Чаро аз чангкашак истифода бурдан лозим аст?
Пешгирии ифлосшавӣ: Дар вакуум, набудани ҳаво ва дигар газҳо имкон намедиҳад, ки маводи таҳшиншуда бо газҳои атмосфера вокуниш нишон диҳад, ки метавонад плёнкаро ифлос кунад.
Часпиши беҳтаршуда: Набудани ҳаво маънои онро дорад, ки плёнка мустақиман ба субстрат бе ҷайбҳои ҳаво ё дигар газҳои байнисоҳавӣ, ки метавонанд пайвандро суст кунанд, часпида мешавад.
Сифати плёнка: Шароити вакуумӣ имкон медиҳад, ки раванди таҳшинкунӣ беҳтар назорат карда шавад, ки дар натиҷа плёнкаҳои якхела ва босифаттар ба даст меоянд.
Тахмин дар ҳарорати паст: Баъзе маводҳо, агар ба газҳои атмосфера дучор шаванд, дар ҳарорати зарурӣ барои таҳшиншавӣ таҷзия ё реаксия мекунанд. Дар вакуум, ин маводҳоро дар ҳарорати пасттар таҳшин кардан мумкин аст.
Намудҳои равандҳои пӯшонидани вакуумӣ
Ҷойгиршавии буғи физикӣ (PVD)
Бухоршавии гармӣ: Мавод дар вакуум то бухор шуданаш гарм карда мешавад ва сипас дар рӯи замин конденсатсия мешавад.
Пошидани нур: Шуои ионии дорои энергияи баланд маводи мавриди ҳадафро бомбаборон мекунад, ки боиси партофтани атомҳо ва ҷойгиршавии онҳо ба рӯи он мегардад.
Андохтани лазерии импулсӣ (PLD): Шуоъи лазерии пуриқтидор барои бухор кардани мавод аз ҳадаф истифода мешавад, ки сипас дар рӯи субстрат конденсатсия мешавад.
Андозагирии буғи кимиёвӣ (CVD)
CVD-и фишори паст (LPCVD): Дар фишори паст то ҳарорати пасттар ва беҳтар кардани сифати плёнка иҷро карда мешавад.
CVD бо плазма такмилёфта (PECVD): Плазмаро барои фаъол кардани аксуламалҳои кимиёвӣ дар ҳарорати пасттар нисбат ба CVD анъанавӣ истифода мебарад.
Ҷойгиршавии қабати атомӣ (ALD)
ALD як навъи CVD аст, ки дар як вақт як қабати атомӣ мегузорад ва назорати аълоро аз болои ғафсӣ ва таркиби филм таъмин мекунад.
Таҷҳизоте, ки дар рӯйпӯшкунии вакуумӣ истифода мешавад
Камераи вакуумӣ: Ҷузъи асосие, ки дар он раванди рӯйпӯшкунӣ сурат мегирад.
Насосҳои вакуумӣ: Барои эҷод ва нигоҳдории муҳити вакуумӣ.
Нигоҳдорандаи субстрат: Барои нигоҳ доштани субстрат дар ҷои худ ҳангоми раванди рӯйпӯшкунӣ.
Манбаъҳои бухоршавӣ ё пошидани об: Вобаста аз усули PVD истифодашуда.
Таъминоти барқ: Барои истифодаи энергия ба манбаъҳои бухоршавӣ ё барои тавлиди плазма дар PECVD.
Системаҳои назорати ҳарорат: Барои гарм кардани субстратҳо ё назорат кардани ҳарорати раванд.
Системаҳои мониторинг: Барои чен кардани ғафсӣ, якрангӣ ва дигар хосиятҳои плёнкаи гузошташуда.
Истифодаи рӯйпӯши вакуумӣ
Пӯшишҳои оптикӣ: Барои пӯшишҳои зиддиинъикосӣ, инъикосӣ ё филтрӣ дар линзаҳо, оинаҳо ва дигар ҷузъҳои оптикӣ.
Пӯшишҳои ороишӣ: Барои доираи васеи маҳсулот, аз ҷумла ҷавоҳирот, соатҳо ва қисмҳои автомобилӣ.
Рӯйпӯшҳои сахт: Барои беҳтар кардани муқовимати фарсудашавӣ ва устувории асбобҳои буранда, ҷузъҳои муҳаррик ва дастгоҳҳои тиббӣ.
Пӯшишҳои монеаӣ: Барои пешгирӣ аз зангзанӣ ё воридшавӣ дар рӯи металл, пластикӣ ё шиша.
Пӯшишҳои электронӣ: Барои истеҳсоли схемаҳои интегралӣ, батареяҳои офтобӣ ва дигар дастгоҳҳои электронӣ.
Афзалиятҳои пӯшиши вакуумӣ
Дақиқӣ: Пӯшиши вакуумӣ имкон медиҳад, ки ғафсӣ ва таркиби плёнка дақиқ назорат карда шавад.
Якрангӣ: Филмҳоро метавон ба таври баробар дар шаклҳои мураккаб ва масоҳатҳои калон ҷойгир кард.
Самаранокӣ: Раванд метавонад хеле автоматӣ бошад ва барои истеҳсоли ҳаҷми баланд мувофиқ аст.
Муносибати экологӣ: Пӯшиши вакуумӣ одатан нисбат ба дигар усулҳои пӯшиш камтар кимиёвӣ истифода мебарад ва партовҳои камтар истеҳсол мекунад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 15 августи соли 2024