Thiết bị này sử dụng cấu trúc thiết kế dạng mô-đun thẳng đứng và được trang bị nhiều cửa ra vào để thuận tiện cho việc lắp đặt và bảo trì độc lập khoang, lắp ráp và nâng cấp trong tương lai. Được trang bị hệ thống băng tải giá đỡ vật liệu tinh khiết khép kín hoàn toàn để tránh ô nhiễm phôi. Phôi có thể được phủ một hoặc cả hai mặt, chủ yếu dùng để phủ màng màu quang học hoặc màng kim loại.
Buồng phủ của thiết bị duy trì trạng thái chân không cao trong thời gian dài, với lượng khí tạp chất thấp, độ tinh khiết cao của lớp phủ và chỉ số khúc xạ tốt. Hệ thống điều khiển vòng kín hoàn toàn tự động Speedflo được cấu hình để cải thiện tốc độ lắng đọng màng. Các thông số quy trình có thể được theo dõi và quá trình sản xuất có thể được giám sát trong toàn bộ quá trình để dễ dàng theo dõi các lỗi sản xuất. Thiết bị có mức độ tự động hóa cao. Nó có thể được sử dụng cùng với cánh tay robot để kết nối các quy trình phía trước và phía sau, giảm chi phí nhân công.
Dây chuyền sản xuất lớp phủ có thể được sử dụng để phủ Nb.2O5, SiO2, TiO2Nó có thể được phủ lên các oxit như Cu, Cr, Ti, SUS, Ag và các oxit khác, cũng như các vật liệu kim loại đơn giản. Chủ yếu được sử dụng trong quy trình tạo màng màu quang học bằng cách chồng ghép kim loại và vật liệu quang học. Nó phù hợp với các sản phẩm phẳng làm từ thủy tinh, PC, v.v.THÚ CƯNGvà các vật liệu khác. Nó được sử dụng rộng rãi trong màng PET/tấm composite, tấm kính phủ, màn hình hiển thị và các sản phẩm khác.