Hobaneng o Sebelisa Vacuum?
Ho Thibela Tšilafalo: Ka har'a vacuum, ho hloka moea le likhase tse ling ho thibela thepa ea ho boloka lintho hore e se ke ea arabela le likhase tsa sepakapaka, tse ka silafatsang filimi.
Ho Khomarela ho Ntlafetseng: Ho hloka moya ho bolela hore filimi e kgomarela ka ho toba substrate ntle le dipokotho tsa moya kapa dikhase tse ding tse ka fokodisang tlamo.
Boleng ba Filimi: Maemo a vacuum a dumella taolo e betere hodima tshebetso ya ho bea difilimi, e leng se fellang ka difilimi tse tshwanang le tsa boleng bo hodimo.
Ho Hlahisoa ha Mocheso o Tlase: Lintho tse ling li ka bola kapa tsa arabela mochesong o hlokahalang bakeng sa ho hlahisoa haeba li ne li pepesehetse likhase tsa sepakapaka. Ka har'a vacuum, lintho tsena li ka hlahisoa mochesong o tlase.
Mefuta ea Mekhoa ea ho Koahela ka Vacuum
Ho Ntša Mouoane oa 'Mele (PVD)
Mouoane o Chesang: Thepa e futhumatsoa ka har'a vacuum ho fihlela e fetoha mouoane ebe e fetoha mouoane holim'a substrate.
Ho qhalana: Lehlaseli la ioni le nang le matla a mangata le hlasela thepa e reretsoeng, e leng se etsang hore liathomo li ntšetsoe 'me li behe holim'a substrate.
Ho Hlahisa Lesedi ka Lesedi (PLD): Lebone la lesedi le matla a maholo le sebedisetswa ho fetola thepa hore e be mouoane ho tloha ho sepheo, ebe e kopana hodima substrate.
Ho Ntša Mouoane ka Lik'hemik'hale (CVD)
CVD e Tlase ea Khatello (LPCVD): E etsoa ka khatello e fokotsehileng ho ea mochesong o tlase le ho ntlafatsa boleng ba filimi.
CVD e Ntlafalitsoeng ke Plasma (PECVD): E sebelisa plasma ho kenya tšebetsong lik'hemik'hale mochesong o tlase ho feta CVD ea setso.
Ho Theoha ha Lera la Atomo (ALD)
ALD ke mofuta oa CVD o bolokang lifilimi ka lera le le leng la athomo ka nako, o fana ka taolo e ntle holim'a botenya le sebopeho sa filimi.
Lisebelisoa tse Sebelisitsoeng ho Koahela ka Vacuum
Kamore ea ho phunya: Karolo ea bohlokoa moo ts'ebetso ea ho roala e etsahalang teng.
Lipompo tsa Vacuum: Ho theha le ho hlokomela tikoloho ea vacuum.
Setshwari sa Substrate: Ho tshwara substrate sebakeng sa yona nakong ya tshebetso ya ho roala.
Mehloli ea ho mouoane kapa ho qhalana: Ho latela mokhoa oa PVD o sebelisitsoeng.
Lisebelisoa tsa Motlakase: Bakeng sa ho sebelisa matla mehloling ea mouoane kapa bakeng sa ho hlahisa plasma ho PECVD.
Mekhoa ea ho Laola Mocheso: Bakeng sa ho futhumatsa li-substrate kapa ho laola mocheso oa ts'ebetso.
Mekhoa ea ho Lekola: Ho lekanya botenya, ho tšoana, le litšobotsi tse ling tsa filimi e kentsoeng.
Litšebeliso tsa ho Koahela ka Vacuum
Liaparo tsa Optical: Bakeng sa liaparo tse thibelang ho bonahatsa, ho bonahatsa, kapa ho sefa lilenseng, liiponeng le likarolo tse ling tsa optical.
Liaparo tse Khabisitsoeng: Bakeng sa mefuta e mengata ea lihlahisoa, ho kenyeletsoa mabenyane, lioache le likarolo tsa likoloi.
Liaparo tse Thata: Ho ntlafatsa ho hanyetsa ho tsofala le ho tšoarella ha lisebelisoa tsa ho seha, likarolo tsa enjene le lisebelisoa tsa bongaka.
Liaparo tsa Thibelo: Ho thibela ho bola kapa ho kenella holim'a li-substrate tsa tšepe, polasetiki kapa khalase.
Liaparo tsa Elektroniki: Bakeng sa tlhahiso ea lipotoloho tse kopaneng, lisele tsa letsatsi, le lisebelisoa tse ling tsa elektroniki.
Melemo ea ho Koahela ka Vacuum
Ho nepahala: Ho koahela ka vacuum ho dumella taolo e nepahetseng hodima botenya ba filimi le sebopeho sa yona.
Ho tšoana: Lifilimi li ka beoa ka ho lekana holim'a libopeho tse rarahaneng le libaka tse kholo.
Bokgoni: Ts'ebetso ena e ka etsoa ka boiketsetso bo phahameng mme e loketse tlhahiso e phahameng.
Botsoalle Tikolohong: Sekoahelo sa vacuum hangata se sebelisa lik'hemik'hale tse fokolang 'me se hlahisa litšila tse fokolang ho feta mekhoa e meng ea ho se koahela.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Phato-15-2024