Неліктен шаңсорғышты пайдалану керек?
Ластанудың алдын алу: Вакуумда ауа мен басқа газдардың болмауы тұндырғыш материалдың атмосфералық газдармен әрекеттесуіне жол бермейді, бұл қабықшаны ластауы мүмкін.
Жақсартылған адгезия: Ауаның жетіспеушілігі пленканың ауа қалталары немесе байланысты әлсіретуі мүмкін басқа аралық газдарсыз тікелей негізге жабысатынын білдіреді.
Пленка сапасы: Вакуумдық жағдайлар тұндыру процесін жақсы бақылауға мүмкіндік береді, нәтижесінде біркелкі және жоғары сапалы пленкалар пайда болады.
Төмен температурада тұндыру: Кейбір материалдар атмосфералық газдарға ұшыраған жағдайда тұндыру үшін қажетті температурада ыдырайды немесе реакцияға түседі. Вакуумда бұл материалдарды төмен температурада тұндыру мүмкін.
Вакуумдық жабындау процестерінің түрлері
Физикалық бу тұндыру (PVD)
Термиялық булану: Материал вакуумда буланғанша қыздырылады, содан кейін субстратта конденсацияланады.
Шашырату: Жоғары энергиялы иондық сәуле нысана материалын бомбалайды, нәтижесінде атомдар лақтырылып, субстратқа тұндырылады.
Импульсті лазерлік тұндыру (PLD): Жоғары қуатты лазер сәулесі нысанадан материалды буландыру үшін қолданылады, содан кейін ол субстратта конденсацияланады.
Химиялық бу тұндыру (ХБТ)
Төмен қысымды CVD (LPCVD): Төмен қысыммен, төмен температурада орындалады және пленка сапасын жақсартады.
Плазмамен күшейтілген жүрек-қан тамырлары аурулары (PECVD): Дәстүрлі жүрек-қан тамырлары ауруларына қарағанда төмен температурада химиялық реакцияларды белсендіру үшін плазманы пайдаланады.
Атом қабатының тұндырылуы (АҚТ)
ALD - бұл бір уақытта бір атомдық қабатты пленкаларға түсіретін, пленка қалыңдығы мен құрамын тамаша бақылауды қамтамасыз ететін CVD түрі.
Вакуумдық жабындарда қолданылатын жабдық
Вакуумдық камера: Қаптау процесі жүретін негізгі компонент.
Вакуумдық сорғылар: вакуумдық ортаны жасау және қолдау үшін.
Негіз ұстағышы: Қаптау процесі кезінде негізді орнында ұстап тұру үшін.
Булану немесе шашыраңқылық көздері: қолданылатын PVD әдісіне байланысты.
Қуат көздері: булану көздеріне энергия беру немесе PECVD-де плазма генерациялау үшін.
Температураны бақылау жүйелері: субстраттарды қыздыру немесе процесс температурасын басқару үшін.
Бақылау жүйелері: тұндырылған қабықшаның қалыңдығын, біркелкілігін және басқа да қасиеттерін өлшеу үшін.
Вакуумдық жабынның қолданылуы
Оптикалық жабындар: Линзаларға, айналарға және басқа оптикалық компоненттерге шағылыстыруға қарсы, шағылыстыратын немесе сүзгі жабындарына арналған.
Сәндік жабындар: зергерлік бұйымдар, сағаттар және автомобиль бөлшектерін қоса алғанда, өнімдердің кең ауқымы үшін.
Қатты жабындар: кескіш құралдардың, қозғалтқыш бөлшектерінің және медициналық құрылғылардың тозуға төзімділігін және беріктігін арттыру үшін.
Тосқауыл жабындары: Металл, пластик немесе шыны негіздердегі коррозияны немесе енуді болдырмау үшін.
Электрондық жабындар: интегралдық схемаларды, күн батареяларын және басқа да электрондық құрылғыларды өндіруге арналған.
Вакуумдық жабынның артықшылықтары
Дәлдік: Вакуумдық жабын пленканың қалыңдығы мен құрамын дәл бақылауға мүмкіндік береді.
Біркелкілік: Қабықшаларды күрделі пішіндер мен үлкен аумақтарға біркелкі жағуға болады.
Тиімділігі: Процесс жоғары деңгейде автоматтандырылған болуы мүмкін және көп көлемді өндіріске жарамды.
Қоршаған ортаға зиянсыздығы: Вакуумдық жабын әдетте басқа жабын әдістеріне қарағанда аз химиялық заттарды пайдаланады және аз қалдық шығарады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 15 тамыз