Tongasoa eto amin'ny Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
sora-baventy tokana

Toetran'ny plasma ao amin'ny fametrahana ny Arc katodika

Loharanon'ny lahatsoratra: Zhenhua vacuum
Vakiana: 10
Navoaka: 26-01-12

Famakafakana ara-teknika avy amin'ny fomba fijery ny dingana sy ny fitaovana

Fametrahana arko katodikaNy n dia fantatra betsaka ho teknolojia PVD misy ionisation avo lenta izay afaka mamokatra coatings matevina, miraikitra mafy ary tena mafy.
Ao anatin'ity dingana ity no misy ny plasma miavaka ateraky ny fivoahan'ny arc cathodic, izay ny toetrany no mampiavaka azy amin'ny magnetron sputtering sy ny teknika PVD hafa.

Ny fahatakarana ny fihetsiky ny plasma ao amin'ny rafitra arc katôdika dia tena ilaina amin'ny fanaraha-maso ny rafitry ny coating, ny fahombiazana ary ny fahamarinan'ny dingana maharitra.

1. Fiandohan'ny plasma Arc Cathodic

Ao amin'ny fametrahana arko katôdika, dia miteraka plasma eo amin'ireo teboka katôdika mikroskopika miforona eo amin'ny velaran'ny kendrena rehefa atomboka ny fivoahan'ny arko misy herinaratra avo lenta sy voltazy ambany.

Ireo toetra mampiavaka ny teboka katôda dia ahitana:

1. Hakitry ny herinaratra eo an-toerana avo dia avo (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. Hafanana eo an-toerana avo dia avo

3. Fipoahana haingana amin'ny akora katôda

Ity dingana ity dia mamokatra plasma izay ahitana indrindra indrindra akora kendrena misy ionina, fa tsy atôma tsy miandany.

2. Ambaratonga ionisasiona avo lenta: Toetra mampiavaka azy

Ny iray amin'ireo toetra mampiavaka ny plasma arc katôdika dia ny ampahany ionization avo lenta ananany.

Mety hihoatra ny 70–90% ny tahan'ny ionisation an'ny karazana metaly ary ampahany betsaka amin'ny ion no misy fiampangana maro (M²⁺, M³⁺)

Ity haavon'ny ionisation avo lenta ity dia ahafahana:

1. Fifandraisana matanjaka eo amin'ny ion sy ny substrate

2. Fanamafisana ny hamafin'ny sarimihetsika

3. Firaiketan'ny coating tsara kokoa na dia amin'ny mari-pana ambany aza

Raha amin'ny lafiny injeniera, ny ionisation avo dia manome fotoana malalaka sy matanjaka amin'ny fizotran'ny asa, indrindra ho an'ny coatings mafy sy miaro.

3. Angovo Iôna sy Fitarihana Avo

Ny plasma arc katodika dia mampiseho angovo iôna anatiny avo lenta, mazàna manomboka amin'ny am-polony maro ka hatramin'ny zato mahery ny elektrôna volts.

Ireto avy ny voka-dratsin'ity plasma angovo ity:

1. Fampandehanana sy fanadiovana mahomby ny ety ambonin'ny tany

2. Fitomboan'ny fivezivezen'ny adatom eo amin'ny substrate

3. Fiforonan'ny rafitra sarimihetsika matevina, madinika na tsy misy endrika

Rehefa ampiarahina amin'ny substrate biasing, dia azo ampifanarahana tsara amin'ny fandanjana ny angovon'ny ion:

1. Famatrarana sarimihetsika

2. Fanaraha-maso ny adin-tsaina sisa tavela

3. Firaikitra amin'ny coating

Tombony lehibe amin'ny rafitra arka katôdika amin'ny fampiharana indostrialy io fahaiza-mifehy io.

4. Hakitry ny plasma sy ny toetran'ny fitaterana

Raha ampitahaina amin'ny plasma PVD hafa, ny plasma arc cathodic dia mampiseho:

1. Haavo be ny hakitroky ny plasma

2. Fanitarana plasma mahery vaika avy amin'ny toerana katôda

Ny fitaterana plasma dia voataonan'ireto manaraka ireto: Ny fikorianan'ny Arc; Ny saha fitarihana andriamby; Ny jeometrika ao amin'ny efitrano;

Ny tari-dalana tsara amin'ny plasma dia miantoka: Ny hatevin'ny sosona mitovy; Ny tahan'ny fametrahana maharitra; Ny toetra mampiavaka ny sosona amin'ny andiany rehetra

5. Makropartikela: Fanamby Miraikitra amin'ny Plasma

Ny endri-javatra mampiavaka ny plasma arc cathodic dia ny famokarana macroparticles (droplets) miaraka.

Ireo poti-javatra mitsonika na mivaingana ireo dia avy amin'ny: Fipoahan'ny zavatra mipoaka amin'ny teboka katôda; Mety hisy fiantraikany ratsy amin'ny:; Faharatsian'ny velarana; Kalitao optika; Fahombiazan'ny tribolojika

Mba handaminana izany, ny rafitra indostrialy dia mazàna mampiditra:

Rafitra plasma arko voasivana karazana andriamby na fantsona

Mekanisma fitarihana katôda nohatsaraina

Ny teknolojia arc voasivana dia ahafahana mitazona ireo tombontsoa azo avy amin'ny ionisation avo lenta sady mampihena be ny fahalotoan'ny poti-javatra.

–Navoakan'nyfitaovana fanosotra bangampanamboatra Zhenhua Vacuum


Fotoana fandefasana: 12 Janoary 2026