Ifihan si Aṣọ Amúlétutù

Kí nìdí tí a fi ń lo afẹ́fẹ́?
Dídènà Àbàwọ́n: Nínú afẹ́fẹ́, àìsí afẹ́fẹ́ àti àwọn gáàsì mìíràn ń dènà kí ohun èlò ìtúsílẹ̀ má ṣe ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn gáàsì afẹ́fẹ́, èyí tí ó lè ba fíìmù náà jẹ́.
Ìfàmọ́ra Tí Ó Dára Síi: Àìsí afẹ́fẹ́ túmọ̀ sí wípé fíìmù náà máa ń lẹ̀ mọ́ ohun èlò tí ó wà lábẹ́ ilẹ̀ láìsí àpò afẹ́fẹ́ tàbí àwọn gáàsì àárín gbùngbùn mìíràn tí ó lè sọ ìsopọ̀ náà di aláìlágbára.
Dídára Fíìmù: Àwọn ipò ìfọṣọ gba ààyè láti ṣàkóso iṣẹ́ ìfipamọ́ tó dára jù, èyí tó máa mú kí àwọn fíìmù náà dọ́gba pẹ̀lú àwọn fíìmù tó dára jù.
Ìtúsílẹ̀ Òtútù Kéré: Àwọn ohun èlò kan lè jẹrà tàbí kí wọ́n máa hùwà padà ní ìwọ̀n otútù tí a nílò fún ìtúsílẹ̀ tí a bá fi wọ́n hàn sí àwọn afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́. Nínú òtútù, a lè kó àwọn ohun èlò wọ̀nyí sí i ní ìwọ̀n otútù tí ó kéré sí i.
Awọn Iru Awọn Ilana Aṣọ Igbale
Ìfipamọ́ afẹ́fẹ́ ti ara (PVD)
Ìtújáde Ooru: A máa ń gbóná ohun èlò náà nínú afẹ́fẹ́ títí yóò fi gbẹ, lẹ́yìn náà yóò di rọ̀pọ̀ lórí ilẹ̀ náà.
Ìfọ́nká: Ìlà ion alágbára gíga kan máa ń bo ohun èlò ìfọ́nká kan, èyí tí yóò mú kí àwọn átọ̀mù jáde kúrò nínú rẹ̀ kí ó sì wọ́ sí orí ilẹ̀ náà.
Ìtújáde Lésà Pulsed (PLD): A máa ń lo ìtànṣán lésà alágbára gíga láti mú kí ohun èlò náà gbẹ láti ibi tí a fẹ́ dé, èyí tí yóò wá di pátápátá lórí ohun èlò náà.
Ìtújáde Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà (CVD)
CVD Ìfúnpá Kekere (LPCVD): A ṣe é ní ìwọ̀n ìfúnpá díẹ̀ láti dín iwọ̀n otútù kù àti láti mú kí dídára fíìmù náà sunwọ̀n sí i.
CVD Tí A Mú PECVD Dáradára: Ó ń lo plasma láti mú kí àwọn ìṣesí kẹ́míkà ṣiṣẹ́ ní ìwọ̀n otútù tí ó kéré ju CVD ìbílẹ̀ lọ.
Ipò Ìfìwéránṣẹ́ Atomu (ALD)
ALD jẹ́ irú CVD kan tí ó máa ń fi àwọn fíìmù sí ìpele atomiki kan ní àkókò kan, tí ó sì ń fúnni ní ìṣàkóso tó dára lórí bí fíìmù náà ṣe nípọn àti ìṣètò rẹ̀.

Àwọn Ohun Èlò Tí A Lò Nínú Àbò Ẹ̀rọ Afẹ́fẹ́
Iyẹwu Afẹ́fẹ́: Apá pàtàkì níbi tí ilana ìbòrí ti ń wáyé.
Àwọn Pọ́ọ̀ǹpù Afẹ́fẹ́: Láti ṣẹ̀dá àti láti tọ́jú àyíká afẹ́fẹ́.
Ohun tí ó ní ìpìlẹ̀: Láti mú ìpìlẹ̀ náà dúró ní ipò rẹ̀ nígbà tí a bá ń ṣe ìbòrí náà.
Àwọn Orísun Ìtújáde tàbí Ìtújáde: Ó da lórí ọ̀nà PVD tí a lò.
Àwọn Ìpèsè Agbára: Fún lílo agbára sí àwọn orísun ìtújáde tàbí fún ṣíṣe plasma ní PECVD.
Awọn Eto Iṣakoso Iwọn otutu: Fun awọn ohun elo alapapo tabi iṣakoso iwọn otutu ilana.
Àwọn Ètò Àbójútó: Láti wọn ìwọ̀n, ìṣọ̀kan, àti àwọn ànímọ́ mìíràn ti fíìmù tí a fi pamọ́.
Awọn ohun elo ti Aṣọ Igbale
Àwọn Àwọ̀ Ojú: Fún àwọn àwọ̀ tí kò ní ìyípadà, tí ó ń ṣàn, tàbí tí ó ń ṣàn lórí àwọn lẹ́ńsì, dígí, àti àwọn èròjà ojú mìíràn.
Àwọn Àwọ̀ Ohun Ọ̀ṣọ́: Fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọjà, títí bí ohun ọ̀ṣọ́, aago, àti àwọn ẹ̀yà ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́.
Àwọn Àwọ̀ Líle: Láti mú kí ìdènà ìfàmọ́ra àti agbára ìfaradà ṣiṣẹ́ lórí àwọn irinṣẹ́ gígé, àwọn èròjà ẹ̀rọ, àti àwọn ẹ̀rọ ìṣègùn.
Àwọn Àwọ̀ Ìdènà: Láti dènà ìbàjẹ́ tàbí kí ó wọ inú àwọn ohun èlò irin, ṣíṣu, tàbí dígí.
Àwọn Ẹ̀rọ Aṣọ Ẹ̀rọ Alágbára: Fún ìṣẹ̀dá àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́pọ̀, àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, àti àwọn ẹ̀rọ amúṣẹ́pọ̀ míràn.
Àwọn Àǹfààní ti Àbò Ẹ̀rọ Amúlétutù
Pípé: Àwọ̀ ìfọṣọ gba ààyè fún ìṣàkóso pàtó lórí sisanra àti ìṣètò fíìmù náà.
Ìṣọ̀kan: A lè gbé àwọn fíìmù náà sórí àwọn ìrísí tó díjú àti àwọn agbègbè ńlá.
Ìṣiṣẹ́: Ìlànà náà lè jẹ́ aládàáni gíga, ó sì yẹ fún iṣẹ́-ṣíṣe gíga.
Ìbáramu Àyíká: Àwọn kẹ́míkà díẹ̀ ni a máa ń lò tí a fi ń yọ́ omi, èyí sì máa ń mú kí ó bàjẹ́ ju àwọn ọ̀nà ìbòrí mìíràn lọ.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua