Injineernimada dusha sare ee casriga ah, Fiisikiska Uumiga ah (PVD) wuxuu u soo baxay sidii tignoolajiyada dahaarka faakuumka ee asaasiga ah sababtoo ah waxqabadka filimka ee aadka u wanaagsan iyo astaamaha deegaanka u fiican. Maqaalkani wuxuu bixinayaa falanqayn qoto dheer oo ku saabsan mabaadi'da, kala soocidda, iyo codsiyada caadiga ah ee tignoolajiyada PVD, isagoo siinaya aragtiyo farsamo oo loogu talagalay xirfadlayaasha goobta ku jira.
Mabaadi'da Aasaasiga ah ee Tiknoolajiyadda PVD No.1
PVD waa hab lagu sameeyo xaaladaha faakiyuumka (badanaa ≤10⁻³ Pa), kaas oo walxaha dahaarka ah si jidh ahaan loo uumi-bixiyo ka dibna lagu ururiyo dusha sare ee substrate-ka si loo sameeyo filim khafiif ah oo adag. Farsamadan waxaa lagu gartaa:
Heerkulka dhigista oo hooseeya (guud ahaan <500°C)
Nadiifnimo filim sare iyo halabuurka la kontorooli karo
Deegaanka u fiican (ma jiraan dheecaan biyaha wasakhda ah)
Xakamaynta saxda ah ee heerka nanometer-ka
Kala-soocidda Lambarka 2aadQalabka PVDtGeedi socodka
1. Dahaarka uumiga faakuumka
Uumi-baxa faakuumka waxaa ku jira kululaynta walxaha dahaarka ilaa ay gaarto cadaadiska uumiga buuxa oo ay ka baxdo. Noocyada caadiga ah waxaa ka mid ah:
Uumi-baxa Kululaynta ee Adkeysi leh
Waxay u isticmaashaa biraha adkeysiga leh sida tungsten ama molybdenum sidii walxaha kululaynta. Ku habboon agabka dhalaalka yar sida aluminium (Al) iyo qalinka (Ag).
Uumi-baxa Elektarooniga ah (EB-PVD)
Wuxuu adeegsadaa qori elektaroonig ah (10–30 kV) si uu u duqeeyo walxaha la beegsanayo, isagoo soo saaraya heerkul maxalli ah oo ka badan 3000°C. Ku habboon oksaydhyada dhalaalka sare leh.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Farsamo aad u sax ah oo lagu sameeyay faakiyuum aad u sarreeya (≤10⁻⁸ Pa), taasoo u oggolaanaysa xakamaynta heerka atomiga ee koritaanka filimka epitaxial.
2. Bixinta Lacagta
Kala-baxa waxaa ku jira walxo tamar sare leh oo duqeeya walxo bartilmaameed ah, iyagoo ka saaraya atamka ku shubma substrate-ka. Noocyada kala-baxa ee muhiimka ah waxaa ka mid ah:
DC Spruttering (Heerka Tooska ah)
Habka aasaasiga ah ee faafinta biyaha; bartilmaameedku waa inuu ahaadaa mid koronto ku shaqeeya.
RF Spruttering (Soo noqnoqoshada Raadiyaha)
Waxay ku shaqeysaa 13.56 MHz, taasoo u oggolaanaysa in walxaha dahaarka leh ay si xawli ah u soo baxaan.
Magnetron Sputtering
Nooca Dheelitirka ah: Xoogga goobta birlabta ee 100-300 Gauss oo ka baxsan dusha bartilmaameedka
Nooca aan dheelitirnayn: Faafinta balaasmaha oo la xoojiyay si loo helo kaydin wanaagsan
Kathode-ka Mataanaha ee Dhexdhexaadka ah: Wuxuu xalliyaa arrinta "sumowga bartilmaameedka" ee ku jirta buufinta falcelinta leh
Buufinta Magnetron-ka ee Awoodda Sare leh (HIPIMS): Heerarka Ionization-ka oo ka badan 90%, iyagoo soo saaraya filimaan aad u cufan, oo aan tiirar lahayn
Lambarka 3aad Codsiyada Caadiga ah ee Tiknoolajiyadda PVD
Dahaadhada Qalabka
Dahaarka adag sida TiN, TiAlN (adagaanshaha >3000 HV)
Si ballaaran loo isticmaalo qalabka jarista iyo horumarinta dusha caaryada
Dahaarka Qurxinta
Dhammaystirka dahabka u eg iyadoo la adeegsanayo ZrN, TiZrN
Waxaa lagu dabaqay moobaylka, qalabka musqusha, iyo alaabta macaamiisha
Filimada Khafiifka ah ee Shaqada leh
Filimada ITO (Indium Tin Oxide) oo hufan oo gudbiya hirarka oo leh iska caabin xaashi <10 Ω/□
Dahaarka indhaha ee ka-hortagga iftiinka oo leh gudbinta iftiinka la arki karo > 99%
Baakadda Semiconductor-ka
Bir-samaynta heerka Wafer (isku xirka Al, Cu)
Kaydinta lakabka caqabadda iyadoo la adeegsanayo TaN, TiN si looga hortago faafinta
-Maqaalkan waxaa soo saaray видеоsoo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumka Faakiyuum Zhenhua ah.
Waqtiga boostada: Juun-18-2025