TiN аввалин рӯйпӯши сахтест, ки дар асбобҳои буриш истифода мешавад, дорои афзалиятҳо ба монанди қувваи баланд, сахтии баланд ва муқовимат ба фарсуда. Ин аввалин маводи рӯйпӯши сахти саноатӣ ва васеъ истифодашаванда мебошад, ки дар асбобҳои пӯшида ва қолибҳои пӯшида ба таври васеъ истифода мешавад. Сарпӯши сахти TiN дар аввал бо технологияи гармидиҳии CVD дар 1000 ℃ гузошта шуд. Ҳоло онро дар ҳарорати 500 ℃ тавассути рӯйпӯши ионҳои катодӣ, қабати пошидани Магнетрон, рӯйпӯши ионҳои катодӣ, рӯйпӯши ионҳои сими гарм, PECVD ва технологияҳои дигар ба даст овардан мумкин аст. Ин рӯйпӯш муддати тӯлонӣ дар коркарди рӯизаминии металлӣ ва истеҳсоли қолаби асбобҳо ва қолибҳои пӯлоди баландсуръат истифода мешавад. Гузоштани TiN дар ҳарорати 500 ℃ пешрав дар таҳшин кардани асбобҳои буридан бо истифода аз технологияи пӯшонидани ионҳо мусоидат мекунад. Дар ин замина барои қонеъ кардани ниёзҳои рушди саноати коркарди баландсифат рӯйпӯшҳои сахти дорои ҷузъҳои гуногун таҳия карда шудаанд: қабатҳои сахт бо сахтгии оддӣ, бинарӣ, семоҳавӣ ва чорумӣ дар асоси нитридҳо ва карбидҳо дар асоси TiN, инчунин рӯйпӯшҳои наносахт дар асоси ин рӯйпӯшҳои сахт, инчунин қабатҳои сахти ультраҳарӣ таҳия карда шуданд.
Нишондиҳандаи асосии кори рӯйпӯшҳои сахт сахтӣ мебошад. Аз рӯи сахтии рӯйпӯшҳо, рӯйпӯшҳои сахтро ба се намуд тақсим кардан мумкин аст: рӯйпӯшҳои сахти муқаррарӣ, рӯйпӯшҳои нано сахти нано ва рӯйпӯшҳои сахти дохилӣ/ниҳоят сахт, тавре ки дар ҷадвали зерин нишон дода шудааст.
- Ин мақоларо Гуандун Чжэнхуа нашр кардааст,истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшиши сахт.
Вақти фиристодан: июн-07-2023