Ho koaheleng ka vacuum, taolo ea sepakapaka ke e 'ngoe ea lintlha tsa bohlokoa ka ho fetisisa tse amang boleng ba filimi le botsitso ba ts'ebetso. Leha kamore ea ho koahele e sebetsa tlas'a vacuum, tikoloho ea ho beha ha se sebaka sa "se nang khase" ka ho feletseng. Likhase tse setseng, likhase tsa ts'ebetso, likhase tse arabelang, phallo ea khase, khatello ea ho sebetsa, le maemo a ho pompa li sebelisana khafetsa le plasma le mofuta oa ho beha.
Tlhahisong ea 'nete, liphoso tse ngata tsa ho roala tse bonahalang li amana le sepheo, cathode, substrate, kapa phepelo ea motlakase li ka qetella li saloa morao taolong e sa tsitsang ea sepakapaka. Mathata a kang 'mala o sa tsitsang oa filimi, ho khomarela ho fokolang, ho hanyetsa filimi ka tsela e sa tloaelehang, ho thekesela ho feteletseng, botenya ba filimi bo sa lekanang, li-pinhole, le phapang ea batch-to-batch hangata li amahanngoa haufi-ufi le liphetoho sepakapakeng sa ts'ebetso.
Ka hona, bakeng sa litsamaiso tsa PVD tsa indasteri, taolo ea sepakapaka ha ea lokela ho nkoa e le feela ho lokisa sesupa-tsela sa phallo ea khase. Ke ts'ebetso e hokahaneng e kenyeletsang khatello ea motheo, sebopeho sa khase e setseng, phallo ea ts'ebetso-khase, khatello ea ts'ebetso, khatello e sa fellang ea khase, phetisetso ea ho pompa, maemo a plasma, le karabelo ea khase e arabelang.
1. Mohato oa Pele Hase ho Enta Khase, Empa ke ho Laola Mokelikeli oa Motheo oa Vacuum
Phoso e tloaelehileng tlhahisong ke ho tsepamisa maikutlo ho liparamente tsa ts'ebetso-khase ha re ntse re hlokomoloha boemo ba kamore ea vacuum ka boeona.
Pele ho kenngwa dikgase tsa tshebetso, kamore ya ho kwahela e tlameha ho fihlella kgatello e loketseng ya motheo. Kgatello e tlase ya motheo e thusa ho fokotsa oksijene e setseng, mouwane wa metsi, di-hydrocarbon le ditshila tse ding. Dikhase tsena tse setseng di ka nka karolo tshebetsong ya ho bewa mme tsa kenngwa filiming e ntseng e hola, e amang sebopeho sa filimi, sebopeho sa micro, kgomarelo, le thepa ya optical kapa ya motlakase.
Sena se bohlokoa haholo bakeng sa lits'ebetso tsa PVD tse arabelang. Mohlala, ha ho beoa nitrides kapa li-oxide, khase e arabelang e reriloeng e tlameha ho khetholloa ho oksijene e sa laoleheng kapa mouoane oa metsi o setseng ka phapusing. Ho seng joalo, sepakapaka sa 'nete se arabelang se ka fapana haholo le risepe ea ts'ebetso leha molaoli oa phallo ea bongata a sebetsa ka mokhoa o tloaelehileng.
Tlhahisong e sebetsang, haeba risepe e tšoanang e hlahisa liphetho tse fapaneng tsa ho koahela ka tšohanyetso, potso ea pele ha ea lokela ho ba hore na matla a reretsoeng a fetohile kamehla. Ho boetse hoa hlokahala ho hlahloba hore na khatello ea motheo, nako ea ho pompa, bohloeki ba kamore, le maemo a khase a setseng a fetohile.
2. Boitšoaro ba ho Pompa ke Sesupo sa Bohlokoa sa Ts'ebetso
Sistimi e phetseng hantle ea vacuum e lokela ho ba le litšobotsi tse tsitsitseng le tse ka phetoang tsa ho pompa.
