ຄຸນລັກສະນະຂອງພລາສມາໃນການຕົກตะกอนຂອງອາກກາໂຕດ

ການວິເຄາະດ້ານເຕັກນິກຈາກທັດສະນະຂອງຂະບວນການ ແລະ ອຸປະກອນ

ການຝັງຕົວຂອງກາໂຕດn ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບຢ່າງກວ້າງຂວາງວ່າເປັນເທັກໂນໂລຢີ PVD ທີ່ມີໄອອອນໄນເຊຊັນສູງທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດເຄືອບທີ່ໜາແໜ້ນ, ຍຶດຕິດໄດ້ດີ ແລະ ແຂງຫຼາຍ.
ແກ່ນແທ້ຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນພລາສມາທີ່ເປັນເອກະລັກທີ່ຜະລິດຈາກການປ່ອຍອາຍພິດແບບກາໂຕດ, ເຊິ່ງມີລັກສະນະທີ່ແຍກແຍະມັນອອກຈາກການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ ແລະ ເຕັກນິກ PVD ອື່ນໆ.

ການເຂົ້າໃຈພຶດຕິກຳຂອງ plasma ໃນລະບົບ cathodic arc ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຄວບຄຸມໂຄງສ້າງການເຄືອບ, ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໃນໄລຍະຍາວ.

1. ຕົ້ນກຳເນີດຂອງ Plasma ໂຄ້ງກາໂຕດ

ໃນການວາງທາດກາໂຕດ, ພລາສມາຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນຢູ່ຈຸດແຄໂຕດຂະໜາດຈຸລະທັດ ເຊິ່ງສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນເທິງໜ້າດິນເປົ້າໝາຍ ເມື່ອມີການປ່ອຍກະແສໄຟຟ້າສູງ ແລະ ແຮງດັນຕ່ຳເລີ່ມຕົ້ນ.

ລັກສະນະຫຼັກຂອງຈຸດແຄໂທດປະກອບມີ:

1. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າທ້ອງຖິ່ນສູງຫຼາຍ (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. ອຸນຫະພູມທ້ອງຖິ່ນສູງຫຼາຍ

3. ການລະເຫີຍລະເບີດຢ່າງໄວວາຂອງວັດສະດຸແຄໂທດ

ຂະບວນການນີ້ຜະລິດ plasma ທີ່ປະກອບດ້ວຍວັດສະດຸເປົ້າໝາຍໄອອອນສ່ວນໃຫຍ່, ແທນທີ່ຈະເປັນອະຕອມທີ່ເປັນກາງ.

2. ລະດັບໄອອອນໄນເຊຊັນສູງ: ລັກສະນະທີ່ກຳນົດໄວ້

ໜຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດຂອງ plasma cathodic arc ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງ ionization ທີ່ສູງຫຼາຍ.

ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນຂອງຊະນິດໂລຫະສາມາດເກີນ 70–90% ແລະ ໄອອອນສ່ວນໃຫຍ່ມີປະຈຸຄູນ (M²⁺, M³⁺)

ລະດັບໄອອອນໄນເຊຊັນສູງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້:

1. ປະຕິກິລິຍາລະຫວ່າງໄອອອນກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ແຂງແຮງ

2. ການເສີມສ້າງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຟິມ

3. ການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ດີກວ່າ ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນວາງທີ່ຂ້ອນຂ້າງຕໍ່າ

ຈາກທັດສະນະດ້ານວິສະວະກຳ, ໄອອອນໄນເຊຊັນສູງໃຫ້ປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການທີ່ກວ້າງຂວາງ ແລະ ແຂງແຮງ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບການເຄືອບແຂງ ແລະ ປ້ອງກັນ.

3. ພະລັງງານໄອອອນສູງ ແລະ ທິດທາງ

ປລາສມາອາກແຄໂທດສະແດງພະລັງງານໄອອອນພາຍໃນສູງ, ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນຕັ້ງແຕ່ຫຼາຍສິບໂວນຫາຫຼາຍກວ່າໜຶ່ງຮ້ອຍເອເລັກຕຣອນໂວນ.

