வெட்டும் கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஆரம்பகால கடின பூச்சு TiN ஆகும், இதில் அதிக வலிமை, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு போன்ற நன்மைகள் உள்ளன. இது முதல் தொழில்மயமாக்கப்பட்ட மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் கடின பூச்சுப் பொருளாகும், இது பூசப்பட்ட கருவிகள் மற்றும் பூசப்பட்ட அச்சுகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. TiN கடின பூச்சு ஆரம்பத்தில் வெப்ப CVD தொழில்நுட்பத்தால் 1000 ℃ இல் டெபாசிட் செய்யப்பட்டது. இப்போது இதை 500 ℃ இல் கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு, ஹாலோ கேத்தோடு அயன் பூச்சு, ஹாட் வயர் ஆர்க் அயன் பூச்சு, PECVD மற்றும் பிற தொழில்நுட்பங்கள் மூலம் பெறலாம். இந்த பூச்சு நீண்ட காலமாக மேற்பரப்பு கடினப்படுத்துதல் உலோகப் பொருள் செயலாக்கம் மற்றும் அதிவேக எஃகு உருவாக்கும் கருவிகள் மற்றும் அச்சுகளின் அச்சு உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. 500 ℃ இல் TiN ஐ வைப்பது அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி பூசப்பட்ட வெட்டும் கருவிகளின் படிவுக்கு முன்னோடியாக உள்ளது. உயர்நிலை செயலாக்கத் தொழில் வளர்ச்சியின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக பல்வேறு கூறுகளைக் கொண்ட பல்வேறு கடின பூச்சுகள் இந்த அடிப்படையில் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன: நைட்ரைடுகள் மற்றும் கார்பைடுகளை அடிப்படையாகக் கொண்ட பைனரி, டெர்னரி மற்றும் குவாட்டர்னரி சாதாரண கடினத்தன்மை கொண்ட கடின பூச்சுகள் TiN இன் அடிப்படையில் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன, அதே போல் இந்த கடின பூச்சுகளை அடிப்படையாகக் கொண்ட சூப்பர்ஹார்ட் நானோ பூச்சுகளும், அல்ட்ரா-ஹை கடினத்தன்மை கொண்ட உள்ளார்ந்த சூப்பர்ஹார்ட் பூச்சுகளும் உருவாக்கப்பட்டுள்ளன.
கடின பூச்சுகளின் முக்கிய செயல்திறன் குறிகாட்டி கடினத்தன்மை ஆகும். பூச்சு கடினத்தன்மையின் படி, கடினமான பூச்சுகளை மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: சாதாரண கடின பூச்சுகள், சூப்பர்ஹார்ட் நானோ பூச்சுகள் மற்றும் உள்ளார்ந்த சூப்பர்ஹார்ட்/மிகவும் கடினமான பூச்சுகள், பின்வரும் அட்டவணையில் காட்டப்பட்டுள்ளன.
– இந்தக் கட்டுரை குவாங்டாங் ஜென்ஹுவாவால் வெளியிடப்பட்டது,கடின பூச்சு இயந்திரங்களின் உற்பத்தியாளர்.
இடுகை நேரம்: ஜூன்-07-2023