Haeba kamore e nka nako e telele ho feta tlwaelo ho fihlela kgatello e hlokahalang ya motheo, sena se ka bontsha ho eketseha ha kgase e tswang, tshilafalo, ho dutla ha vacuum, tshebetso e senyehileng ya pompo, kapa mongobo o feteletseng ka hare ho kamore.
Mehloli e tloaelehileng ea ho ntša khase e kenyelletsa thepa ea substrate, lisebelisoa, masala a polymer, mafura a vacuum, libaka tse silafetseng tsa kamore, le mongobo o monyehileng. Lisebelisoa tse ling li ka 'na tsa tsoela pele ho lokolla likhase ka mor'a hore kamore e fihle khatellong e bonahalang e amoheleha, e leng se fellang ka maemo a sa tsitsang a ts'ebetso nakong ea ho beha.
Ka hona, kamano pakeng tsa nako ea ho pompa le ho theola, khatello ea ho qetela, sekhahla sa ho phahama ha khatello, le botsitso ba ts'ebetso li ka fana ka tlhaiso-leseling ea bohlokoa mabapi le boemo ba sistimi ea vacuum.
Bakeng sa lisebelisoa tsa tlhahiso, ho beha leihlo boitšoaro ba ho phahama ha khatello kamora ho aroloa ho sistimi ea ho pompa ho ka boela ha thusa ho khetholla pakeng tsa ho lutla ha 'nete le ho tsoa ha khase ho tloaelehileng. Sena se thusa haholo nakong ea ho rarolla mathata.
3. Khatello ea Mosebetsi e Laola Tikoloho ea Lipalangoang
Kamora ho fumana vacuum e loketseng ea motheo, khase ea ts'ebetso e kenngoa 'me kamore e kena pusong ea khatello ea ts'ebetso.
Khatello ea ho sebetsa e susumetsa ka ho toba tsela e tloaelehileng ea liathomo, li-ion le lielektrone tse tšolotsoeng. Ka hona e ama litšobotsi tsa plasma, sekhahla sa ho kenngoa ha lintho, ionization, ho hasana ha likaroloana, le kabo ea angular ea phallo ea ho kenngoa ha lintho.
Ka kgatello e tlase haholo, mefuta e nang le matheba e ka tsamaya ka phaposing ka ho thulana ho fokolang, e leng se fellang ka ho phalla ha ho beoa ha matheba ka tsela e batlang e le ka lehlakoreng le leng. Sena se ka ba molemo bakeng sa lits'ebetso tse itseng empa se ka eketsa litlamorao tsa moriti likarolong tse rarahaneng tsa mahlakore a mararo.
Ha kgatello e ntse e eketseha, ho thulana ha mefuta ya di-deposition le dimolek'hule tsa khase ho a ata. Motsamao wa deposition o hasana haholo, e leng se ka ntlafatsang ho kwahelwa hodima dibaka tse kwahetsweng empa hape se ka fokotsa bokgoni ba deposition le ho fetola sebopeho sa filimi.
Ka lebaka leo, kgatello ya mosebetsi ha ea lokela ho nkuwa e le boleng bo hlokang ho "behwa ka nepo." Ke phetoho ya tshebetso e susumetsang ka ho toba kinetics ya dipalangwang tsa mofuta wa ho bewa.
4. Phallo ea Khase le Khatello ha se Ntho e Tšoanang
Ts'ebetsong ea PVD e sebetsang, phallo ea khase hangata e laoloa ho sebelisoa molaoli oa phallo ea boima (MFC), ha khatello ea kamore e khethoa ke tekano lipakeng tsa ho kenella ha khase le bokhoni ba ho pompa.
Phapang ena e bohlokoa haholo.
Sekgahla se tshwanang sa phallo ya kgase ha se bolele hore se hlahisa kgatello e tshwanang ya tshebetso tlasa maemo a fapaneng a sistimi ya vacuum. Haeba lebelo la ho pompa, boemo ba throttle-valve, phetiso ya kamore, kapa tsela ya ka hare ya phallo ya kgase e fetoha, kgatello e hlahang le yona e ka fetoha.
