Näme üçin vakuum ulanmaly?
Hapalanmagynyň öňüni almak: Wakuumda howa we beýleki gazlaryň ýoklugy, çöketlik materialynyň filmi hapalap biljek atmosfera gazlary bilen täsir etmeginiň öňüni alýar.
Gowulaşan ýelim: Howanyň ýoklugy, filmiň jübüsini ýa-da baglanyşygy gowşadyp biljek beýleki interstisial gazlar bolmazdan göni substrata ýapyşýandygyny aňladýar.
Filmiň hili: Wakuum şertleri çöketlik prosesine has gowy gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär, netijede has birmeňzeş we ýokary hilli filmler bolýar.
Pes temperatura çöketligi: Käbir materiallar, atmosfera gazlaryna sezewar bolan halatynda çökmek üçin zerur bolan temperaturalarda çüýrär ýa-da täsir eder. Wakuumda bu materiallar has pes temperaturada saklanyp bilner.
Wakuum örtük amallarynyň görnüşleri
Fiziki bug çöketligi (PVD)
Malylylyk bugarmagy: material bugarýança wakuumda gyzdyrylýar we substratda kondensasiýa bolýar.
Tüýkürmek: energyokary energiýaly ion şöhlesi maksatly materialy bombalaýar, atomlaryň çykmagyna we substrata goýulmagyna sebäp bolýar.
Pulsirlenen lazer çöketligi (PLD): materialy buglamak üçin ýokary güýçli lazer şöhlesi ulanylýar, soňra substratda kondensasiýa bolýar.
Himiki bug çöketligi (CVD)
Pes basyşly CVD (LPCVD): Pes temperatura we filmiň hilini ýokarlandyrmak üçin pes basyşda ýerine ýetirilýär.
Plazma bilen ösen CVD (PECVD): Adaty CVD-den has pes temperaturada himiki reaksiýalary işjeňleşdirmek üçin plazma ulanýar.
Atom gatlagy (ALD)
ALD filmleriň galyňlygyna we düzümine ajaýyp gözegçilik edip, bir gezekde bir atom gatlagyny goýýan CVD görnüşidir.
Wakuum örtükde ulanylýan enjamlar
Wakuum palatasy: Örtük prosesi bolup geçýän esasy komponent.
Wakuum nasoslary: Wakuum gurşawyny döretmek we goldamak.
Substrat eýesi: örtük prosesinde substraty ýerinde saklamak.
Buglanmak ýa-da dökülýän çeşmeler: Ulanylan PVD usulyna baglylykda.
Elektrik üpjünçiligi: Buglanmak çeşmelerine energiýa ulanmak ýa-da PECVD-de plazma döretmek üçin.
Temperatura gözegçilik ulgamlary: Substratlary ýylatmak ýa-da prosesiň temperaturasyna gözegçilik etmek üçin.
Gözegçilik ulgamlary: Goýlan filmiň galyňlygyny, birmeňzeşligini we beýleki häsiýetlerini ölçemek.
Wakuum örtüginiň goşundylary
Optiki örtükler: Linzalarda, aýnalarda we beýleki optiki komponentlerde anti-reflektor, şöhlelendiriji ýa-da süzgüç örtükleri üçin.
Bezeg örtükleri: Şaý-sepler, sagatlar we awtoulag bölekleri ýaly önümleriň köp görnüşi üçin.
Gaty örtükler: Kesiş gurallarynda, dwigatel böleklerinde we lukmançylyk enjamlarynda könelişmä garşylygy we çydamlylygy ýokarlandyrmak.
Päsgelçilik örtükleri: metal, plastmassa ýa-da aýna aşaky gatlaklarda poslamagyň ýa-da geçmeginiň öňüni almak.
Elektron örtükler: Integrirlenen zynjyrlary, gün öýjüklerini we beýleki elektron enjamlaryny öndürmek üçin.
Wakuum örtüginiň artykmaçlyklary
Takyklyk: Wakuum örtük filmiň galyňlygyna we düzümine takyk gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.
Birmeňzeşlik: Filmler çylşyrymly şekillere we uly ýerlere deň derejede ýerleşdirilip bilner.
Netijelilik: Bu proses ýokary awtomatlaşdyrylyp bilner we ýokary göwrümli önümçilik üçin amatlydyr.
Daşky gurşawa dostluk: Wakuum örtügi adatça az himiki serişdeleri ulanýar we beýleki örtük usullaryna garanyňda az galyndy öndürýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 15-2024-nji awgust