ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ

ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਉਪਕਰਣ ਦ੍ਰਿਸ਼ਟੀਕੋਣਾਂ ਤੋਂ ਇੱਕ ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਡਿਪਾਜ਼ਿਟੀਓn ਨੂੰ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਆਇਨੀਕਰਨ PVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਵਜੋਂ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਾਨਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਹੈ ਜੋ ਸੰਘਣੀ, ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਜੁੜੀ ਹੋਈ, ਅਤੇ ਅਤਿ-ਸਖਤ ਕੋਟਿੰਗ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਦੇ ਸਮਰੱਥ ਹੈ।
ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮੂਲ ਵਿੱਚ ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਵਿਲੱਖਣ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਇਸਨੂੰ ਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਹੋਰ ਪੀਵੀਡੀ ਤਕਨੀਕਾਂ ਤੋਂ ਬੁਨਿਆਦੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੱਖ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਵਹਾਰ ਨੂੰ ਸਮਝਣਾ ਕੋਟਿੰਗ ਬਣਤਰ, ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।

1. ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਉਤਪਤੀ

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਵਿੱਚ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬਣੇ ਸੂਖਮ ਕੈਥੋਡ ਸਥਾਨਾਂ 'ਤੇ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜਦੋਂ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਕਰੰਟ, ਘੱਟ-ਵੋਲਟੇਜ ਆਰਕ ਡਿਸਚਾਰਜ ਸ਼ੁਰੂ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਕੈਥੋਡ ਸਪੌਟਸ ਦੀਆਂ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

1. ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਥਾਨਕ ਕਰੰਟ ਘਣਤਾ (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸਥਾਨਿਕ ਤਾਪਮਾਨ

3. ਕੈਥੋਡ ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਵਿਸਫੋਟਕ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ

ਇਹ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੱਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਟਾਰਗੇਟ ਸਮੱਗਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਨਾ ਕਿ ਨਿਰਪੱਖ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ।

2. ਉੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਡਿਗਰੀ: ਇੱਕ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀਆਂ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਇਸਦਾ ਬਹੁਤ ਉੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਫਰੈਕਸ਼ਨ ਹੈ।

ਧਾਤੂ ਪ੍ਰਜਾਤੀਆਂ ਦੀ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਰ 70-90% ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਵੱਡਾ ਅਨੁਪਾਤ ਗੁਣਾ ਚਾਰਜ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ (M²⁺, M³⁺)

ਇਹ ਉੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪੱਧਰ ਯੋਗ ਕਰਦਾ ਹੈ:

1. ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਆਇਨ-ਸਬਸਟਰੇਟ ਪਰਸਪਰ ਪ੍ਰਭਾਵ

2. ਵਧੀ ਹੋਈ ਫਿਲਮ ਘਣਤਾ

3. ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਘੱਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਵੀ ਉੱਤਮ ਕੋਟਿੰਗ ਅਡੈਸ਼ਨ

ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਦੇ ਦ੍ਰਿਸ਼ਟੀਕੋਣ ਤੋਂ, ਉੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੰਡੋ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਸਖ਼ਤ ਅਤੇ ਸੁਰੱਖਿਆਤਮਕ ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਲਈ।

3. ਉੱਚ ਆਇਨ ਊਰਜਾ ਅਤੇ ਦਿਸ਼ਾ-ਨਿਰਦੇਸ਼

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਉੱਚ ਅੰਦਰੂਨੀ ਆਇਨ ਊਰਜਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕਈ ਦਸਾਂ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਸੌ ਤੋਂ ਵੱਧ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਵੋਲਟ ਤੱਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਇਸ ਊਰਜਾਵਾਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

1. ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਸਤਹ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲਤਾ ਅਤੇ ਸਫਾਈ

2. ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਐਡਾਟਮ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ

3. ਸੰਘਣੀ, ਬਰੀਕ-ਦਾਣੇਦਾਰ ਜਾਂ ਅਮੋਰਫਸ ਫਿਲਮ ਬਣਤਰਾਂ ਦਾ ਗਠਨ

ਜਦੋਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਬਾਈਸਿੰਗ ਨਾਲ ਜੋੜਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਆਇਨ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਸੰਤੁਲਨ ਲਈ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ:

1. ਫਿਲਮ ਘਣਤਾ

2. ਬਾਕੀ ਬਚੇ ਤਣਾਅ ਨਿਯੰਤਰਣ

3. ਕੋਟਿੰਗ ਅਡੈਸ਼ਨ

ਇਹ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ ਉਦਯੋਗਿਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦਾ ਇੱਕ ਵੱਡਾ ਫਾਇਦਾ ਹੈ।

4. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਆਵਾਜਾਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ

ਹੋਰ PVD ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ:

1. ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ

2. ਕੈਥੋਡ ਸਪਾਟ ਤੋਂ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਸਵੈ-ਚਾਲਿਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸਥਾਰ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ ਇਹਨਾਂ ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ: ਚਾਪ ਕਰੰਟ; ਚੁੰਬਕੀ ਸਟੀਅਰਿੰਗ ਫੀਲਡ; ਚੈਂਬਰ ਜਿਓਮੈਟਰੀ;

ਸਹੀ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਮਾਰਗਦਰਸ਼ਨ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ: ਇਕਸਾਰ ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ; ਸਥਿਰ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦਰ; ਬੈਚਾਂ ਵਿੱਚ ਇਕਸਾਰ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ

5. ਮੈਕਰੋਪਾਰਟੀਕਲ: ਇੱਕ ਅੰਦਰੂਨੀ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਚੁਣੌਤੀ

ਕੈਥੋਡਿਕ ਆਰਕ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਲੱਖਣ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਮੈਕਰੋਪਾਰਟੀਕਲ (ਬੂੰਦਾਂ) ਦਾ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਪੈਦਾ ਹੋਣਾ ਹੈ।

ਇਹ ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ ਜਾਂ ਠੋਸ ਕਣ ਇਹਨਾਂ ਤੋਂ ਉਤਪੰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ: ਕੈਥੋਡ ਥਾਵਾਂ 'ਤੇ ਵਿਸਫੋਟਕ ਪਦਾਰਥ ਦਾ ਨਿਕਾਸ; ਮੈਕਰੋਕਣ ਇਸ 'ਤੇ ਬੁਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾ ਸਕਦੇ ਹਨ:; ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ; ਆਪਟੀਕਲ ਗੁਣਵੱਤਾ; ਟ੍ਰਾਈਬੋਲੋਜੀਕਲ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ

ਇਸ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਲਈ, ਉਦਯੋਗਿਕ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ:

ਚੁੰਬਕੀ ਜਾਂ ਡਕਟ-ਕਿਸਮ ਦੇ ਫਿਲਟਰ ਕੀਤੇ ਚਾਪ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਿਸਟਮ

ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੈਥੋਡ ਸਪਾਟ ਸਟੀਅਰਿੰਗ ਵਿਧੀਆਂ

ਫਿਲਟਰਡ ਆਰਕ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਕਣਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹੋਏ ਉੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਾਭਾਂ ਨੂੰ ਬਰਕਰਾਰ ਰੱਖਣ ਦੀ ਆਗਿਆ ਦਿੰਦੀ ਹੈ।

- ਇਹ ਲੇਖ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣਨਿਰਮਾਤਾ ਜ਼ੇਨਹੂਆ ਵੈਕਿਊਮ