Mohlala, haeba valve ea throttle kapa sistimi ea ho pompa e sebetsa ka mokhoa o sa tloaelehang, mosebelisi a ka eketsa phallo ea khase ho lefella ho kheloha ha khatello. Leha khatello e ka khutlela ka nakoana boleng ba sepheo, maemo a 'nete a phallo ea khase le plasma a kanna a se a fetohile.
Ka hona, baenjiniere ba ts'ebetso ba nang le boiphihlelo ka kakaretso ba lekola phallo ea khase le khatello ea kamore hammoho, ho fapana le ho sebelisa paramethara efe kapa efe ka boikemelo e le eona feela referense ea ts'ebetso.
5. Taolo ea Khase e Reactive e Bonolo Haholoanyane
Bakeng sa lits'ebetso tsa PVD tse arabelang tse kang TiN, CrN, TiAlN, Al₂O₃, SiO₂, le liphahlo tse ling tse kopantsoeng, taolo ea sepakapaka e ba thata haholo.
Khase e arabelang e nka karolo ka ho toba ho thehoeng ha filimi. Naetrojene, oksijene, acetylene, methane, kapa likhase tse ling tse arabelang li ka arabela le mofuta o mouoane kapa o qhalaneng ho fumana hore na filimi e tla ba efe ea ho qetela.
Ka hona, phetoho e nyane kgatellong e sa fellang ya kgase e arabelang e ka hlahisa phetoho e kgolo thepeng ya filimi.
Mohlala, phallo e sa lekaneng ea naetrojene e ka fella ka nitridation e sa fellang, athe naetrojene e feteletseng e ka ama sekhahla sa ho beoa ha lintho, litšobotsi tsa plasma, boitšoaro ba sepheo, le sebopeho sa filimi. Ho sputtering ea magnetron e arabelang, ho kenngoa ha khase e arabelang ho feteletseng ho ka boela ha lebisa chefong ea sepheo, moo lera la motsoako le thehoang holim'a sepheo 'me le fetola litšobotsi tsa ho sputtering.
Ke ka lebaka leo ho qhalana ha metsi ka mokhoa o arabelang hangata ho hlokang taolo e rarahaneng haholoanyane ea ts'ebetso ho feta ho kenngoa ha tšepe ka mokhoa o tloaelehileng.
6. Chefo e Bakiloeng ke Sepheo ke Bothata bo Tloaelehileng ba Taolo ea Sepakapaka
Ho sputtering ea magnetron e arabelang, chefo e reretsoeng ke e 'ngoe ea mathata a tloaelehileng a amanang le taolo ea sepakapaka.
Ha kgatello e itseng ya kgase e arabelang e eketseha ho feta sebaka se itseng, bokahodimo ba sepheo bo ka kwahelwa ke lera le kopaneng. Ebe sepheo se fetoha ho tloha boemong ba ho tsholoha ha tshepe ho ya boemong ba chefo.
Phetoho ena e ka baka diphetoho sekgahla sa ho qhalana ha metsi, motlakase wa ho qhalana ha metsi, motlakase wa ho qhalana ha metsi, ho qhalana ha motlakase ka dieleketerone tsa bobedi, sekgahla sa ho qhalana ha motlakase, le sebopeho sa filimi.
Bothata bo ba boima le ho feta hobane kamano pakeng tsa phallo ea khase e arabelang le boemo ba sepheo hangata ha e lekane. Phetoho e nyane phallong ea khase e ka hlahisa phetoho e kholo ka mokhoa o sa lekanang boemong ba ts'ebetso.
