Isang Panimula sa Vacuum Coating

Bakit Gumamit ng Vacuum?
Pag-iwas sa Kontaminasyon: Sa isang vacuum, ang kawalan ng hangin at iba pang mga gas ay pumipigil sa materyal na deposisyon na tumugon sa mga gas sa atmospera, na maaaring makahawa sa pelikula.
Pinahusay na Pagdikit: Ang kakulangan ng hangin ay nangangahulugan na ang pelikula ay direktang dumidikit sa substrate nang walang mga bulsa ng hangin o iba pang mga interstitial gas na maaaring magpahina sa pagkakadikit.
Kalidad ng Pelikula: Ang mga kondisyon ng vacuum ay nagbibigay-daan para sa mas mahusay na kontrol sa proseso ng deposition, na nagreresulta sa mas pare-pareho at mas mataas na kalidad ng mga pelikula.
Deposisyong Mababa ang Temperatura: Ang ilang materyales ay mabubulok o magre-react sa mga temperaturang kinakailangan para sa deposisyon kung ang mga ito ay nalalantad sa mga gas sa atmospera. Sa isang vacuum, ang mga materyales na ito ay maaaring ideposito sa mas mababang temperatura.
Mga Uri ng Proseso ng Vacuum Coating
Pisikal na Deposisyon ng Singaw (PVD)
Pagsingaw na Pang-init: Ang materyal ay pinainit sa isang vacuum hanggang sa ito ay sumingaw at pagkatapos ay namumuo sa substrate.
Pagbuga ng lagaslas: Isang high-energy ion beam ang bumubomba sa isang target na materyal, na nagiging sanhi ng pagtalsik at pagdeposito ng mga atomo sa substrate.
Pulsed Laser Deposition (PLD): Isang high-power laser beam ang ginagamit upang gawing singaw ang materyal mula sa isang target, na pagkatapos ay namumuo sa substrate.
Kemikal na Pagdeposito ng Singaw (CVD)
Mababang Presyon ng CVD (Low Pressure CVD o LPCVD): Isinasagawa sa pinababang presyon upang mapababa ang temperatura at mapabuti ang kalidad ng pelikula.
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Gumagamit ng plasma upang i-activate ang mga reaksiyong kemikal sa mas mababang temperatura kaysa sa tradisyonal na CVD.
Deposisyon ng Patong ng Atomika (ALD)
Ang ALD ay isang uri ng CVD na nagdedeposito ng mga pelikula nang paisa-isang atomic layer, na nagbibigay ng mahusay na kontrol sa kapal at komposisyon ng pelikula.

Kagamitang Ginamit sa Vacuum Coating
Vacuum Chamber: Ang pangunahing bahagi kung saan nagaganap ang proseso ng patong.
Mga Vacuum Bomba: Upang lumikha at mapanatili ang kapaligirang vacuum.
Hawakan ng Substrate: Upang hawakan ang substrate sa lugar habang nagpoproseso ng patong.
Mga Pinagmumulan ng Pagsingaw o Pagbulalas: Depende sa pamamaraang PVD na ginamit.
Mga Suplay ng Kuryente: Para sa paglalapat ng enerhiya sa mga pinagmumulan ng ebaporasyon o para sa pagbuo ng plasma sa PECVD.
Mga Sistema ng Pagkontrol sa Temperatura: Para sa pagpapainit ng mga substrate o pagkontrol sa temperatura ng proseso.
Mga Sistema ng Pagsubaybay: Upang sukatin ang kapal, pagkakapareho, at iba pang mga katangian ng idinepositong pelikula.
Mga Aplikasyon ng Vacuum Coating
Mga Optical Coating: Para sa mga anti-reflective, reflective, o filter coating sa mga lente, salamin, at iba pang optical component.
Mga Pandekorasyon na Patong: Para sa malawak na hanay ng mga produkto, kabilang ang alahas, relo, at mga piyesa ng sasakyan.
Matigas na Patong: Upang mapabuti ang resistensya sa pagkasira at tibay sa mga kagamitang pangputol, mga bahagi ng makina, at mga aparatong medikal.
Mga Barrier Coating: Upang maiwasan ang kalawang o pagtagos sa mga substrate na metal, plastik, o salamin.
Mga Elektronikong Patong: Para sa produksyon ng mga integrated circuit, solar cell, at iba pang mga elektronikong aparato.
Mga Bentahe ng Vacuum Coating
Katumpakan: Ang vacuum coating ay nagbibigay-daan para sa tumpak na kontrol sa kapal at komposisyon ng pelikula.
Pagkakapareho: Ang mga pelikula ay maaaring ideposito nang pantay-pantay sa mga kumplikadong hugis at malalaking lugar.
Kahusayan: Ang proseso ay maaaring maging lubos na awtomatiko at angkop para sa mataas na dami ng produksyon.
Pagiging Mabuti sa Kapaligiran: Ang vacuum coating ay karaniwang gumagamit ng mas kaunting kemikal at nagbubunga ng mas kaunting basura kumpara sa ibang mga pamamaraan ng coating.

–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua