Вакуум бүрхүүлийн танилцуулга

Яагаад тоос сорогч ашиглах ёстой вэ?
Бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх: Вакуум орчинд агаар болон бусад хий байхгүй байх нь тунадасжсан материалыг агаар мандлын хийтэй урвалд орохоос сэргийлж, улмаар хальсыг бохирдуулж болзошгүй.
Сайжруулсан наалдац: Агаарын дутагдал гэдэг нь хальс нь суурь дээр шууд наалддаг бөгөөд агаарын халаас эсвэл холбоог сулруулж болзошгүй бусад завсрын хийнүүд байхгүй гэсэн үг юм.
Киноны чанар: Вакуум нөхцөл нь тунадасжуулалтын процессыг илүү сайн хянах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр илүү жигд, өндөр чанартай кино бий болдог.
Бага температурт тунадасжих: Зарим материалууд агаар мандлын хийд өртвөл тунадасжихад шаардлагатай температурт задарч эсвэл урвалд ордог. Вакуум орчинд эдгээр материалыг бага температурт тунадасжуулж болно.
Вакуум бүрэх процессын төрлүүд
Физик ууршилтын тунадасжилт (PVD)
Дулааны ууршилт: Материалыг вакуум орчинд уурших хүртэл халааж, дараа нь суурь дээр конденсацлана.
Цацрах: Өндөр энергитэй ионы цацраг нь бай материалыг бөмбөгдөж, атомуудыг шидэж, суурь дээр хуримтлуулахад хүргэдэг.
Импульсийн лазер тунадасжуулалт (PLD): Өндөр хүчин чадалтай лазер туяаг ашиглан байнаас материалыг ууршуулж, дараа нь суурь дээр конденсацлана.
Химийн ууршилтын тунадасжилт (ХУТТ)
Бага даралттай CVD (LPCVD): Даралтыг бууруулж, температурыг бууруулж, хальсны чанарыг сайжруулна.
Плазмаар сайжруулсан зүрх судасны өвчин (PECVD): Уламжлалт зүрх судасны өвчнөөс бага температурт химийн урвалыг идэвхжүүлэхийн тулд плазм ашигладаг.
Атомын давхаргын тунадасжилт (ALD)
ALD нь хальсыг нэг атомын давхаргаар хуримтлуулдаг CVD-ийн нэг төрөл бөгөөд хальсны зузаан болон найрлагыг маш сайн хянадаг.

Вакуум бүрхүүлд ашигладаг тоног төхөөрөмж
Вакуум камер: Бүрэх процесс явагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг.
Вакуум насос: Вакуум орчинг бүрдүүлэх, арчлах зориулалттай.
Субстрат баригч: Бүрэх явцад суурийг байрандаа барих зориулалттай.
Ууршилт эсвэл цацалтын эх үүсвэр: Ашигласан PVD аргаас хамаарна.
Цахилгаан хангамж: Ууршилтын эх үүсвэрт энерги хэрэглэх эсвэл PECVD-д плазм үүсгэх зориулалттай.
Температурын хяналтын системүүд: Субстратыг халаах эсвэл процессын температурыг хянах зориулалттай.
Хяналтын системүүд: Хадгалсан хальсны зузаан, жигд байдал болон бусад шинж чанарыг хэмжих.
Вакуум бүрхүүлийн хэрэглээ
Оптик бүрхүүл: Линз, толь болон бусад оптик эд ангиуд дээр гэрэл тусгалын эсрэг, гэрэл ойлгогч эсвэл шүүлтүүрийн бүрхүүл хийхэд зориулагдсан.
Чимэглэлийн бүрээс: Үнэт эдлэл, цаг, автомашины сэлбэг хэрэгсэл зэрэг өргөн хүрээний бүтээгдэхүүнд зориулагдсан.
Хатуу бүрхүүл: Зүсэх хэрэгсэл, хөдөлгүүрийн эд анги, эмнэлгийн хэрэгслийн элэгдэлд тэсвэртэй байдал, бат бөх чанарыг сайжруулах.
Саад бүрээс: Металл, хуванцар эсвэл шилэн суурь дээр зэврэлт эсвэл нэвчилт үүсэхээс урьдчилан сэргийлэх зориулалттай.
Цахим бүрхүүл: Интеграл хэлхээ, нарны зай болон бусад электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэх зориулалттай.
Вакуум бүрхүүлийн давуу талууд
Нарийвчлал: Вакуум бүрхүүл нь хальсны зузаан болон найрлагыг нарийн хянах боломжийг олгодог.
Жигд байдал: Киног нарийн төвөгтэй хэлбэр дүрс болон том талбайд жигд түрхэж болно.
Үр ашиг: Энэ үйл явцыг өндөр түвшинд автоматжуулж болох бөгөөд их хэмжээний үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
Байгаль орчинд ээлтэй байдал: Вакуум бүрхүүл нь бусад бүрхүүлийн аргуудтай харьцуулахад бага химийн бодис хэрэглэдэг бөгөөд бага хаягдал гаргадаг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа