Каты материалларны югары вакуум мохитендә җылыту, сублимацияләү яки парга әйләндерү һәм аларны билгеле бер нигезгә урнаштыру процессы вакуум парга әйләндерү каплавы (парга әйләндерү каплавы дип атала) дип атала.
Вакуум парландыру процессы ярдәмендә юка пленкалар әзерләү тарихы 1850 нче елларга барып тоташа. 1857 елда М. Фаррар металл чыбыкларны азотта парландырып, юка пленкалар барлыкка китерү юлы белән вакуум каплау омтылышын башлый. Ул вакытта вакуум технологиясе түбән булу сәбәпле, юка пленкаларны бу ысул белән әзерләү бик күп вакытны ала һәм практик булмаган. 1930 елга кадәр май диффузия насосы механик насос тоташтыргыч насос системасы булдырылды, вакуум технологиясе тиз үсеш ала ала, ләкин парландыру һәм сиптерү каплавы практик технологиягә әйләнә.
Вакуум парландыру борынгы юка пленка урнаштыру технологиясе булса да, ул лаборатория һәм сәнәгать зоналарында иң киң таралган ысул. Аның төп өстенлекләре - гади эшләү, урнаштыру параметрларын җиңел контрольдә тоту һәм килеп чыккан пленкаларның югары сафлыгы. Вакуум каплау процессын түбәндәге өч адымга бүләргә мөмкин.
1) чыганак материалы парга әйләнү яки сублимацияләү өчен җылытыла һәм эретелә; 2) пар чыганак материалыннан парга әйләнү яки сублимацияләү өчен алына.
2) Пар чыганак материалыннан субстратка күчерелә.
3) Пар субстрат өслегендә конденсацияләнеп, каты пленка барлыкка китерә.
Вакуумда юка пленкаларның парга әйләнүе, гадәттә, поликристалл пленка яки аморф пленка була, пленканың утрауга үсүе өстенлек итә, нуклеация һәм пленка ике процесс аша үтә. Парга әйләнгән атомнар (яки молекулалар) субстрат белән бәрелешәләр, субстратка даими бәйләнешнең бер өлеше, адсорбциянең бер өлеше һәм аннары субстраттан парга әйләнү, ә турыдан-туры чагылышның бер өлеше субстрат өслегеннән кире кайта. Атомнарның (яки молекулаларның) субстрат өслегенә ябышуы җылылык хәрәкәте аркасында өслек буйлап хәрәкәт итә ала, мәсәлән, башка атомнарга тию кластерларга җыела. Кластерлар, нигез өслегенә көчәнеш югары булган урыннарда яки кристалл субстратның сольвация баскычларында барлыкка килә, чөнки бу адсорбцияләнгән атомнарның ирекле энергиясен минимальләштерә. Бу нуклеация процессы. Атомнарның (молекулаларның) алга таба утыруы югарыда телгә алынган утрау формасындагы кластерларның (төшләрнең) киңәюенә китерә, алар өзлексез пленкага сузылганчы. Шуңа күрә вакуумда парга әйләнгән поликристалл пленкаларның структурасы һәм үзлекләре парга әйләнү тизлеге һәм субстрат температурасы белән тыгыз бәйләнгән. Гомумән алганда, субстрат температурасы түбәнрәк булган саен, парга әйләнү тизлеге югарырак, пленка бөртекләре вакрак һәм тыгызрак була.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 23 марты