Feartan Plasma ann an Tasgadh Arc Cathodic

Mion-sgrùdadh Teicnigeach bho Sheallaidhean Pròiseas is Uidheam

Tasgadh arc cathodicTha n air aithneachadh gu farsaing mar theicneòlas PVD àrd-ionization a tha comasach air còmhdach dùmhail, làidir greamachail, agus ultra-chruaidh a thoirt gu buil.
Aig cridhe a’ phròiseis seo tha am plasma sònraichte a thèid a chruthachadh le sgaoilidhean stuagh catodic, agus tha na feartan aige ga dhèanamh gu bunaiteach eadar-dhealaichte bho sputtering magnetron agus dòighean PVD eile.

Tha tuigse air giùlan plasma ann an siostaman arc cathodic deatamach airson smachd a chumail air structar còmhdaich, coileanadh agus seasmhachd pròiseas fad-ùine.

1. Tùs Plasma Arc Cathodic

Ann an tasgadh stuagh catodic, thèid plasma a chruthachadh aig spotan catod microscopach a chaidh a chruthachadh air uachdar an targaid nuair a thòisicheas sgaoileadh stuagh àrd-shruth, ìosal-bholtaids.

Seo cuid de na prìomh fheartan a tha aig spotan catod:

1. Dùmhlachd sruth ionadail air leth àrd (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. Teòthachd ionadail fìor àrd

3. Falmhachadh spreadhaidh luath de stuth catod

Bidh am pròiseas seo a’ toirt a-mach plasma anns a bheil sa mhòr-chuid stuth targaid ianichte, seach dadaman neodrach.

2. Ceum Àrd Ionachaidh: Feart Mìneachaidh

Is e aon de na feartan as cudromaiche de phlasma arc cathodic an ìre ianachaidh air leth àrd aige.

Faodaidh ìrean ianachaidh ghnèithean meatailt a bhith nas àirde na 70–90% agus tha cuibhreann mòr de na h-ianan ioma-luchdaichte (M²⁺, M³⁺)

Tha an ìre àrd ianachaidh seo a’ comasachadh:

1. Eadar-obrachadh làidir ian-substrate

2. Dlùthachadh film nas fheàrr

3. Greamachadh còmhdach nas fheàrr eadhon aig teòthachd ìosal an t-substrate

Bho shealladh innleadaireachd, tha ianachadh àrd a’ toirt seachad uinneag phròiseis fharsaing is làidir, gu sònraichte airson còmhdach cruaidh is dìona.

3. Lùth agus Treòrachadh Ian Àrd

Tha plasma arc cathodic a’ nochdadh lùth ian intreach àrd, mar as trice a’ dol bho grunn dheichean gu còrr air ceud bholt electron.

Seo cuid de na builean a tha aig a’ phlasma lùthmhor seo:

1. Gnìomhachadh agus glanadh uachdar èifeachdach

2. Gluasadachd adatom nas motha air an t-substrate

3. Cruthachadh structaran film dùmhail, mìn-ghràineach no neo-chruthach

Nuair a thèid a chur còmhla ri claonadh fo-strat, faodar lùth ian a dhealbhadh gu mionaideach gus cothromachadh a dhèanamh:

1. Dlùthachadh film

2. Smachd air cuideam fuigheallach

3. Greamachadh còmhdach

Tha an comas smachdachaidh seo na phrìomh bhuannachd a tha aig siostaman arc cathodic ann an tagraidhean gnìomhachais.

4. Dlùthsachd Plasma agus Feartan Còmhdhail

An coimeas ri plasmas PVD eile, tha plasma arc cathodic a’ nochdadh:

1. Dùmhlachd plasma air leth àrd

2. Leudachadh plasma làidir fèin-stiùirichte bhon àite catod

Tha buaidh aig: sruth arc; raointean stiùiridh magnetach; geoimeatraidh an t-seòmair;

Nì stiùireadh ceart plasma cinnteach à: Tiughas còmhdach aonfhoirmeil; Ìrean tasgadh seasmhach; Feartan còmhdach cunbhalach thar bhaidsean

5. Macroparticles: Dùbhlan Plasma Inherent

Is e feart sònraichte de phlasma arc cathodic gineadh macroparticles (boinneagan) aig an aon àm.

Tha na mìrean leaghte no cruaidh seo a’ tighinn bho: Stuth spreadhaidh air a thilgeil a-mach aig spotan catod; Faodaidh macr-mhìrean droch bhuaidh a thoirt air:; Garbhachd uachdar; Càileachd optigeach; Coileanadh tribological

Gus dèiligeadh ris an seo, bidh siostaman gnìomhachais gu tric ag amalachadh:

Siostaman plasma arc sìolaichte magnetach no seòrsa duct

Innealan stiùiridh spot catod air an leasachadh

Leigidh teicneòlas stuagh sìolaichte le buannachdan àrd-ianachaidh a chumail suas agus aig an aon àm a’ lughdachadh truailleadh mìrean gu mòr.

–Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh leuidheam còmhdach falamhneach-dèanamh Zhenhua Vacuum