Niyə tozsoran istifadə etməlisiniz?
Çirklənmənin Qarşısının Alınması: Vakuumda hava və digər qazların olmaması çökmə materialının atmosfer qazları ilə reaksiyaya girməsinin qarşısını alır ki, bu da filmi çirkləndirə bilər.
Təkmilləşdirilmiş Yapışma: Havanın olmaması, filmin hava cibləri və ya bağı zəiflədə biləcək digər interstisial qazlar olmadan birbaşa substrata yapışması deməkdir.
Film Keyfiyyəti: Vakuum şəraiti çökmə prosesinə daha yaxşı nəzarət etməyə imkan verir və nəticədə daha vahid və daha yüksək keyfiyyətli filmlər əldə edilir.
Aşağı Temperaturda Çökmə: Bəzi materiallar atmosfer qazlarına məruz qaldıqda çökmə üçün tələb olunan temperaturda parçalanacaq və ya reaksiyaya girəcək. Vakuumda bu materiallar daha aşağı temperaturda çökə bilər.
Vakuum örtük proseslərinin növləri
Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD)
Termal buxarlanma: Material buxarlanana qədər vakuumda qızdırılır və sonra substrat üzərində kondensasiya olunur.
Püskürtmə: Yüksək enerjili ion şüası hədəf materialı bombardman edir və atomların atılmasına və substrat üzərinə çökməsinə səbəb olur.
İmpulslu Lazer Çökdürmə (PLD): Hədəfdən materialı buxarlandırmaq üçün yüksək güclü lazer şüası istifadə olunur və sonra substrat üzərində kondensasiya olunur.
Kimyəvi Buxar Çöküntüsü (KÇÇ)
Aşağı Təzyiqli CVD (LPCVD): Aşağı təzyiqdə aşağı temperaturlarda yerinə yetirilir və film keyfiyyətini artırır.
Plazma ilə Gücləndirilmiş Ürək-Damar Xəstəliyi (PECVD): Ənənəvi Ürək-Damar Xəstəliklərindən daha aşağı temperaturda kimyəvi reaksiyaları aktivləşdirmək üçün plazmadan istifadə edir.
Atom Layının Çökməsi (ALD)
ALD, filmləri bir anda bir atom təbəqəsi ilə yerləşdirən və film qalınlığı və tərkibi üzərində əla nəzarət təmin edən bir CVD növüdür.
Vakuum örtükdə istifadə olunan avadanlıqlar
Vakuum Kamerası: Örtük prosesinin baş verdiyi əsas komponent.
Vakuum Nasosları: Vakuum mühiti yaratmaq və saxlamaq üçün.
Substrat Tutucusu: Örtük prosesi zamanı substratı yerində saxlamaq üçün.
Buxarlanma və ya püskürmə mənbələri: İstifadə olunan PVD metodundan asılı olaraq.
Enerji Təchizatları: Buxarlanma mənbələrinə enerji tətbiq etmək və ya PECVD-də plazma yaratmaq üçün.
Temperatur Nəzarət Sistemləri: Substratları qızdırmaq və ya proses temperaturunu idarə etmək üçün.
Monitorinq Sistemləri: Çökdürülmüş təbəqənin qalınlığını, vahidliyini və digər xüsusiyyətlərini ölçmək üçün.
Vakuum örtüyünün tətbiqi
Optik örtüklər: Linzalar, güzgülər və digər optik komponentlər üzərində əks etdirici, əks etdirici və ya filtr örtükləri üçün.
Dekorativ örtüklər: Zərgərlik, saatlar və avtomobil hissələri də daxil olmaqla geniş çeşiddə məhsullar üçün.
Sərt örtüklər: Kəsici alətlərdə, mühərrik komponentlərində və tibbi cihazlarda aşınma müqavimətini və davamlılığını artırmaq üçün.
Baryer örtükləri: Metal, plastik və ya şüşə substratlarda korroziyanın və ya sızmanın qarşısını almaq üçün.
Elektron örtüklər: İnteqral sxemlərin, günəş batareyalarının və digər elektron cihazların istehsalı üçün.
Vakuum örtüyünün üstünlükləri
Dəqiqlik: Vakuum örtük film qalınlığı və tərkibi üzərində dəqiq nəzarət etməyə imkan verir.
Vahidlik: Filmlər mürəkkəb formalara və geniş sahələrə bərabər şəkildə yerləşdirilə bilər.
Səmərəlilik: Proses yüksək dərəcədə avtomatlaşdırıla bilər və yüksək həcmli istehsal üçün uyğundur.
Ətraf Mühitə Uyğunluq: Vakuum örtük adətən digər örtük üsullarına nisbətən daha az kimyəvi maddə istifadə edir və daha az tullantı yaradır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 15 Avqust 2024