He Hoʻolauna i ka Uhi Vacuum

No ke aha e hoʻohana ai i ka Vacuum?
Ke Kāohi ʻana i ka Haumia: I loko o kahi hakahaka, ʻo ka nele o ka ea a me nā kinoea ʻē aʻe e pale ai i ka mea waiho ʻana mai ka pane ʻana me nā kinoea lewa, hiki ke hoʻohaumia i ka ʻili.
Hoʻomaikaʻi ʻia ka hoʻopili ʻana: ʻO ka nele o ka ea, ʻo ia hoʻi ke pili pololei nei ke kiʻiʻoniʻoni i ka substrate me ka ʻole o nā ʻeke ea a i ʻole nā ​​​​kinoea interstitial ʻē aʻe e hiki ke hoʻonāwaliwali i ka pilina.
ʻAno Kiʻiʻoniʻoni: ʻAe nā kūlana hakahaka i ka kaohi maikaʻi ʻana i ke kaʻina hana waiho ʻana, e hopena ana i nā kiʻiʻoniʻoni like a ʻoi aku ka maikaʻi.
Hoʻokahe ʻana i ka Mahana Haʻahaʻa: E palaho a pane paha kekahi mau mea i nā mahana e pono ai no ka hoʻokahe ʻana inā e hōʻike ʻia lākou i nā kinoea lewa. I loko o kahi hakahaka, hiki ke waiho ʻia kēia mau mea i nā mahana haʻahaʻa.
Nā ʻAno o nā Kaʻina Hana Uhi Vacuum
Ka Waiho ʻana o ka Mahu Kino (PVD)
Ka Hoʻoheheʻe ʻana o ka Wera: Hoʻomehana ʻia ka mea i loko o kahi mīkini hoʻoheheʻe a hiki i ka wā e hoʻoheheʻe ai a laila hoʻopili ʻia ma luna o ka substrate.
Ke kuʻi ʻana: Hoʻopā kahi kukuna ion ikehu kiʻekiʻe i kahi mea i manaʻo ʻia, e hoʻokuʻu ʻia ai nā ʻātoma a waiho ʻia ma luna o ka substrate.
Hoʻokaʻawale ʻia ʻana o ka Pulsed Laser (PLD): Hoʻohana ʻia kahi kukuna laser mana kiʻekiʻe e hoʻomāhu i ka mea mai kahi pahuhopu, a laila e hoʻopili ʻia ma luna o ka substrate.
Ka Waiho ʻana o ka Mahu Kemika (CVD)
CVD Kaomi Haʻahaʻa (LPCVD): Hana ʻia ma ke kaomi i hoʻemi ʻia i nā mahana haʻahaʻa a hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.
ʻO ka Plasma-Enhanced CVD (PECVD): Hoʻohana i ka plasma e hoʻāla i nā hopena kemika ma nā mahana haʻahaʻa ma mua o ka CVD kuʻuna.
Ka Waiho ʻana o ka Papa ʻAtomika (ALD)
ʻO ALD kahi ʻano CVD e waiho ana i nā kiʻiʻoniʻoni i hoʻokahi papa atomika i ka manawa, e hāʻawi ana i ka mana maikaʻi loa ma luna o ka mānoanoa a me ka haku mele ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni.

Nā Lako i hoʻohana ʻia i ka Uhi Vacuum
Keʻena Vacuum: ʻO ka ʻāpana nui kahi e hana ʻia ai ke kaʻina hana uhi.
Nā Pamu Vacuum: No ka hana ʻana a me ka mālama ʻana i kahi kaiapuni vacuum.
Mea Paʻa o ka Substrate: E hoʻopaʻa i ka substrate i kona wahi i ka wā o ke kaʻina hana uhi.
Nā Kumu Hoʻomake a i ʻole nā ​​Kumu Kūpē: Ma muli o ke ʻano PVD i hoʻohana ʻia.
Nā Lako Mana: No ka hoʻopili ʻana i ka ikehu i nā kumu mahu a i ʻole no ka hana ʻana i kahi plasma ma PECVD.
Nā ʻōnaehana hoʻokele mahana: No ka hoʻomehana ʻana i nā substrates a i ʻole ke kaohi ʻana i ka mahana o ke kaʻina hana.
Nā ʻŌnaehana Nānā: No ke ana ʻana i ka mānoanoa, ke kūlike, a me nā waiwai ʻē aʻe o ke kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.
Nā noi o ka uhi ʻana o ka Vacuum
Nā Uhi ʻŌnaehana: No nā uhi anti-reflective, reflective, a i ʻole nā ​​​​uhi kānana ma nā aniani, nā aniani, a me nā ʻāpana optical ʻē aʻe.
Nā Uhi Hoʻonaninani: No nā ʻano huahana like ʻole, me nā mea hoʻonani, nā wati, a me nā ʻāpana kaʻa.
Nā Uhi Paʻakikī: No ka hoʻomaikaʻi ʻana i ke kūpaʻa a me ke kūpaʻa ma nā mea ʻoki, nā ʻāpana ʻenekini, a me nā mea lapaʻau.
Nā Uhi Pale: No ka pale ʻana i ka pala a i ʻole ke komo ʻana ma luna o nā mea metala, palakiko, a i ʻole ke aniani.
Nā Uhi Uila: No ka hana ʻana o nā kaapuni i hoʻohui ʻia, nā cell solar, a me nā mea uila ʻē aʻe.
Nā Pōmaikaʻi o ka Uhi Vacuum
Pololei: ʻAe ka uhi ʻana i ka vacuum no ka kaohi pololei ʻana i ka mānoanoa a me ka haku mele ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni.
Ke ʻano like: Hiki ke waiho like ʻia nā kiʻiʻoniʻoni ma luna o nā ʻano paʻakikī a me nā wahi nui.
Ka Pono: Hiki ke hana ʻakomi loa ʻia ke kaʻina hana a kūpono no ka hana nui.
ʻO ke aloha kaiapuni: ʻO ka uhi ʻana i ka vacuum e hoʻohana pinepine i nā kemika liʻiliʻi a hoʻopuka i ka ʻōpala liʻiliʻi ma mua o nā ʻano hana uhi ʻē aʻe.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua