זיין אַז די פאַקטישע גאַז-שטרום און פּלאַזמע באדינגונגען האָבן זיך שוין געביטן.

דעריבער, עקספּיריאַנסט פּראָצעס אינזשענירן מאָניטאָרירן בכלל גאַז לויפן און קאַמער דרוק צוזאַמען, אַנשטאָט צו נוצן יעדן פּאַראַמעטער זעלבשטענדיק ווי די איינציקע פּראָצעס רעפערענץ.

5. רעאַקטיוו גאַז קאָנטראָל איז מער סענסיטיוו

פֿאַר רעאַקטיווע PVD פּראָצעסן ווי TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, און אַנדערע קאַמפּאַונד קאָוטינגז, ווערט אַטמאָספער קאָנטראָל באַדייטנד מער קאָמפּליצירט.

דער רעאַקטיווער גאַז נעמט גלייך אָנטייל אין דער פאָרמירונג פון דעם פילם. שטיקשטאָף, זויערשטאָף, אַצעטילען, מעטאַן, אָדער אַנדערע רעאַקטיווע גאַזן קענען רעאַגירן מיט די פארדאַמפּטע אָדער געשפּריצטע מינים צו באַשטימען די לעצט פילם קאָמפּאָזיציע.

א קליינע ענדערונג אין רעאַקטיוו-גאַז פּאַרטישאַל דרוק קען דעריבער פּראָדוצירן אַ באַטייטיק ענדערונג אין פילם אייגנשאַפטן.

למשל, אומגענוגיקער שטיקשטאָף־פלוס קען רעזולטירן אין אומפארענדיקטער ניטרידיאַציע, בשעת איבערגעטריבענער שטיקשטאָף קען השפּעה האָבן אויף די אָפּזעצונג־ראַטע, פּלאַזמע־אייגנשאַפטן, ציל־פֿאַרהאַלטן, און פֿילם־צוזאַמענשטעלונג. ביי רעאַקטיווער מאַגנעטראָן־ספּאַטערינג, קען איבערגעטריבענער רעאַקטיוו־גאַז־איינפֿירונג אויך פֿירן צו ציל־פֿאַרסאַמונג, אין וועלכער אַ קאָמפּאַונד־שיכט פֿאָרמירט זיך אויף דער ציל־איבערפֿלאַך און ענדערט די שפּאַטערינג־אייגנשאַפטן.

דאָס איז פאַרוואָס רעאַקטיוו ספּאַטערינג אָפט ריקווייערז מער סאָפיסטיקירט פּראָצעס קאָנטראָל ווי קאַנווענשאַנאַל מעטאַליק דעפּאַזישאַן.

6. ציל-פאַרגיפטונג איז אַ טיפּיש אַטמאָספער-קאָנטראָל פּראָבלעם

אין רעאַקטיוו מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, איז ציל פאַרסאַמונג איינער פון די מערסט פּראָסט פּראָבלעמען פֿאַרבונדן מיט אַטמאָספער קאָנטראָל.

ווען דער טיילווייזער דרוק פון דעם רעאַקטיוון גאַז וואַקסט איבער אַ געוויסן ראַם, קען די ציל-איבערפלאַך ווערן באדעקט מיט אַ קאָמפּאָנענט שיכט. די ציל גייט דאַן איבער פון אַ מעטאַלישן שפּאַטערינג צושטאַנד צו אַ פאַרגיפטעטן צושטאַנד.

די איבערגאַנג קען פאַראורזאַכן ענדערונגען אין ספּאַטערינג קורס, דיסטשאַרדזש וואָולטידזש, דיסטשאַרדזש קראַנט, צווייטיק-עלעקטראָן ימישאַן, דעפּאָזיציע קורס, און פילם זאַץ.

די פראבלעם ווערט נאך שווערער ווייל די באציאונג צווישן רעאקטיוו-גאז פלוס און ציל צושטאנד איז אפט נישט-לינעאר. א קליינע ענדערונג אין גאז פלוס קען שאפן א דיספארפארציאנעל גרויסע ענדערונג אין דעם פראצעס צושטאנד.

פֿאַר גרויסע פּראָדוקציע, קען זיך פֿאַרלאָזן בלויז אויף אַ פֿיקסירטן רעאַקטיוו-גאַז פֿלוס דעריבער נישט זײַן גענוג. מער אַוואַנסירטע סיסטעמען קענען נוצן פֿאַרמאַכט-לופּ קאָנטראָל באַזירט אויף אָפּטישער עמיסיע, אָפּזאָגן כאַראַקטעריסטיקס, טיילווייז-דרוק מעסטונג, אָדער אַנדערע פּראָצעס סיגנאַלן צו סטאַביליזירן די רעאַקטיווע דעפּאָזיציע פֿענצטער.

