ڪيٿوڊڪ آرڪ ڊپوزيشن ۾ پلازما جون خاصيتون

عمل ۽ سامان جي نقطه نظر کان هڪ ٽيڪنيڪل تجزيو

ڪيٿوڊڪ آرڪ جمعn کي وڏي پيماني تي هڪ هاءِ-آئنائيزيشن پي وي ڊي ٽيڪنالاجي طور سڃاتو وڃي ٿو جيڪو گهاٽو، مضبوطيءَ سان لڳل، ۽ الٽرا-سخت ڪوٽنگ پيدا ڪرڻ جي قابل آهي.
هن عمل جي مرڪز ۾ ڪيٿوڊڪ آرڪ ڊسچارجز ذريعي پيدا ٿيندڙ منفرد پلازما آهي، جنهن جون خاصيتون بنيادي طور تي ان کي ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ ٻين پي وي ڊي ٽيڪنڪ کان الڳ ڪن ٿيون.

ڪوٽنگ جي جوڙجڪ، ڪارڪردگي، ۽ ڊگهي مدت جي عمل جي استحڪام کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ ڪيٿوڊڪ آرڪ سسٽم ۾ پلازما جي رويي کي سمجهڻ ضروري آهي.

1. ڪيٿوڊڪ آرڪ پلازما جي شروعات

ڪيٿوڊڪ آرڪ ڊپوزيشن ۾، پلازما ٽارگيٽ مٿاڇري تي ٺهيل خوردبيني ڪيٿوڊ اسپاٽس تي پيدا ٿئي ٿو جڏهن هڪ هاءِ ڪرنٽ، گهٽ وولٽيج آرڪ ڊسچارج شروع ٿئي ٿو.

ڪيٿوڊ اسپاٽس جي اهم خاصيتن ۾ شامل آهن:

1. انتهائي وڌيڪ مقامي ڪرنٽ کثافت (10⁶–10⁸ A/cm²)

2. الٽرا هاءِ مقامي درجه حرارت

3. ڪيٿوڊ مواد جو تيز ڌماڪيدار بخارات

هي عمل هڪ پلازما پيدا ڪري ٿو جيڪو گهڻو ڪري آئنائيزڊ ٽارگيٽ مواد تي مشتمل آهي، غير جانبدار ايٽم جي بدران.

2. هاءِ آئنائيزيشن ڊگري: هڪ تعريفي خاصيت

ڪيٿوڊڪ آرڪ پلازما جي سڀ کان اهم خاصيتن مان هڪ ان جو غير معمولي طور تي اعليٰ آئنائيزيشن فريڪشن آهي.

ڌاتو جي نسلن جي آئنائيزيشن جي شرح 70-90٪ کان وڌيڪ ٿي سگهي ٿي ۽ آئنن جو هڪ وڏو حصو ضرب چارج ٿيل آهي (M²⁺، M³⁺)

هي اعليٰ آئنائيزيشن ليول قابل بڻائي ٿو:

1. مضبوط آئن-سبسٽريٽ رابطي

2. فلم جي کثافت ۾ واڌارو

3. نسبتاً گهٽ سبسٽريٽ گرمي پد تي به اعليٰ ڪوٽنگ جي چپکڻ

انجنيئرنگ جي نقطي نظر کان، هاءِ آئنائيزيشن هڪ وسيع ۽ مضبوط عمل ونڊو فراهم ڪري ٿي، خاص طور تي سخت ۽ حفاظتي ڪوٽنگن لاءِ.

3. هاءِ آئن توانائي ۽ هدايت

ڪيٿوڊڪ آرڪ پلازما اعليٰ اندروني آئن توانائي ڏيکاري ٿو، عام طور تي ڪيترن ئي ڏهن کان وٺي هڪ سو کان وڌيڪ اليڪٽران وولٽ تائين.

هن توانائي واري پلازما جا نتيجا شامل آهن:

1. مؤثر مٿاڇري چالو ڪرڻ ۽ صفائي

2. سبسٽريٽ تي ايڊٽم جي حرڪت ۾ اضافو

3. گهاٽي، باریک داڻا يا بي شڪل فلم جي بناوتن جي ٺهڻ

جڏهن سبسٽريٽ بائيسنگ سان گڏ ڪيو وڃي ٿو، ته آئن توانائي کي صحيح طور تي توازن لاءِ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو:

1. فلم جي کثافت

2. باقي دٻاءُ جو ڪنٽرول

3. ڪوٽنگ جي چپڪ

هي ڪنٽروليبلٽي صنعتي ايپليڪيشنن ۾ ڪيٿوڊڪ آرڪ سسٽم جو هڪ وڏو فائدو آهي.

4. پلازما جي کثافت ۽ ٽرانسپورٽ جون خاصيتون

ٻين PVD پلازما جي مقابلي ۾، ڪيٿوڊڪ آرڪ پلازما ڏيکاري ٿو:

1. انتهائي تيز پلازما کثافت

2. ڪيٿوڊ اسپاٽ کان مضبوط خود هلائيندڙ پلازما جي واڌ

پلازما ٽرانسپورٽ هيٺ ڏنل اثرن کان متاثر ٿئي ٿو: آرڪ ڪرنٽ؛ مقناطيسي اسٽيئرنگ فيلڊ؛ چيمبر جي جاميٽري؛

مناسب پلازما رهنمائي يقيني بڻائي ٿي: ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي ٿلهي؛ مستحڪم جمع جي شرح؛ بيچز ۾ مسلسل ڪوٽنگ خاصيتون.

5. ميڪرو پارٽيڪلز: هڪ موروثي پلازما چئلينج

ڪيٿوڊڪ آرڪ پلازما جي هڪ خاص خصوصيت ميڪرو پارٽيڪلز (قطرن) جو هڪ ئي وقت پيدا ٿيڻ آهي.

اهي پگھريل يا مضبوط ذرڙا ان مان نڪرندا آهن: ڪيٿوڊ اسپاٽس تي ڌماڪيدار مواد جو اخراج؛ ميڪرو پارٽيڪلز منفي طور تي متاثر ڪري سگهن ٿا:؛ مٿاڇري جي خرابي؛ بصري معيار؛ ٽرائبولوجيڪل ڪارڪردگي

هن کي حل ڪرڻ لاءِ، صنعتي نظام عام طور تي ضم ٿين ٿا:

مقناطيسي يا ڊڪٽ قسم جا فلٽر ٿيل آرڪ پلازما سسٽم

بهتر ڪيل ڪيٿوڊ اسپاٽ اسٽيئرنگ ميڪانيزم

فلٽر ٿيل آرڪ ٽيڪنالاجي اعليٰ آئنائيزيشن فائدن کي برقرار رکڻ جي اجازت ڏئي ٿي جڏهن ته ذرڙن جي آلودگي کي خاص طور تي گهٽائي ٿي.

- هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم