Оптик юка пленка җайланмалары җитештерү вакуум камерасында башкарыла, һәм пленка катламының үсеше микроскопик процесс булып тора. Ләкин, хәзерге вакытта турыдан-туры контрольдә тотыла торган макроскопик процесслар - пленка катламының сыйфаты белән турыдан-туры булмаган бәйләнешкә ия булган кайбер макроскопик факторлар. Шулай да, озак вакытлы даими эксперименталь тикшеренүләр аша кешеләр пленка сыйфаты һәм бу макро факторлар арасындагы даими бәйләнешне таптылар, бу пленка сәяхәт җайланмаларын җитештерүдә юнәлеш бирүче процесс спецификациясенә әйләнде һәм югары сыйфатлы оптик юка пленка җайланмаларын җитештерүдә мөһим роль уйный.
1. Вакуум каплауның йогынтысы
Вакуум дәрәҗәсенең пленка үзлекләренә йогынтысы энергия югалту һәм калдык газ һәм пленка атомнары һәм молекулалары арасындагы газ фазасы бәрелешүе нәтиҗәсендә барлыкка килгән химик реакция белән бәйле. Әгәр вакуум дәрәҗәсе түбән булса, пленка материалының пар молекулалары белән калган газ молекулалары арасында кушылу ихтималы арта, һәм пар молекулаларының кинетик энергиясе шактый кими, бу пар молекулаларының субстратка барып җитә алмавына, яки субстраттагы газ адсорбция катламын җимерә алмавына, яки газ адсорбция катламын җимерә алмавына китерә, ләкин субстрат белән адсорбция энергиясе бик аз. Нәтиҗәдә, оптик юка пленка җайланмалары белән урнаштырылган пленка йомшак, туплану тыгызлыгы түбән, механик ныклык начар, химик состав чиста түгел, һәм пленка катламының сыну күрсәткече һәм катылыгы начар.
Гомумән алганда, вакуум арту белән пленканың структурасы яхшыра, химик состав чиста була, ләкин көчәнеш арта. Металл пленка һәм ярымүткәргеч пленканың чисталыгы югарырак булган саен, алар вакуум дәрәҗәсенә бәйле, бу туры бушлыкның югарырак булуын таләп итә. Вакуум дәрәҗәсенә тәэсир итүче пленкаларның төп үзлекләре - сыну күрсәткече, сибелү, механик ныклык һәм эремәүчәнлек.
2. Чыгу тизлегенең йогынтысы
Чүпләү тизлеге - пленканың чүпләү тизлеген сурәтләүче процесс параметры, ул вакыт берәмлегендә каплау өслегендә барлыкка килгән пленка калынлыгы белән күрсәтелә, һәм берәмлек nm·s-1.
Чүпләү тизлеге пленканың сыну күрсәткеченә, катылыгына, механик ныклыгына, адгезиясенә һәм көчәнешенә ачык йогынты ясый. Чүпләү тизлеге түбән булса, пар молекулаларының күбесе субстраттан кире кайта, кристалл төшләренең формалашуы әкрен бара, һәм конденсация зур агрегатларда гына башкарыла ала, шуның белән пленка структурасы йомшак була. Чүпләү тизлеге арткан саен, вак һәм тыгыз пленка барлыкка киләчәк, яктылык таралуы кими, ә катылыгы арта. Шуңа күрә, пленка чүпләү тизлеген ничек дөрес сайларга - парландыру процессында мөһим мәсьәлә, һәм конкрет сайлау пленка материалына карап билгеләнергә тиеш.
Чүп чыгару тизлеген яхшыртуның ике ысулы бар: (1) парга әйләнү чыганагы температурасын арттыру ысулы (2) парга әйләнү чыганагы мәйданын арттыру ысулы.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 29 марты