Tlhahlobo ea Tekheniki ho tsoa ho Maikutlo a Ts'ebetso le Lisebelisoa
Seteishene sa arc sa Cathodicn e tsebahala haholo e le theknoloji ea PVD e nang le ionization e phahameng e khonang ho hlahisa lipente tse teteaneng, tse khomarelang ka matla le tse thata haholo.
Motheong oa ts'ebetso ena ho na le plasma e ikhethang e hlahisoang ke ho ntšoa ha arc ea cathodic, eo litšobotsi tsa eona li e khethollang ho sputtering ea magnetron le mekhoa e meng ea PVD.
Ho utloisisa boitšoaro ba plasma litsamaisong tsa arc ea cathodic ho bohlokoa bakeng sa ho laola sebopeho sa ho koahela, ts'ebetso, le botsitso ba ts'ebetso ea nako e telele.
1. Tšimoloho ea Cathodic Arc Plasma
Ho kenngwa ha arc ea cathodic, plasma e hlahisoa libakeng tse nyenyane tsa cathode tse entsoeng holim'a sebaka se reriloeng ha ho qalisoa ho ntšoa ha arc ea motlakase o phahameng, e nang le motlakase o tlase.
Likarolo tsa bohlokoa tsa libaka tsa cathode li kenyelletsa:
1. Bongata bo phahameng haholo ba hona joale ba lehae (10⁶–10⁸ A/cm²)
2.Mocheso o phahameng haholo oa sebakeng seo
3. Ho fetoha ha mouoane ka potlako ha thepa ea cathode
Ts'ebetso ena e hlahisa plasma e nang le boholo ba thepa e reretsoeng e nang le ioni, ho fapana le liathomo tse sa nke lehlakore.
2. Tekanyo e Phahameng ea Ionization: Tšobotsi e Hlalosang
E 'ngoe ea litšobotsi tsa bohlokoa ka ho fetisisa tsa plasma ea arc ea cathodic ke karolo ea eona e phahameng haholo ea ionization.
Sekhahla sa ionization sa mefuta ea tšepe se ka feta 70–90% 'me Karolo e kholo ea li-ion e tjhajwa hangata (M²⁺, M³⁺)
Boemo bona bo phahameng ba ionization bo nolofalletsa:
1. Likamano tse matla tsa ion-substrate
2. Ho matlafatsa ho tenyetseha ha filimi
3. Ho khomarela ho phahameng ka ho fetisisa esita le mochesong o tlase oa substrate
Ho ea ka pono ea boenjiniere, ionization e phahameng e fana ka fensetere e pharaletseng le e matla ea ts'ebetso, haholo-holo bakeng sa lipente tse thata le tse sireletsang.
3. Matla a Phahameng a Ion le Tataiso
Plasma ea arc ea cathodic e bontša matla a phahameng a ioni a ka hare, hangata a tloha ho mashome a 'maloa ho isa ho li-volts tse fetang lekholo tsa lielektrone.
Liphello tsa plasma ena e matla li kenyelletsa:
1. Ho kenya tshebetsong le ho hlwekisa bokahodimo ka katleho
2. Ho eketseha ha motsamao oa adatom holim'a substrate
3. Ho thehoa ha dibopeho tsa filimi tse teteaneng, tse nang le dimela tse nyane kapa tse se nang sebopeho
Ha e kopantsoe le ho khetholla ha substrate, matla a ioni a ka lokisetsoa ho leka-lekana hantle:
1. Ho teteana ha filimi
2. Taolo ea khatello ea maikutlo e setseng
3. Ho khomarela ho koahela
Ho laola hona ke monyetla o moholo oa litsamaiso tsa arc tsa cathodic lits'ebetsong tsa indasteri.
4. Boima ba Plasma le Litšobotsi tsa Lipalangoang
Ha ho bapisoa le plasma tse ling tsa PVD, plasma ea arc ea cathodic e bontša:
1. Bongata bo phahameng haholo ba plasma
2. Katoloso e matla ea plasma e itsamaisang ho tloha sebakeng sa cathode
Tsamaiso ea plasma e susumetsoa ke: Motlakase oa Arc; Masimo a ho tsamaisa a makenete; Jeometri ea kamore;
Tataiso e nepahetseng ea plasma e netefatsa: Botenya ba ho roala bo tšoanang; Sekhahla se tsitsitseng sa ho boloka; Litšobotsi tse tsitsitseng tsa ho roala lihlopheng tsohle
5. Macroparticles: Phephetso ea Plasma ea Tlhaho
Tšobotsi e ikhethang ea plasma ea arc ea cathodic ke tlhahiso ea macroparticles (marotholi) ka nako e le 'ngoe.
Likaroloana tsena tse qhibilihisitsoeng kapa tse tiileng li simoloha ho: Ho ntšoa ha thepa e phatlohang libakeng tsa cathode; Macroparticles li ka ama hampe:; Ho ba thata ha bokaholimo; Boleng ba mahlo; Tshebetso ea tribological
Ho sebetsana le sena, litsamaiso tsa indasteri hangata li kopanya:
Mekhoa ea plasma ea arc e sefiloeng ea makenete kapa ea mofuta oa duct
Mekhoa e ntlafalitsoeng ea ho tsamaisa sebaka sa cathode
Theknoloji ea arc e sefiloeng e lumella ho boloka melemo e phahameng ea ionization ha ka nako e ts'oanang e fokotsa tšilafalo ea likaroloana haholo.
–Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Pherekhong-12-2026