Bakeng sa tlhahiso e phahameng, ho itšetleha feela ka phallo e tsitsitseng ea khase e arabelang ho ka 'na ha se ke ha lekana. Mekhoa e tsoetseng pele haholo e ka sebelisa taolo e koetsoeng e thehiloeng holim'a mosi oa optical, litšobotsi tsa ho ntša metsi, tekanyo ea khatello e sa fellang, kapa matšoao a mang a ts'ebetso ho tsitsisa fensetere ea ho beha motlakase e arabelang.
7. Bohloeki ba Kamore bo Ama ka ho Toba Botsitso ba Sepakapaka
Taolo ea sepakapaka ha e itšetlehe feela ka sistimi ea phepelo ea khase. Boemo ba ka hare ba kamore ea ho koahela bo bohlokoa ka ho lekana.
Nakong ea lipotoloho tse pheta-phetoang tsa tlhahiso, thepa ea ho roala e bokellana butle-butle maboteng a likamore, lithebe, lisebelisoa tsa substrate le likarolo tse ling tsa ka hare. Li-deposit tsena e ka ba mehloli ea tšilafalo ea likaroloana kapa ho tsoa ha khase. Li-deposit tse ling li ka boela tsa arabela le likhase tse sebetsang kapa tsa lokolla likhase tse monyelitsoeng pele nakong ea ts'ebetso e latelang ea ho futhumatsa le plasma.
Sena se ka fetola butle-butle sepakapaka sa kamore ea sebele esita le ha risepe ea ts'ebetso e sa fetohe.
Ka lebaka lena, ho hlwekisa dikamore khafetsa, ho nkela thebe sebaka, tlhokomelo ya disebediswa le tlhahlobo ya vacuum-seal ke dikarolo tsa bohlokwa tsa taolo ya sepakapaka.
Ts'ebetso e tsitsitseng ea PVD ha se feela sephetho sa risepe e tsitsitseng. E itšetlehile ka ho boloka tikoloho e tsitsitseng ea 'mele ka hare ho kamore.
8. Kabo ea Khase e Bohlokoa Haholo Joaloka Bongata ba Khase
Bothata bo bong bo sebetsang ke hore khase eohle e kenang ka phapusing ha e tiise hore ho tla ba le sepakapaka se ts'oanang sa ts'ebetso.
Moralo le sebaka sa khase e kenang, hlooho ea shaoara, baffle, kou ea ho pompa, valve ea throttle, le sehokelo sa substrate li khetholla hore na khase e ajoa joang ka har'a kamore.
Kabo e fokolang ea khase e ka baka liphetoho tsa lehae tsa mahloriso a khase a arabelang kapa bongata ba plasma. Sephetho e ka ba metsoako e fapaneng ea filimi kapa botenya libakeng tse fapaneng holim'a substrate.
Sena se bohlokoa haholo bakeng sa litsamaiso tsa ho koahela tsa sebaka se seholo le lisebelisoa tsa tlhahiso tse nang le bokhoni bo phahameng ba ho jara.
Ka hona, ha ho ntlafatsoa mochini o koahelang ka vacuum, moralo oa phallo ea khase o lokela ho nahanoa hammoho le tlhophiso ea mohloli oa plasma, potoloho ea substrate, jeometri ea ho pompa, le sebopeho sa kamore.
9. Ha Sekoahelo se Fetoha ka Tšohanyetso, Hlahloba Sepakapaka Pele
Tlhahisong ea 'nete, mathata a ho roala hangata a hlaha e le liphetoho tsa tšohanyetso tsa 'mala, ho thatafala, ho khomarela, botenya ba filimi, kapa ts'ebetso ea motlakase.
Ha sena se etsahala, ho a lekeha ho fetola hang-hang matla a ho beha, leeme la substrate, kapa nako ea ho beha. Leha ho le joalo, liphetoho tse amanang le sepakapaka li lokela ho hlahlojoa pele.
Tatellano e sebetsang ea ho rarolla mathata ke ho bapisa lintlha tsa tlhahiso ea hona joale le boemo bo tloaelehileng ba ts'ebetso: khatello ea motheo, nako ea ho pompa, khatello ea ho sebetsa, phallo ea ts'ebetso-khase, phallo ea khase e arabelang, boemo ba throttle-valve, motlakase/motlakase oa ho ntša, mocheso oa substrate, le sekhahla sa ho beha.
