MÔ TẢ SẢN PHẨM

Ưu điểm của thiết bị

1. Cấu hình chức năng có thể mở rộng

Sử dụng thiết kế kiến ​​trúc mô-đun, nó hỗ trợ các chế độ sản xuất hàng loạt nhanh chóng, cho phép thêm, loại bỏ và sắp xếp lại các buồng chức năng một cách nhanh chóng. Bố cục của dây chuyền sản xuất có thể được điều chỉnh linh hoạt theo nhu cầu sản xuất.

2. Giải pháp công nghệ phủ chính xác

Sử dụng công nghệ phun mục tiêu quay góc nhỏ một cách sáng tạo kết hợp với giải pháp từ trường được tối ưu hóa để đạt được hiệu quả lấp đầy các cấu trúc lỗ xuyên qua.

3. Áp dụng cấu trúc mục tiêu xoay vòng

Cấu trúc này tiết kiệm vật liệu phủ bị mất và cải thiện việc sử dụng vật liệu mục tiêu. Nó cũng làm giảm chu kỳ thay thế mục tiêu, do đó nâng cao hiệu quả sản xuất.

4. Ưu điểm của Kiểm soát quy trình

Thông qua việc tối ưu hóa các thông số phun magnetron và công nghệ lắng đọng đồng bộ hai mặt, hiệu quả phủ của các thành phần cấu trúc phức tạp được cải thiện đáng kể, đồng thời giảm tỷ lệ tổn thất vật liệu.

Ứng dụng:Có khả năng chế tạo nhiều lớp màng kim loại đơn nguyên tố như Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, v.v. Được sử dụng rộng rãi trong các linh kiện điện tử bán dẫn, chẳng hạn như đế gốm DPC, tụ gốm, nhiệt điện trở, giá đỡ gốm LED, v.v.