ການແນະນຳກ່ຽວກັບການເຄືອບສູນຍາກາດ

ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ?
ການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ: ໃນສູນຍາກາດ, ການບໍ່ມີອາກາດ ແລະ ອາຍແກັສອື່ນໆຈະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ວາງຊັ້ນຈະປະຕິກິລິຍາກັບອາຍແກັສໃນບັນຍາກາດ, ເຊິ່ງອາດຈະປົນເປື້ອນຟິມໄດ້.
ການຍຶດຕິດທີ່ດີຂຶ້ນ: ການຂາດອາກາດໝາຍຄວາມວ່າຟິມຍຶດຕິດກັບຊັ້ນຮອງໂດຍກົງໂດຍບໍ່ມີຖົງລົມ ຫຼື ອາຍແກັສອື່ນໆທີ່ອາດເຮັດໃຫ້ການຍຶດຕິດອ່ອນແອລົງ.
ຄຸນນະພາບຂອງຟິມ: ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຂະບວນການວາງຊັ້ນໄດ້ດີຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຟິມມີຄຸນນະພາບສູງຂຶ້ນ ແລະ ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ.
ການຕົກຕະກອນໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳ: ວັດສະດຸບາງຢ່າງຈະເນົ່າເປື່ອຍ ຫຼື ມີປະຕິກິລິຍາໃນອຸນຫະພູມທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການຕົກຕະກອນ ຖ້າພວກມັນຖືກສຳຜັດກັບອາຍແກັສໃນບັນຍາກາດ. ໃນສູນຍາກາດ, ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຖືກຕົກຕະກອນໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳກວ່າ.
ປະເພດຂອງຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ
ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD)
ການລະເຫີຍດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ: ວັດສະດຸຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໃນສູນຍາກາດຈົນກວ່າມັນຈະລະເຫີຍ ແລະ ຈາກນັ້ນຈະກັ່ນຕົວຢູ່ເທິງພື້ນຜິວ.
ການສະເປຣດເຕີຣິງ: ລຳແສງໄອອອນພະລັງງານສູງຈະຍິງໃສ່ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ເຮັດໃຫ້ອະຕອມຖືກສີດອອກ ແລະ ວາງລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ການວາງລັງສີດ້ວຍເລເຊີແບບກະພິບ (PLD): ລຳແສງເລເຊີພະລັງງານສູງຖືກໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸລະເຫີຍອອກຈາກເປົ້າໝາຍ, ເຊິ່ງຫຼັງຈາກນັ້ນຈະກັ່ນຕົວລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ.
ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD)
CVD ຄວາມດັນຕ່ຳ (LPCVD): ປະຕິບັດຢູ່ທີ່ຄວາມດັນທີ່ຫຼຸດລົງເພື່ອຫຼຸດອຸນຫະພູມ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຟິມ.
ການຜ່າຕັດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ (PECVD): ໃຊ້ພລາສມາເພື່ອກະຕຸ້ນປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳກວ່າການຜ່າຕັດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດແບບດັ້ງເດີມ.
ການຕົກตะกอนຂອງຊັ້ນອະຕອມ (ALD)
ALD ແມ່ນປະເພດໜຶ່ງຂອງ CVD ທີ່ວາງຟິມໄວ້ຄັ້ງລະຊັ້ນອະຕອມ, ເຊິ່ງສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງຟິມໄດ້ທີ່ດີເລີດ.

ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ
ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ອົງປະກອບຫຼັກທີ່ຂະບວນການເຄືອບເກີດຂຶ້ນ.
ປໍ້າສູນຍາກາດ: ເພື່ອສ້າງ ແລະ ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ.
ຕົວຍຶດພື້ນຜິວ: ເພື່ອຍຶດພື້ນຜິວໃຫ້ຢູ່ກັບທີ່ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຄືອບ.
ແຫຼ່ງການລະເຫີຍ ຫຼື ການສີດພົ່ນ: ຂຶ້ນກັບວິທີການ PVD ທີ່ໃຊ້.
ການສະໜອງພະລັງງານ: ສຳລັບການນຳໃຊ້ພະລັງງານໃຫ້ກັບແຫຼ່ງການລະເຫີຍ ຫຼື ສຳລັບການສ້າງພລາສມາໃນ PECVD.
ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ສຳລັບໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ ຫຼື ຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຂອງຂະບວນການ.
ລະບົບຕິດຕາມກວດກາ: ເພື່ອວັດແທກຄວາມໜາ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ, ແລະ ຄຸນສົມບັດອື່ນໆຂອງຟິມທີ່ວາງໄວ້.
ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດ
ການເຄືອບທາງສາຍຕາ: ສຳລັບການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນ, ການສະທ້ອນ, ຫຼື ການເຄືອບຕົວກອງໃສ່ເລນ, ກະຈົກ, ແລະ ອົງປະກອບທາງສາຍຕາອື່ນໆ.
ການເຄືອບຕົກແຕ່ງ: ສຳລັບຜະລິດຕະພັນຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ, ລວມທັງເຄື່ອງປະດັບ, ໂມງ ແລະ ອາໄຫຼ່ລົດຍົນ.
ການເຄືອບແຂງ: ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມທົນທານໃນເຄື່ອງມືຕັດ, ອົງປະກອບເຄື່ອງຈັກ ແລະ ອຸປະກອນການແພດ.
ການເຄືອບກີດຂວາງ: ເພື່ອປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ ຫຼື ການຊຶມເຂົ້າເທິງໂລຫະ, ພາດສະຕິກ ຫຼື ແກ້ວ.
ການເຄືອບເອເລັກໂຕຣນິກ: ສຳລັບການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານ, ແຜງພະລັງງານແສງຕາເວັນ ແລະ ອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆ.
ຂໍ້ດີຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດ
ຄວາມແມ່ນຍຳ: ການເຄືອບສູນຍາກາດຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງຟິມໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ.
ຄວາມເປັນເອກະພາບ: ຟິມສາມາດຖືກວາງໄວ້ຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃນຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ ແລະ ພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່.
ປະສິດທິພາບ: ຂະບວນການນີ້ສາມາດອັດຕະໂນມັດໄດ້ສູງ ແລະ ເໝາະສົມສຳລັບການຜະລິດໃນປະລິມານສູງ.
ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ: ການເຄືອບແບບສູນຍາກາດມັກຈະໃຊ້ສານເຄມີໜ້ອຍລົງ ແລະ ຜະລິດສິ່ງເສດເຫຼືອໜ້ອຍກວ່າວິທີການເຄືອບອື່ນໆ.

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua