د پروسې او تجهیزاتو له لید څخه تخنیکي تحلیل
د کاتودیک آرک زیرمهn په پراخه کچه د لوړ آیونیزیشن PVD ټیکنالوژۍ په توګه پیژندل شوی چې د کثافت، قوي تړلي، او خورا سخت پوښښ تولیدولو وړتیا لري.
د دې پروسې په زړه کې هغه ځانګړی پلازما پروت دی چې د کیتوډیک آرک خارجیدو لخوا رامینځته کیږي، چې ځانګړتیاوې یې په بنسټیز ډول دا د میګنیټرون سپټرینګ او نورو PVD تخنیکونو څخه توپیر کوي.
د کاتوډیک آرک سیسټمونو کې د پلازما چلند پوهیدل د کوټینګ جوړښت، فعالیت، او اوږدمهاله پروسې ثبات کنټرول لپاره اړین دي.
۱. د کاتودیک آرک پلازما اصل
په کاتوډیک آرک ډیپوزیشن کې، پلازما د هدف په سطحه جوړ شوي مایکروسکوپي کیتوډ ځایونو کې تولید کیږي کله چې د لوړ جریان، ټیټ ولټاژ آرک خارجیدل پیل شي.
د کیتوډ ځایونو مهمې ځانګړتیاوې عبارت دي له:
۱. د محلي جریان خورا لوړ کثافت (۱۰⁶–۱۰⁸ A/cm²)
۲. ډېر لوړ محلي تودوخه
۳. د کیتوډ موادو چټک چاودیدونکی تبخیر
دا پروسه یو پلازما تولیدوي چې په عمده توګه د ایونیز شوي هدف موادو څخه جوړ شوی وي، نه د بې طرفه اتومونو څخه.
۲. د ایونیزیشن لوړه درجه: یوه مشخصه ځانګړتیا
د کاتوډیک آرک پلازما یو له خورا مهمو ځانګړتیاو څخه د هغې استثنایی لوړ ایونیزیشن کسر دی.
د فلزي ډولونو د ایونیزیشن کچه له 70-90٪ څخه زیاته کیدی شي او د ایونونو لویه برخه ضرب چارج کیږي (M²⁺, M³⁺)
د ایونیزیشن دا لوړه کچه وړتیا ورکوي:
۱. د ایون-سبسټریټ قوي تعاملات
۲. د فلم کثافت لوړول
۳. حتی په نسبتا ټیټ سبسټریټ تودوخې کې هم د کوټینګ غوره چپکونکی
د انجینرۍ له نظره، لوړ ایونیزیشن د پروسې پراخه او قوي کړکۍ چمتو کوي، په ځانګړي توګه د سختو او محافظتي پوښونو لپاره.
۳. لوړ آیون انرژي او لارښوونه
د کاتوډیک آرک پلازما لوړ داخلي ایون انرژي ښیې، معمولا له څو لسیزو څخه تر سل الکترون ولټو پورې.
د دې انرژي لرونکي پلازما پایلې په لاندې ډول دي:
۱. د سطحې اغیزمن فعالول او پاکول
۲. په سبسټریټ کې د اډیټوم خوځښت زیات شوی
۳. د غليظ، ښه دانې یا بې شکله فلم جوړښتونو جوړول
کله چې د سبسټریټ بایسنګ سره یوځای شي، د ایون انرژي په دقیق ډول د توازن سره سم تنظیم کیدی شي:
۱. د فلم کثافت
۲. د پاتې فشار کنټرول
۳. د پوښ کولو چپکونکی
دا کنټرول وړتیا په صنعتي غوښتنلیکونو کې د کاتوډیک آرک سیسټمونو یوه لویه ګټه ده.
۴. د پلازما کثافت او د ترانسپورت ځانګړتیاوې
د نورو PVD پلازماګانو په پرتله، د کاتوډیک آرک پلازما نندارې ته وړاندې کوي:
۱. د پلازما خورا لوړ کثافت
۲. د کیتوډ ځای څخه د پلازما قوي ځان چلول شوی پراخوالی
د پلازما ترانسپورت د لاندې څخه اغیزمن کیږي: د قوس جریان؛ مقناطیسي سټیرینګ ساحې؛ د چیمبر جیومیټري؛
د پلازما مناسبه لارښوونه ډاډ ورکوي: د پوښ یو شان ضخامت؛ د زیرمو ثابت نرخونه؛ په ټولو برخو کې د پوښ ثابت ملکیتونه
۵. میکرو ذرات: د پلازما یوه ذاتي ننګونه
د کاتوډیک آرک پلازما یو ځانګړی ځانګړتیا د میکرو ذراتو (څاڅکو) یو ځای نسل دی.
دا ویلې شوي یا جامد ذرات له لاندې څخه سرچینه اخلي: د کیتوډ ځایونو کې د چاودیدونکو موادو اخراج؛ میکرو ذرات کولی شي په منفي ډول اغیزمن کړي:؛ د سطحې ناهموارۍ؛ د نظري کیفیت؛ د ټریبولولوژیکي فعالیت
د دې د حل لپاره، صنعتي سیسټمونه معمولا سره یوځای کوي:
مقناطیسي یا د ډکټ ډوله فلټر شوي آرک پلازما سیسټمونه
د کیتوډ سپاټ سټیرینګ میکانیزمونو اصلاح شوی
د فلټر شوي آرک ټیکنالوژي د لوړ ایونیزیشن ګټو ساتلو ته اجازه ورکوي پداسې حال کې چې د ذراتو ککړتیا د پام وړ کموي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: جنوري-۱۲-۲۰۲۶