7. קאַמער ריינקייט דירעקט אַפעקץ אַטמאָספער פעסטקייַט

אטמאספערע קאנטראל איז נישט נאר אפהענגיק פון די גאז צושטעל סיסטעם. דער אינערליכער צושטאנד פון דער באדעק קאמער איז גלייך וויכטיג.

בעת איבערגעחזרטע פּראָדוקציע ציקלען, זאַמלט זיך באַדעקן מאַטעריאַל ביסלעכווייַז אויף קאַמער ווענט, שילדן, סאַבסטראַט פֿיקסטשורז און אַנדערע אינעווייניקסטע קאָמפּאָנענטן. די דעפּאָזיטן קענען ווערן קוואלן פון פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן אָדער אויסגאַזינג. עטלעכע דעפּאָזיטן קענען אויך רעאַגירן מיט פּראָצעס גאַזן אָדער באַפֿרײַען פריער אַבזאָרבירטע גאַזן בעת ​​דער ווייטערדיקער הייצונג און פּלאַזמע אָפּעראַציע.

דאָס קען ביסלעכווייַז ענדערן די פאַקטישע קאַמער אַטמאָספער אפילו ווען דער פּראָצעס רעצעפּט בלייבט אַנטשיינדזשד.

צוליב דעם, רעגולערע רייניקונג פון די קאַמער, שילד פאַרבייַט, פיקסטשער וישאַלט, און וואַקוום-פאַרזיגלונג דורכקוק זענען וויכטיקע טיילן פון אַטמאָספער פאַרוואַלטונג.

א סטאַבילער PVD פּראָצעס איז נישט פשוט דער רעזולטאַט פון אַ סטאַבילער רעצעפּט. עס איז אָפּהענגיק פון אויפהאלטן אַ רעלאַטיוו סטאַבילע פיזישע סביבה אינעווייניק פון דער קאַמער.

8. גאז פארטיילונג איז אזוי וויכטיג ווי גאז קוואנטיטעט

נאך א פראקטישע פראבלעם איז אז די גאנצע צאל גאז וואס גייט אריין אין דער קאמער גאראנטירט נישט א גלייכפארמיגע פראצעס אטמאספערע.

דער דיזיין און פאזיציע פון ​​די גאז אריינגאנג, שאוער-קאפ, באפל, פאמפינג פארט, גאז-ווענטיל, און סובסטראט האלטער באשטימען ווי גאז ווערט פארשפרייט אינעווייניק פון דער קאמער.

שלעכטע גאז פארשפרייטונג קען שאפן לאקאלע וועריאציעס אין רעאקטיוו-גאז קאנצענטראציע אדער פלאזמע געדיכטקייט. דער רעזולטאט קען זיין פארשידענע פילם קאמפאזיציעס אדער דיקקייטן אין פארשידענע פאזיציעס אויף דעם סובסטראט.

דאָס איז ספּעציעל וויכטיק פֿאַר גרויס-שטח קאָוטינג סיסטעמען און פּראָדוקציע עקוויפּמענט מיט הויך לאָודינג קאַפּאַציטעט.

דעריבער, ווען מען אָפּטימיזירט אַ וואַקוום קאָוטינג מאַשין, זאָל מען באַטראַכטן דעם גאַז-פלוס פּלאַן צוזאַמען מיט דער פּלאַזמע-מקור קאָנפיגוראַציע, סאַבסטראַט ראָטאַציע, פּאָמפּע דזשיאַמעטרי, און קאַמער סטרוקטור.

9. ווען די קאָוטינג פּלוצעם ענדערט זיך, קאָנטראָלירט ערשט די אַטמאָספער

אין פאַקטישער פּראָדוקציע, פּראָבלעמען מיט קאָוטינג דערשייַנען אָפט ווי פּלוצעמדיקע ענדערונגען אין קאָליר, כאַרדנאַס, אַדכיזשאַן, פילם גרעב, אָדער עלעקטרישע פאָרשטעלונג.

ווען דאָס פּאַסירט, איז עס פֿאַרפֿירעריש צו גלייך אַדזשאַסטירן די דעפּאָזיציע מאַכט, סאַבסטראַט בייאַס, אָדער דעפּאָזיציע צייט. אָבער, אַטמאָספֿער-פֿאַרבונדענע וועריאַבאַלן זאָלן ערשט געטשעקט ווערן.

א פּראַקטישע פּראָבלעם-לייזונג סיקוואַנס איז צו פֿאַרגלײַכן די איצטיקע פּראָדוקציע דאַטן מיט די נאָרמאַלע פּראָצעס צושטאַנד: באַזע דרוק, פּאָמפּ-דאַון צײַט, אַרבעט דרוק, פּראָצעס-גאַז פֿלוס, רעאַקטיוו-גאַז פֿלוס, טראָטל-ווענטיל פּאָזיציע, אָפּזאָגן וואָולטידזש/קראַנט, סאַבסטראַט טעמפּעראַטור, און דעפּאָזיציע קורס.