Haeba e 'ngoe ea liparamente tsena e fetohile, e ka fana ka tlhaloso e tobileng ho feta feela ho fetola risepe ea ho roala.
Haholo-holo, haeba boemo ba phallo ea khase bo sa fetoha empa khatello ea kamore e fetohile, bothata bo ka ba tsamaisong ea ho pompa, valve ea taolo ea khatello, phepelo ea khase, tsamaiso ea kamore, kapa boemo ba ho lutla, ho e-na le ho thepa ea ho roala ka boeona.
10. Taolo ea Sepakapaka Qetellong ke Bothata ba Taolo ea Sistimi
Phihlelo e sebetsang e bokelletsoeng ho tsoa ho pente ea vacuum ea indasteri e bontša hore taolo ea sepakapaka e ke ke ea aroloa le sistimi ea vacuum ka kakaretso.
Lipompo tsa vacuum li khetholla bokhoni ba ho pompa ba kamore. Sistimi ea ho tsamaisa khase e khetholla ho kenngoa ha khase. Valve ea throttle e laola kamano pakeng tsa phallo ea khase le khatello ea kamore. Mohloli oa plasma o khetholla hore na khase e etsoa ion joang 'me o sebelisana le mofuta oa deposition. Sistimi ea substrate e khetholla hore na mosebetsi o sebelisana joang le plasma.
Litsamaiso tsena li sebetsa ka nako e le 'ngoe, 'me phetoho ho paramethara e le 'ngoe e ka susumetsa tse ling tse 'maloa.
Ka hona, ts'ebetso ea PVD e hōlileng tsebong e lokela ho theha fensetere ea ts'ebetso e tsitsitseng ho fapana le ho itšetleha ka paramethara e le 'ngoe e tsitsitseng. Sepheo ke ho netefatsa hore khatello ea vacuum, phallo ea khase, litšobotsi tsa plasma, maemo a substrate, le liparamethara tsa deposition li lula li le ka har'a sebaka se laoloang nakong eohle ea tlhahiso.
Qetello
Taolo ea sepakapaka ke e 'ngoe ea likarolo tsa motheo tsa sekoahelo se tsitsitseng sa vacuum. Ho tloha khatellong ea motheo le taolo ea khase e setseng ho ea khatellong ea mosebetsi, phallo ea khase, khatello e sa fellang ea khase e arabelang, chefo e reretsoeng, le bohloeki ba kamore, ntlha ka 'ngoe e ka susumetsa sekoahelo sa ho qetela.
Bakeng sa ho beoa ha PVD ka mokhoa o tloaelehileng, maemo a tsitsitseng a sepakapaka a fana ka motheo bakeng sa kholo ea filimi e ka phetoang. Bakeng sa ho phatloha ha mahlaseli a arabelang le lits'ebetso tse ling tse thusoang ke plasma, taolo e nepahetseng ea sepakapaka e ba ea bohlokoa le ho feta hobane motsoako oa khase o nka karolo ka kotloloho ho thehoeng ha filimi.
Ka hona, sepheo sa 'nete sa taolo ea sepakapaka ha se feela ho boloka khatello e itseng kapa boleng ba phallo ea khase. Ke ho theha tikoloho e tsitsitseng le e ka ikatisang ea ho bokellana moo plasma, mefuta ea ho bokellana, substrate, le sepakapaka se arabelang li lulang li le boemong bo laoloang.
Bakeng sa disebediswa tsa ho kwahela ka vacuum tsa indasteri, sena se hloka moralo o hokahaneng wa sistimi ya ho pompa ka vacuum, sistimi ya ho tsamaisa khase, sistimi ya taolo ya kgatello, mohlodi wa plasma, sebopeho sa kamore, le software ya taolo ya tshebetso.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Phato-08-2026