በካቶዲክ ቅስት አቀማመጥ ውስጥ የፕላዝማ ባህሪያት

ከሂደት እና ከመሳሪያዎች እይታዎች የቴክኒክ ትንተና

የካቶዲክ ቅስት ማከማቻn ጥቅጥቅ ያሉ፣ ጠንካራ የሚጣበቁ እና እጅግ በጣም ጠንካራ ሽፋኖችን ለማምረት የሚያስችል ከፍተኛ-አዮኒዜሽን PVD ቴክኖሎጂ እንደሆነ በሰፊው ይታወቃል።
የዚህ ሂደት ዋና አካል በካቶዲክ ቅስት ፈሳሾች የሚመነጨው ልዩ ፕላዝማ ሲሆን ባህሪያቱ ከማግኔትሮን ስፑተርንግ እና ከሌሎች የ PVD ቴክኒኮች በመሠረታዊነት ይለያሉ።

በካቶዲክ ቅስት ስርዓቶች ውስጥ ያለውን የፕላዝማ ባህሪ መረዳት የሽፋን መዋቅርን፣ አፈጻጸምን እና የረጅም ጊዜ የሂደት መረጋጋትን ለመቆጣጠር አስፈላጊ ነው።

1. የካቶዲክ አርክ ፕላዝማ አመጣጥ

በካቶዲክ ቅስት ክምችት ውስጥ፣ ፕላዝማ የሚፈጠረው ከፍተኛ-ጅረት፣ ዝቅተኛ-ቮልቴጅ ቅስት ፈሳሽ ሲጀመር በዒላማው ወለል ላይ በተፈጠሩ ጥቃቅን የካቶድ ቦታዎች ላይ ነው።

የካቶድ ነጠብጣቦች ዋና ዋና ባህሪያት የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. እጅግ በጣም ከፍተኛ የአካባቢው የጅረት ጥግግት (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. እጅግ በጣም ከፍተኛ የአካባቢ ሙቀት

3. የካቶድ ቁሳቁስ ፈጣን ፈንጂ ትነት

ይህ ሂደት በአብዛኛው ገለልተኛ አቶሞችን ሳይሆን አዮናውያንን ያካተተ ፕላዝማ ያመነጫል።

2. ከፍተኛ የአዮናይዝድ ዲግሪ፡- ገላጭ ባህሪ

የካቶዲክ ቅስት ፕላዝማ በጣም አስፈላጊ ከሆኑት ባህሪያት አንዱ እጅግ በጣም ከፍተኛ የሆነ የአዮኒዜሽን ክፍልፋይ ነው።

የብረት ዝርያዎች የአዮናይዝድ መጠን ከ70-90% ሊበልጥ ይችላል እና ከፍተኛ መጠን ያላቸው አዮኖች ተባዝተው ይሞላሉ (M²⁺፣ M³⁺)

ይህ ከፍተኛ የአዮኒዜሽን ደረጃ የሚከተሉትን ያስችላል፦

1. ጠንካራ የአዮን-ንዑስ-ንዑስ-ንዑስ-መስተጋብሮች

2. የተሻሻለ የፊልም ጥግግት

3. በአንጻራዊ ሁኔታ ዝቅተኛ በሆነ የንጣፍ ሙቀት ውስጥ እንኳን የላቀ የሽፋን ማጣበቂያ

ከምህንድስና አንፃር፣ ከፍተኛ አዮኒዜሽን በተለይ ለጠንካራ እና ለጥበቃ ሽፋኖች ሰፊ እና ጠንካራ የሂደት መስኮት ይሰጣል።

3. ከፍተኛ አዮን ኃይል እና አቅጣጫ

የካቶዲክ ቅስት ፕላዝማ ከፍተኛ ውስጣዊ የአዮን ኃይል ያሳያል፣ በተለምዶ ከብዙ አስር እስከ ከአንድ መቶ በላይ የኤሌክትሮን ቮልት ይደርሳል።

የዚህ ኃይለኛ ፕላዝማ ውጤቶች የሚከተሉትን ያካትታሉ:

1. ውጤታማ የወለል ማግበር እና ጽዳት

2. በንጥረ ነገሩ ላይ የአዳቶም ተንቀሳቃሽነት መጨመር

3. ጥቅጥቅ ያሉ፣ ጥቃቅን ወይም አሞርፎስ የፊልም መዋቅሮች መፈጠር

ከንጥረ ነገር አድልዎ ጋር ሲጣመር፣ የአዮን ኃይል በትክክል ሚዛን ለመጠበቅ ሊስተካከል ይችላል፡

1. የፊልም ጥግግት

2. የተረፈ የጭንቀት ቁጥጥር

3. የሽፋን ማጣበቂያ

ይህ የቁጥጥር አቅም በኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የካቶዲክ ቅስት ስርዓቶች ዋና ጥቅም ነው።

4. የፕላዝማ ጥግግት እና የትራንስፖርት ባህሪያት

ከሌሎች የPVD ፕላዝማዎች ጋር ሲነጻጸር፣ የካቶዲክ ቅስት ፕላዝማ የሚከተሉትን ያሳያል፦

1. እጅግ በጣም ከፍተኛ የፕላዝማ ጥግግት

2. ከካቶድ ቦታ ጠንካራ በራስ የሚመራ የፕላዝማ መስፋፋት

የፕላዝማ ትራንስፖርት በሚከተሉት ተጽዕኖዎች ተጽዕኖ ያሳድራል፦ አርክ ጅረት፤ ማግኔቲክ ስቲሪንግ ሜዳዎች፤ የቻምበር ጂኦሜትሪ፤

ትክክለኛ የፕላዝማ መመሪያ የሚከተሉትን ያረጋግጣል፦ ወጥ የሆነ የሽፋን ውፍረት፤ የተረጋጋ የማስቀመጫ መጠን፤ በተለያዩ ቡድኖች ውስጥ ወጥ የሆነ የሽፋን ባህሪያት

5. ማክሮፓርቲክሎች፡- ተፈጥሯዊ የፕላዝማ ፈተና

የካቶዲክ ቅስት ፕላዝማ ልዩ ገጽታ ማክሮፓርቲክሎች (ጠብታዎች) በአንድ ጊዜ መፈጠር ነው።

እነዚህ የቀለጡ ወይም ጠጣር ቅንጣቶች የሚመጡት ከሚከተሉት ነው፡- በካቶድ ቦታዎች ላይ የሚፈነዳ ቁሳቁስ ማውጣት፤ ማክሮፓርቲክሎች አሉታዊ ተጽዕኖ ሊያሳድሩ ይችላሉ፡፤ የገጽታ ሸካራነት፤ የኦፕቲካል ጥራት፤ የትሪቦሎጂካል አፈጻጸም

ይህንን ለመፍታት የኢንዱስትሪ ስርዓቶች በተለምዶ የሚከተሉትን ያዋህዳሉ፡

መግነጢሳዊ ወይም ቱቦ-አይነት የተጣሩ የአርክ ፕላዝማ ስርዓቶች

የተመቻቹ የካቶድ ቦታ መሪ ዘዴዎች

የተጣራ ቅስት ቴክኖሎጂ ከፍተኛ የአዮኒዜሽን ጥቅሞችን ለማቆየት ያስችላል፣ ነገር ግን የቅንጣት ብክለትን በእጅጉ ይቀንሳል።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎችአምራች ዜንሁዋ ቫክዩም