(4) Максат материалы. Максат материалы, гомумән алганда, каплауны сиптерү өчен төп фактор булып тора, максат материалы таләпләргә туры килгән очракта һәм пленка катламын алу өчен процесс параметрларын катгый контрольдә тоту таләп ителергә мөмкин. Максат материалындагы катнашмалар һәм өслек оксидлары һәм башка пычрак матдәләр...