Kelebihan Peralatan
1. Konfigurasi Fungsian Boleh Skala
Dengan menggunakan reka bentuk seni bina modular, ia menyokong mod pengeluaran pesat secara besar-besaran, membolehkan penambahan, penyingkiran dan penyusunan semula ruang berfungsi dengan cepat. Susun atur barisan pengeluaran boleh dilaraskan secara fleksibel mengikut keperluan pengeluaran.
2. Penyelesaian Teknologi Salutan Ketepatan
Menggunakan teknologi percikan sasaran berputar sudut kecil yang digabungkan dengan penyelesaian medan magnet yang dioptimumkan secara inovatif untuk mencapai pengisian struktur melalui lubang yang cekap.
3. Penerapan Struktur Sasaran Berputar
Struktur ini menjimatkan kehilangan bahan salutan dan meningkatkan penggunaan bahan sasaran. Ia juga mengurangkan kitaran penggantian sasaran, sekali gus meningkatkan kecekapan pengeluaran.
4. Kelebihan Kawalan Proses
Melalui pengoptimuman parameter percikan magnetron dan teknologi pemendapan segerak dua sisi, kecekapan salutan komponen struktur kompleks bertambah baik dengan ketara, sementara kadar kehilangan bahan berkurangan.
Permohonan:Mampu menyediakan pelbagai lapisan filem logam unsur tunggal seperti Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, dan sebagainya. Ia digunakan secara meluas dalam komponen elektronik semikonduktor, seperti substrat seramik DPC, kapasitor seramik, termistor, pendakap seramik LED, dan sebagainya.