אויב איינער פון די פּאַראַמעטערס האָט זיך געביטן, קען עס צושטעלן אַ מער דירעקטע דערקלערונג ווי פשוט מאָדיפיצירן דעם רעצעפּט פֿאַר קאָוטינג.

ספּעציעל, אויב די גאַז-פלוס באַשטעטיקונג איז נישט געביטן אָבער דער קאַמער דרוק האט זיך געביטן, קען די פּראָבלעם ליגן אין די פּאָמפּע סיסטעם, דרוק-קאָנטראָל ווענטיל, גאַז צושטעל, קאַמער קאַנדאַקטאַנס, אָדער ליקאַדזש צושטאַנד, אלא ווי אין די קאָוטינג מאַטעריאַל זיך.

10. אטמאספערע קאנטראל איז לעצטendlich א סיסטעם-קאנטראל פראבלעם

די פּראַקטישע דערפאַרונג וואָס איז אָנגעזאַמלט געוואָרן פֿון אינדוסטריעלער וואַקוום קאָוטינג ווײַזט אַז אַטמאָספֿער קאָנטראָל קען נישט ווערן אָפּגעטיילט פֿון דער גאַנצער וואַקוום סיסטעם.

די וואַקוום פּאָמפּעס באַשטימען די קאַמער'ס פּאָמפּע קאַפּאַציטעט. די גאַז-ליפערונג סיסטעם באַשטימט די גאַז אַרייַנגאַנג. די טראָטל ווענטיל רעגולירט די שייכות צווישן גאַז לויפן און קאַמער דרוק. די פּלאַזמע מקור באַשטימט ווי דער גאַז איז ייאַנייזד און ינטעראַקט מיט די דעפּאַזישאַן מינים. די סאַבסטראַט סיסטעם באַשטימט ווי די ווערקפּיס ינטעראַקט מיט די פּלאַזמע.

די סיסטעמען אַרבעטן גלײַכצײַטיק, און אַ ענדערונג אין איין פּאַראַמעטער קען השפּעה האָבן אויף עטלעכע אַנדערע.

דעריבער, זאָל אַ דערוואַקסענער PVD פּראָצעס אויפֿשטעלן אַ סטאַבילן פּראָצעס פֿענצטער אַנשטאָט זיך פֿאַרלאָזן אויף אַן איינציקן פֿיקסירטן פּאַראַמעטער. די ציל איז צו זיכער מאַכן אַז וואַקוום דרוק, גאַז פֿלוס, פּלאַזמע קעראַקטעריסטיקס, סאַבסטראַט באדינגונגען און דעפּאָזיציע פּאַראַמעטערס בלייבן אין אַ קאָנטראָלירטן קייט איבער פּראָדוקציע.

מסקנא

אַטמאָספער קאָנטראָל איז איינער פון די יסודותדיקע עלעמענטן פון סטאַבילער וואַקוום קאָוטינג. פון באַזע דרוק און רעזידועל גאַז פאַרוואַלטונג ביז אַרבעט דרוק, גאַז לויפן, רעאַקטיוו-גאַז פּאַרטישאַל דרוק, ציל פאַרסאַמונג, און קאַמער ריינקייט, יעדער פאַקטאָר קען השפּעה האָבן אויף די לעצט קאָוטינג.

פֿאַר קאַנווענשאַנעלער PVD דעפּאָזיציע, צושטעלן סטאַבילע אַטמאָספֿערע באַדינגונגען אַ יסוד פֿאַר איבערחזרנדיקן פֿילם וווּקס. פֿאַר רעאַקטיוו ספּאַטערינג און אַנדערע פּלאַזמע-אַסיסטירטע פּראָצעסן, ווערט פּינקטלעכע אַטמאָספֿערע קאָנטראָל נאָך מער קריטיש ווײַל די גאַז קאָמפּאָזיציע נעמט גלייך אָנטייל אין פֿילם פֿאָרמאַציע.

די עכטע ציל פון אטמאספערע קאנטראל איז דעריבער נישט פשוט צו אויפהאלטן א געוויסן דרוק אדער גאז-פלוס ווערט. עס איז צו שאפן א סטאבילן און רעפראדוסירבארן דעפאזיציע סביבה אין וועלכן די פלאזמע, דעפאזיציע מינים, סובסטראט, און רעאקטיווע אטמאספערע בלייבן אין א קאנטראלירטן צושטאנד.

פֿאַר אינדוסטריעלע וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט, דאָס ריקווייערז קאָאָרדינירטע פּלאַן פון די וואַקוום פּאָמפּע סיסטעם, גאַז-צושטעל סיסטעם, דרוק-קאָנטראָל סיסטעם, פּלאַזמע מקור, קאַמער סטרוקטור, און פּראָצעס-קאָנטראָל ווייכווארג.

-דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט געוואָרן דורךוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט פאַבריקאַנטזשענהואַ וואַקוום