MÔ TẢ SẢN PHẨM

Ưu điểm của thiết bị

1. Cấu hình chức năng có khả năng mở rộng

Với thiết kế kiến ​​trúc dạng mô-đun, hệ thống hỗ trợ các chế độ sản xuất hàng loạt nhanh chóng, cho phép bổ sung, loại bỏ và sắp xếp lại các buồng chức năng một cách nhanh chóng. Bố cục của dây chuyền sản xuất có thể được điều chỉnh linh hoạt theo nhu cầu sản xuất.

2. Giải pháp công nghệ phủ chính xác

Ứng dụng sáng tạo công nghệ lắng đọng phún xạ mục tiêu xoay góc nhỏ kết hợp với giải pháp từ trường tối ưu để đạt được hiệu quả lấp đầy các cấu trúc xuyên lỗ.

3. Áp dụng cấu trúc mục tiêu xoay vòng

Cấu trúc này giúp giảm thiểu hao phí vật liệu phủ và cải thiện hiệu quả sử dụng vật liệu mục tiêu. Đồng thời, nó cũng rút ngắn chu kỳ thay thế vật liệu mục tiêu, từ đó nâng cao hiệu quả sản xuất.

4. Ưu điểm của kiểm soát quy trình

Thông qua việc tối ưu hóa các thông số phun từ tính và công nghệ lắng đọng đồng bộ hai mặt, hiệu quả phủ lớp của các cấu kiện có cấu trúc phức tạp được cải thiện đáng kể, đồng thời tỷ lệ hao phí vật liệu được giảm thiểu.

Ứng dụng:Có khả năng chế tạo nhiều lớp màng kim loại đơn nguyên tố khác nhau như Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, v.v. Nó được sử dụng rộng rãi trong các linh kiện điện tử bán dẫn, chẳng hạn như chất nền gốm DPC, tụ điện gốm, điện trở nhiệt, giá đỡ gốm LED, v.v.