Vacuum magnetron sputtering e loketse ka ho khetheha bakeng sa liphahlo tse sebetsang tsa deposition. Ebile, ts'ebetso ena e ka kenya lifilimi tse tšesaane tsa oxide efe kapa efe, carbide le lisebelisoa tsa nitride. Ho phaella moo, ts'ebetso ena e boetse e loketse ka ho khetheha bakeng sa ho behoa ha mehaho ea lifilimi tse ngata, ho kenyelletsa le meralo ea optical, lifilimi tsa mebala, liphahlo tse sa senyeheng, li-nano-laminates, liphahlo tsa superlattice, lifilimi tse sireletsang, joalo-joalo Ho tloha ka 1970, mehlala ea boemo bo phahameng ba filimi ea optical e 'nile ea ntlafatsoa bakeng sa mefuta e sa tšoaneng ea lisebelisoa tsa filimi ea optical. Lisebelisoa tsena li kenyelletsa thepa e tsamaisang pepeneneng, li-semiconductors, li-polymers, oxides, carbides le nitrides, ha fluoride e sebelisoa lits'ebetsong tse kang ho roala mouoane.
Monyetla o ka sehloohong oa ts'ebetso ea magnetron sputtering ke ho sebelisa mekhoa ea ho roala e sebetsang kapa e sa sebetseng ho kenya likarolo tsa lisebelisoa tsena le ho laola hantle sebopeho sa lera, botenya ba filimi, ho tšoana ha filimi le thepa ea mochine. Mokhoa ona o na le litšobotsi tse latelang.
1. Sekhahla se seholo sa deposition. Ka lebaka la ts'ebeliso ea li-electrode tsa magnetron tse lebelo le phahameng, ho ka fumanoa phallo e kholo ea ion, e ntlafatsang sekhahla sa deposition le sekhahla sa sputtering sa mokhoa ona oa ho roala. Ha ho bapisoa le mekhoa e meng ea ho roala ha sputtering, magnetron sputtering e na le bokhoni bo phahameng le chai e ngata, 'me e sebelisoa haholo lihlahisoa tse sa tšoaneng tsa indasteri.
2. Matla a phahameng a matla. Magnetron sputtering target ka kakaretso e khetha motlakase o ka har'a 200V-1000V, hangata ke 600V, hobane voltage ea 600V e ka har'a mefuta e phahameng ka ho fetisisa ea matla a matla.
3. Matla a fokolang a ho fafatsa. Magnetron target voltage e sebelisoa tlase, 'me matla a khoheli a koalla plasma haufi le cathode, e thibelang likaroloana tse phahameng tsa matla hore li se ke tsa qala ho substrate.
4, Mocheso o tlase oa substrate. Anode e ka sebelisoa ho tataisa lielektrone tse hlahisitsoeng nakong ea ho qhala, ha ho hlokahale hore tšehetso ea substrate e phethe, e ka fokotsang ka katleho bombardment ea elektronike ea substrate. Ka hona mocheso oa substrate o tlase, o loketseng haholo bakeng sa likaroloana tse ling tsa polasetiki tse sa hanyetsaneng haholo le ho roala mocheso o phahameng.
5, Magnetron sputtering target surface etching ha e tšoane. Magnetron sputtering target etching surface etching e bakoa ke matla a khoheli a sa lekaneng a sepheo. Sebaka sa sekhahla sa ho ts'oaroa ha sepheo se seholo, e le hore sekhahla sa ts'ebeliso e sebetsang ea sepheo se be tlase (ke 20-30% feela ea tšebeliso). Ka hona, ho ntlafatsa ts'ebeliso ea sepheo, kabo ea matla a khoheli e hloka ho fetoloa ka mekhoa e itseng, kapa ts'ebeliso ea limakete tse tsamaeang ka har'a cathode le eona e ka ntlafatsa ts'ebeliso ea sepheo.
6. Sepheo sa motsoako. E ka etsa filimi e kopantsoeng ea ho roala filimi ea motsoako. Hajoale, tšebeliso ea composite magnetron target sputtering process e koetsoe ka katleho ho Ta-Ti alloy, (Tb-Dy) -Fe le Gb-Co alloy film. Mohaho o kopaneng o na le mefuta e mene, ka tatellano, ke sepheo se pota-potileng, sepheo sa lisekoere tse kentsoeng, sepheo sa lisekoere tse nyane le tse kenyellelitsoeng lekala. Tšebeliso ea sebopeho sa sepheo sa lekala se betere.
7. Mefuta e mengata ea lisebelisoa. Magnetron sputtering process e ka kenya lintho tse ngata, tse tloaelehileng ke: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO, joalo-joalo.
Magnetron sputtering ke e 'ngoe ea mekhoa ea ho roala e sebelisoang haholo ho fumana lifilimi tsa boleng bo holimo. Ka cathode e ncha, e na le ts'ebeliso e phahameng ea sepheo le sekhahla se phahameng sa deposition. Guangdong Zhenhua Technology vacuum magnetron sputtering coating process e se e sebelisoa haholo ho koahela li-substrates tsa sebaka se seholo. Ts'ebetso ha e sebelisoe feela bakeng sa ho beha filimi ea lera le le leng, empa hape le bakeng sa ho roala lifilimi tse ngata, ho feta moo, e boetse e sebelisoa moqolong oa ho roala mokhoa oa ho paka filimi, filimi ea optical, lamination le ho roala lifilimi tse ling.
Nako ea poso: May-31-2024