ຜົນສະທ້ອນຂອງ plasma ທີ່ມີພະລັງງານນີ້ລວມມີ:

1. ການກະຕຸ້ນພື້ນຜິວ ແລະ ການທຳຄວາມສະອາດຢ່າງມີປະສິດທິພາບ

2. ເພີ່ມການເຄື່ອນທີ່ຂອງອາດາຕອມໃນຊັ້ນຮອງພື້ນ

3. ການສ້າງໂຄງສ້າງຟິມທີ່ໜາແໜ້ນ, ລະອຽດ ຫຼື ບໍ່ມີຮູບຮ່າງ

ເມື່ອລວມກັບການໃຫ້ຄວາມລຳອຽງຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ພະລັງງານໄອອອນສາມາດປັບແຕ່ງໃຫ້ສົມດຸນໄດ້ຢ່າງຊັດເຈນ:

1. ການເຮັດໃຫ້ຟິມໜາແໜ້ນ

2. ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອ

3. ການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນເຄືອບ

ການຄວບຄຸມນີ້ແມ່ນຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນຂອງລະບົບ cathodic arc ໃນການນຳໃຊ້ອຸດສາຫະກຳ.

4. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາ ແລະ ລັກສະນະການຂົນສົ່ງ

ເມື່ອປຽບທຽບກັບພລາສມາ PVD ອື່ນໆ, ພລາສມາແບບກາໂຕດອາກສະແດງ:

1. ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງ plasma ສູງຫຼາຍ

2. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ plasma ທີ່ຂັບເຄື່ອນດ້ວຍຕົນເອງຢ່າງແຂງແຮງຈາກຈຸດແຄໂທດ

ການຂົນສົ່ງພລາສມາໄດ້ຮັບອິດທິພົນຈາກ: ກະແສໄຟຟ້າໂຄ້ງ; ສະໜາມແມ່ເຫຼັກຊີ້ນຳ; ຮູບຮ່າງເລຂາຄະນິດຂອງຫ້ອງ;

ການຊີ້ນຳຂອງ plasma ທີ່ເໝາະສົມຮັບປະກັນ: ຄວາມໜາຂອງເຄືອບທີ່ສະໝ່ຳສະເໝີ; ອັດຕາການວາງຊັ້ນທີ່ໝັ້ນຄົງ; ຄຸນສົມບັດການເຄືອບທີ່ສອດຄ່ອງກັນໃນແຕ່ລະກຸ່ມ

5. ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່: ສິ່ງທ້າທາຍຂອງພລາສມາທີ່ມີຢູ່

ລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງ plasma cathodic arc ແມ່ນການຜະລິດ macroparticles (ຢອດ) ພ້ອມໆກັນ.

ອະນຸພາກທີ່ລະລາຍ ຫຼື ແຂງເຫຼົ່ານີ້ມີຕົ້ນກຳເນີດມາຈາກ: ການສີດວັດສະດຸລະເບີດອອກທີ່ຈຸດແຄໂທດ; ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບທາງລົບຕໍ່: ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ; ຄຸນນະພາບທາງແສງ; ປະສິດທິພາບທາງໄຕຣໂບໂລຊີ

ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫານີ້, ລະບົບອຸດສາຫະກໍາໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຈະລວມເຂົ້າກັນ:

ລະບົບ plasma arc ກັ່ນຕອງແບບແມ່ເຫຼັກ ຫຼື ແບບທໍ່

ກົນໄກການຊີ້ນຳຈຸດແຄໂທດທີ່ດີທີ່ສຸດ

ເທັກໂນໂລຢີການກັ່ນຕອງດ້ວຍກະແສໄຟຟ້າຊ່ວຍໃຫ້ຮັກສາຜົນປະໂຫຍດຂອງໄອອອນໄນເຊຊັນສູງໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua