Näme üçin sorujy ulanmaly?
Hapalanmagyň öňüni almak: Wakuumda howanyň we beýleki gazlaryň ýoklugy çökündi materialynyň atmosfera gazlary bilen reaksiýa girmegine päsgel berýär, bu bolsa plýonkany hapalap biler.
Ýeňilleşdirilen ýelmeşme: Howanyň ýetmezçiligi, plýonkanyň substrata gönüden-göni ýelmeşmegini aňladýar, sebäbi ol howa jübüleri ýa-da baglanyşygy gowşadyp biljek beýleki aralyk gazlar bolmaz.
Plenkanyň hili: Wakuum şertleri çökdürme prosesine has gowy gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär, netijede has birmeňzeş we ýokary hilli plyonkalar emele gelýär.
Pes Temperaturada Çökme: Käbir materiallar atmosfera gazlaryna sezewar edilse, çökme üçin zerur bolan temperaturada parçalar ýa-da reaksiýa girer. Wakuumda bu materiallar has pes temperaturada çöküp bilner.
Wakuum örtük prosesleriniň görnüşleri
Fiziki bug çökündisi (PVD)
Termal buharlanma: Material buharlanýança we soňra substratda kondensasiýa bolýança wakuumda gyzdyrylýar.
Püskürtme: Ýokary energiýaly ion şöhlesi nyşana materialy bombalaýar, bu bolsa atomlaryň zyňylyp, substrata ýerleşdirilmegine sebäp bolýar.
Impulsly lazer çökündisi (PLD): Ýokary kuwwatly lazer şöhlesi nyşanadan materiallary buglandyrmak üçin ulanylýar, soňra ol substratda kondensasiýa bolýar.
Himiki bug çökündisi (HBÇ)
Pes basyşly CVD (LPCVD): Pes basyşda pes temperaturada ýerine ýetirilýär we plýonkanyň hilini ýokarlandyrýar.
Plazma bilen güýçlendirilen ýürek-damar kesellikleri (PECVD): Adaty ýürek-damar kesellikleri bilen deňeşdirilende pes temperaturada himiki reaksiýalary işjeňleşdirmek üçin plazmany ulanýar.
Atom Gatlagynyň Çökmegi (ALD)
ALD, plyonkalaryň galyňlygyna we düzümine ajaýyp gözegçilik edýän, bir wagtyň özünde bir atom gatlagyny ýerleşdirýän CVD-niň bir görnüşidir.
Wakuum örtükde ulanylýan enjamlar
Wakuum kamerasy: Örtük prosesiniň geçirilýän esasy bölegi.
Wakuum nasoslary: Wakuum gurşawyny döretmek we saklamak üçin.
Substrat saklaýjy: Örtük prosesinde substraty ýerinde saklamak üçin.
Bugaryş ýa-da püskürme çeşmeleri: Ulanylýan PVD usulyna baglylykda.
Elektrik üpjünçiligi: Bugaryş çeşmelerine energiýa bermek ýa-da PECVD-de plazma döretmek üçin.
Temperatura gözegçilik ulgamlary: Substratlary gyzdyrmak ýa-da prosesiň temperaturasyny dolandyrmak üçin.
Gözegçilik ulgamlary: Çökdürilen plýonkanyň galyňlygyny, deňligini we beýleki häsiýetlerini ölçemek üçin.
Wakuum örtüginiň ulanylyş ugurlary
Optiki örtükler: Linzalarda, aýnalarda we beýleki optiki böleklerde şöhle gaýtarmaýan, şöhle gaýtarýan ýa-da süzgüç örtükleri üçin.
Bezeg örtükleri: şaý-sepler, sagatlar we awtoulag bölekleri ýaly dürli önümler üçin.
Gaty örtükler: Kesiji gurallaryň, hereketlendirijiniň bölekleriniň we lukmançylyk enjamlarynyň aşynma çydamlylygyny we berkligini ýokarlandyrmak üçin.
Barýer örtükleri: Metall, plastmassa ýa-da aýna substratlarynda poslamanyň ýa-da siňmegiň öňüni almak üçin.
Elektron örtükler: Integral mikrosxemalaryň, gün batareýalarynyň we beýleki elektron enjamlaryň öndürilmegi üçin.
Wakuum örtüginiň artykmaçlyklary
Takyklyk: Wakuum örtügi plýonkanyň galyňlygyny we düzümini takyk gözegçilikde saklamaga mümkinçilik berýär.
Birmeňzeşlik: Plýonkalar çylşyrymly şekillere we uly meýdanlara deň derejede ýerleşdirilip bilner.
Netijeliligi: Bu proses ýokary derejede awtomatlaşdyrylyp bilner we ýokary möçberdäki önümçilik üçin amatlydyr.
Daşky gurşawa laýyklygy: Wakuum örtügi, adatça, beýleki örtük usullaryna garanyňda az himiki maddalary ulanýar we az galyndy öndürýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 15-nji awgusty