บทนำสู่การเคลือบสูญญากาศ

เหตุใดจึงต้องใช้เครื่องดูดฝุ่น?
การป้องกันการปนเปื้อน: ในสุญญากาศ การไม่มีอากาศและก๊าซอื่นๆ จะป้องกันไม่ให้วัสดุที่สะสมทำปฏิกิริยากับก๊าซในบรรยากาศ ซึ่งอาจปนเปื้อนฟิล์มได้
การยึดเกาะที่ดีขึ้น: การขาดอากาศหมายถึงฟิล์มยึดเกาะโดยตรงกับพื้นผิวโดยไม่มีช่องอากาศหรือก๊าซแทรกอื่นๆ ที่อาจทำให้การยึดเกาะอ่อนแอลง
คุณภาพฟิล์ม: สภาวะสูญญากาศช่วยให้ควบคุมกระบวนการสะสมได้ดีขึ้น ส่งผลให้ได้ฟิล์มที่สม่ำเสมอมากขึ้นและคุณภาพสูงขึ้น
การสะสมที่อุณหภูมิต่ำ: วัสดุบางชนิดจะสลายตัวหรือเกิดปฏิกิริยาที่อุณหภูมิที่จำเป็นสำหรับการสะสมหากสัมผัสกับก๊าซในบรรยากาศ ในสุญญากาศ วัสดุเหล่านี้สามารถสะสมได้ที่อุณหภูมิต่ำกว่า
ประเภทของกระบวนการเคลือบสูญญากาศ
การสะสมไอทางกายภาพ (PVD)
การระเหยด้วยความร้อน: วัสดุจะถูกให้ความร้อนในสุญญากาศจนกระทั่งระเหยและควบแน่นบนพื้นผิว
การสปัตเตอร์: ลำแสงไอออนพลังงานสูงยิงไปที่วัสดุเป้าหมาย ทำให้อะตอมถูกดีดออกและตกกระทบกับพื้นผิว
การสะสมเลเซอร์แบบพัลส์ (PLD): ลำแสงเลเซอร์กำลังสูงใช้เพื่อทำให้สารระเหยจากเป้าหมาย แล้วจึงควบแน่นบนพื้นผิว
การสะสมไอเคมี (CVD)
CVD แรงดันต่ำ (LPCVD): ดำเนินการโดยใช้แรงดันที่ลดลงเพื่อลดอุณหภูมิและปรับปรุงคุณภาพฟิล์ม
Plasma-Enhanced CVD (PECVD): ใช้พลาสมาเพื่อกระตุ้นปฏิกิริยาเคมีที่อุณหภูมิต่ำกว่า CVD แบบดั้งเดิม
การสะสมชั้นอะตอม (ALD)
ALD เป็นประเภทของ CVD ที่เคลือบฟิล์มทีละชั้นอะตอม ซึ่งให้การควบคุมความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มได้เป็นอย่างดี

อุปกรณ์ที่ใช้ในการเคลือบสูญญากาศ
ห้องสูญญากาศ: ส่วนประกอบหลักที่ใช้สำหรับกระบวนการเคลือบ
ปั๊มสุญญากาศ: เพื่อสร้างและรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
ที่ยึดพื้นผิว: เพื่อยึดพื้นผิวให้เข้าที่ในระหว่างกระบวนการเคลือบ
แหล่งกำเนิดการระเหยหรือการสปัตเตอร์: ขึ้นอยู่กับวิธีการ PVD ที่ใช้
แหล่งจ่ายไฟ: สำหรับใช้พลังงานไปยังแหล่งระเหยหรือสำหรับสร้างพลาสมาใน PECVD
ระบบควบคุมอุณหภูมิ: เพื่อให้ความร้อนแก่สารพื้นผิวหรือควบคุมอุณหภูมิในกระบวนการ
ระบบการตรวจสอบ: วัดความหนา ความสม่ำเสมอ และคุณสมบัติอื่น ๆ ของฟิล์มที่สะสม
การประยุกต์ใช้การเคลือบสูญญากาศ
การเคลือบออปติก: สำหรับการเคลือบป้องกันแสงสะท้อน แสงสะท้อน หรือฟิลเตอร์บนเลนส์ กระจก และส่วนประกอบออปติกอื่นๆ
สารเคลือบตกแต่ง สำหรับผลิตภัณฑ์หลากหลายประเภท เช่น เครื่องประดับ นาฬิกา และชิ้นส่วนยานยนต์
สารเคลือบแข็ง: เพื่อปรับปรุงความต้านทานการสึกหรอและความทนทานของเครื่องมือตัด ชิ้นส่วนเครื่องยนต์ และอุปกรณ์ทางการแพทย์
สารเคลือบกั้น: เพื่อป้องกันการกัดกร่อนหรือการซึมผ่านบนพื้นผิวโลหะ พลาสติก หรือแก้ว
การเคลือบอิเล็กทรอนิกส์: สำหรับการผลิตวงจรรวม เซลล์แสงอาทิตย์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ
ข้อดีของการเคลือบสูญญากาศ
ความแม่นยำ: การเคลือบสูญญากาศช่วยให้ควบคุมความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ
ความสม่ำเสมอ: สามารถเคลือบฟิล์มได้สม่ำเสมอบนรูปร่างที่ซับซ้อนและพื้นที่ขนาดใหญ่
ประสิทธิภาพ: กระบวนการนี้สามารถทำงานอัตโนมัติได้ในระดับสูง และเหมาะสำหรับการผลิตปริมาณสูง
ความเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม: การเคลือบสูญญากาศมักใช้สารเคมีน้อยกว่าและก่อให้เกิดขยะน้อยกว่าวิธีการเคลือบแบบอื่น

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว