Mengapa Perlu Menggunakan Vakum?
Mencegah Pencemaran: Dalam vakum, ketiadaan udara dan gas lain menghalang bahan pemendapan daripada bertindak balas dengan gas atmosfera, yang boleh mencemari filem.
Lekatan yang Dipertingkatkan: Kekurangan udara bermakna filem melekat terus pada substrat tanpa poket udara atau gas interstis lain yang boleh melemahkan ikatan.
Kualiti Filem: Keadaan vakum membolehkan kawalan yang lebih baik ke atas proses pemendapan, menghasilkan filem yang lebih seragam dan berkualiti tinggi.
Pemendapan Suhu Rendah: Sesetengah bahan akan terurai atau bertindak balas pada suhu yang diperlukan untuk pemendapan jika ia terdedah kepada gas atmosfera. Dalam vakum, bahan-bahan ini boleh dimendapkan pada suhu yang lebih rendah.
Jenis-jenis Proses Salutan Vakum
Pemendapan Wap Fizikal (PVD)
Penyejatan Terma: Bahan dipanaskan dalam vakum sehingga ia tersejat dan kemudian terkondensasi pada substrat.
Percikan: Pancaran ion bertenaga tinggi mengebom bahan sasaran, menyebabkan atom terkeluar dan termendap ke atas substrat.
Pemendapan Laser Berdenyut (PLD): Pancaran laser berkuasa tinggi digunakan untuk mengewapkan bahan daripada sasaran, yang kemudiannya terkondensasi pada substrat.
Pemendapan Wap Kimia (CVD)
CVD Tekanan Rendah (LPCVD): Dilakukan pada tekanan yang dikurangkan kepada suhu yang lebih rendah dan meningkatkan kualiti filem.
CVD Dipertingkat Plasma (PECVD): Menggunakan plasma untuk mengaktifkan tindak balas kimia pada suhu yang lebih rendah daripada CVD tradisional.
Pemendapan Lapisan Atom (ALD)
ALD ialah sejenis CVD yang memendapkan filem satu lapisan atom pada satu masa, memberikan kawalan yang sangat baik ke atas ketebalan dan komposisi filem.
Peralatan yang Digunakan dalam Salutan Vakum
Kebuk Vakum: Komponen utama tempat proses salutan berlaku.
Pam Vakum: Untuk mewujudkan dan menyelenggara persekitaran vakum.
Pemegang Substrat: Untuk memegang substrat di tempatnya semasa proses salutan.
Sumber Penyejatan atau Percikan: Bergantung pada kaedah PVD yang digunakan.
Bekalan Kuasa: Untuk menggunakan tenaga kepada sumber penyejatan atau untuk menjana plasma dalam PECVD.
Sistem Kawalan Suhu: Untuk memanaskan substrat atau mengawal suhu proses.
Sistem Pemantauan: Untuk mengukur ketebalan, keseragaman dan sifat-sifat lain filem yang termendap.
Aplikasi Salutan Vakum
Salutan Optik: Untuk salutan anti-pantulan, pantulan atau penapis pada kanta, cermin dan komponen optik lain.
Salutan Hiasan: Untuk pelbagai jenis produk, termasuk barang kemas, jam tangan dan alat ganti automotif.
Salutan Keras: Untuk meningkatkan rintangan haus dan ketahanan pada alat pemotong, komponen enjin dan peranti perubatan.
Salutan Penghalang: Untuk mencegah kakisan atau penyerapan pada substrat logam, plastik atau kaca.
Salutan Elektronik: Untuk pengeluaran litar bersepadu, sel solar dan peranti elektronik lain.
Kelebihan Salutan Vakum
Ketepatan: Salutan vakum membolehkan kawalan yang tepat ke atas ketebalan dan komposisi filem.
Keseragaman: Filem boleh dimendapkan secara sekata ke atas bentuk kompleks dan kawasan yang luas.
Kecekapan: Proses ini boleh diautomasikan sepenuhnya dan sesuai untuk pengeluaran dalam jumlah tinggi.
Keramahan Alam Sekitar: Salutan vakum biasanya menggunakan lebih sedikit bahan kimia dan menghasilkan kurang sisa berbanding kaedah salutan lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 15 Ogos 2024