Falanqayn Farsamo oo laga soo qaatay Aragtida Habka iyo Qalabka
Kaydka qaansada Kathodicn waxaa si weyn loogu aqoonsaday tignoolajiyada PVD-ga sare ee ionization oo awood u leh inay soo saarto dahaadh cufan, si adag u dheggan, oo aad u adag.
Xudunta habkan waxaa ku jira balaasmaha gaarka ah ee ay soo saaraan dheecaannada qaansada ee katooliga, kuwaas oo astaamahooda si aasaasi ah uga soocaya xoqidda magnetron iyo farsamooyinka kale ee PVD.
Fahmidda dhaqanka balaasmaha ee nidaamyada qaansada cathodic waa lama huraan si loo xakameeyo qaab-dhismeedka dahaarka, waxqabadka, iyo xasilloonida habka muddada-dheer.
1. Asalka Balaasmaha Cathodic Arc
Marka la eego dhigista qaansada cathodic, balaasmaha waxaa laga sameeyaa meelaha cathode-ka ee yar yar ee laga sameeyay dusha sare ee bartilmaameedka ah marka la bilaabo dheecaan qaansada oo koronto sare leh, danab hooseeya.
Astaamaha ugu muhiimsan ee dhibco cathode ah waxaa ka mid ah:
1. Cufnaanta hadda deegaanka oo aad u sarreysa (10⁶–10⁸ A/cm²)
2. Heerkulka deegaanka oo aad u sarreeya
3. Uumi-baxa degdegga ah ee walxaha kathode-ka
Hawshani waxay soo saartaa balaasma ka kooban inta badan walxaha bartilmaameedka ah ee ionized, halkii ay ka ahaan lahaayeen atomyo dhexdhexaad ah.
2. Shahaadada Ionization-ka Sare: Astaamo Qeexan
Mid ka mid ah sifooyinka ugu muhiimsan ee plasma-ka cathodic arc waa jajabkeeda ionization-ka ee aadka u sarreeya.
Heerarka Ionization ee noocyada birta ah waxay ka badnaan karaan 70-90%, Qayb weyn oo Ion ah ayaa lagu dhuftaa dallac (M²⁺, M³⁺)
Heerkan ionization-ka sare wuxuu awood u siinayaa:
1. Isdhexgalka xooggan ee ion-substrate
2. Cufnaanta filimka oo la xoojiyay
3. Ku dhegga dahaarka sare xitaa heerkulka substrate-ka oo hooseeya
Marka laga eego dhinaca injineernimada, ionization-ka sare wuxuu bixiyaa daaqad geeddi-socod oo ballaaran oo adag, gaar ahaan dahaarka adag iyo ilaalinta.
3. Tamarta Sare ee Ion iyo Jihada
Balaasma-ka qaansada Cathodic wuxuu muujiyaa tamar ion gudaha ah oo sare, badanaa waxay u dhaxaysaa dhowr tobanaan ilaa in ka badan boqol volts oo elektaroonik ah.
Cawaaqibka ka dhasha balaasmaha tamarta leh waxaa ka mid ah:
1. Firfircooni iyo nadiifin dusha sare oo wax ku ool ah
2. Kordhinta dhaqdhaqaaqa aadanaha ee substrate-ka
3. Samaynta qaab-dhismeedyo filim cufan, jilicsan ama aan qaab lahayn
Marka lagu daro eexda substrate-ka, tamarta ion-ka waxaa si sax ah loogu habeyn karaa dheellitirka:
1. Cufnaanta filimka
2. Xakamaynta walbahaarka haraaga ah
3. Ku dhegga dahaarka
Xakamayntani waa faa'iido weyn oo nidaamyada qaansada cathodic ee codsiyada warshadaha.
4. Cufnaanta Balaasmaha iyo Astaamaha Gaadiidka
Marka la barbardhigo balaasmaha kale ee PVD, balaasmaha qaansada cathodic wuxuu muujiyaa:
1. Cufnaanta plasma-ga oo aad u sarreysa
2. Balaadhinta balaasmaha ee xooggan ee iskeed isu kaxaysa ee ka timaadda barta cathode-ka
Gaadiidka Balaasmaha waxaa saameeya: Current-ka Arc; Meelaha isteerinka birlabta; Joomatari qolka;
Tilmaamaha saxda ah ee balaasmaha ayaa hubiya: Dhumucda dahaarka oo isku mid ah; Heerarka dhigaalka oo deggan; Sifooyinka dahaarka oo joogto ah oo ku baahsan dufcadaha
5. Qaybaha yaryar: Caqabad ku saabsan Balaasmaha la iska dhaxlo
Astaamo gaar ah oo ka mid ah balaasmaha qaansada cathodic waa soo saarista isku mar ee macroparticles (dhibco).
Walxahaan dhalaalay ama adag waxay ka yimaadaan: Walxaha qarxa ee ka soo baxa meelaha katooliga; Qaybaha yaryar waxay si xun u saameyn karaan:; qallafsanaanta dusha sare; Tayada indhaha; Waxqabadka Tribological
Si wax looga qabto tan, nidaamyada warshaduhu waxay si caadi ah isugu daraan:
Nidaamyada plasma-ga ee la sifeeyay ee nooca birlabta ah ama tuubada
Hababka isteerinka booska cathode ee la hagaajiyay
Tiknoolajiyada qaansada ee la sifeeyay waxay u oggolaanaysaa ilaalinta faa'iidooyinka ionization-ka sare iyadoo si weyn u yareynaysa wasakhowga walxaha.
–Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Jan-12-2026