Uiga o le Plasma i le Cathodic Arc Deposition

O se Su'esu'ega Fa'atekinolosi mai Va'aiga o le Fa'agasologa ma Meafaigaluega

Fa'aputuga o le arc CathodicUa lauiloa lautele le n o se tekinolosi PVD maualuga-ionization e mafai ona gaosia ni ufiufi mafiafia, pipii malosi, ma matua malo.
O le fatu o lenei faiga o loʻo taoto ai le plasma tulaga ese e gaosia e le cathodic arc discharges, o ona uiga e faʻavasega ese ai mai le magnetron sputtering ma isi metotia PVD.

O le malamalama i amioga a le plasma i totonu o faiga fa'a-arc cathodic e taua tele mo le puleaina o le fausaga o le ufiufi, le fa'atinoga, ma le mautu o le fa'agasologa i se taimi umi.

1. Amataga o le Cathodic Arc Plasma

I le fa'aputuga o le arc cathodic, e fa'atupuina le plasma i ni vaega microscopic cathode e fausia i luga o le fogaeleele o le sini pe a amataina se fa'asa'olotoina o le arc e maualuga le eletise ma maualalo le voltage.

O vaega autū o vaega o le cathode e aofia ai:

1. Matuā maualuga tele le mafiafia o le tafe i le lotoifale (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. Vevela maualuga tele i le lotoifale

3. Fa'apuna vave o mea fa'a-cathode

O lenei faiga e maua ai se plasma e aofia ai le tele o mea faʻatatau ua faʻaionisaina, nai lo o ni atoma e le faʻavae.

2. Maualuga le Ionization Degree: O se Uiga Fa'apitoa

O se tasi o vaega sili ona tāua o le cathodic arc plasma o lona maualuga tele lea o le ionization fraction.

E mafai ona sili atu le fua faatatau o le ionization o ituaiga uʻamea i le 70–90% ma o se vaega tele o ions e faʻateleina le molia (M²⁺, M³⁺).

O lenei tulaga maualuga o le ionization e mafai ai ona:

1. Fegalegaleaiga malolosi ion-substrate

2. Fa'ateleina le mafiafia o ata tifaga

3. Pipii lelei o le ufiufi e tusa lava pe maualalo le vevela o le substrate

Mai se tulaga fa'ainisinia, o le maualuga o le ionization e maua ai se avanoa lautele ma malosi mo le fa'agasologa o galuega, aemaise lava mo ufiufi malo ma puipuia.

3. Malosiaga Maualuga o le Ion ma le Fa'asinomaga

O le cathodic arc plasma e faaalia ai le malosi maualuga o le ion intrinsic, e masani lava ona amata mai i le tele o sefulu i le silia ma le selau electron volts.

O taunuuga o lenei plasma malosi e aofia ai:

1. Fa'agaoioia lelei ma le fa'amamaina o luga

2. Fa'ateleina le fe'avea'i o le adatom i luga o le substrate

3. Fausiaina o ni fausaga ata mafiafia, manifinifi pe leai foi

A fa'apipi'i fa'atasi ma le fa'aitu'au o le substrate, e mafai ona fa'atulagaina lelei le malosi o le ion e paleni ai:

1. Fa'ama'a'aina o ata tifaga

2. Puleaina o le atuatuvalega o totoe

3. Pipii ufiufi

O lenei faigofie ona pulea o se tulaga lelei tele lea o faiga faʻa-cathodic arc i faʻaoga faʻapisinisi.

4. Fa'ama'a'a o le Plasma ma Uiga o Felauaiga

Pe a faʻatusatusa i isi PVD plasmas, o le cathodic arc plasma e faʻaalia ai:

1. Maualuga tele le mafiafia o le plasma

2. Fa'alauteleina malosi o le plasma e fa'agaoioia e ia lava mai le cathode spot

O felauaiga o le plasma e aʻafia i: Tafe o le arc; Fanua faʻataʻavale maneta; Faʻataʻitaʻiga o le potu;

O le taʻiala saʻo o le plasma e faʻamautinoa ai: O le mafiafia tutusa o le ufiufi; O le fua faʻatatau mautu o le teuina; O le tutusa o uiga o le ufiufi i vaega eseese.

5. Macroparticles: O se Luʻitau Faʻalenatura o le Plasma

O se uiga tulaga ese o le cathodic arc plasma o le gaosiga fa'atasi o macroparticles (droplets).

O nei vaega ua liusuavai pe malo e mafua mai i: O le fa'aosoina o mea pāpā i vaega o le cathode; E mafai e vaega tetele ona a'afia ai:; Le ma'ale'ale o le fogā'ele'ele; Tulaga lelei o le va'aiga; Fa'atinoga fa'a-Tribological

Ina ia foia lenei mea, e masani ona faʻapipiʻiina faiga faʻapisinisi:

Faiga plasma arc fa'amama fa'amagnetika po'o le ituaiga paipa

Fa'aleleia atili o auala e fa'atonutonu ai le cathode spot

O le tekinolosi filtered arc e mafai ai ona faatumauina le tele o faʻamanuiaga maualuga o le ionization aʻo faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o vaega laiti.

–O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum