ويڪيوم ڪوٽنگ جي عملن جو عام جائزو

جديد سطحي انجنيئرنگ ۾، فزيڪل وانپ ڊيپوزيشن (PVD) پنهنجي بهترين فلم ڪارڪردگي ۽ ماحول دوست خاصيتن جي ڪري هڪ بنيادي ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي طور تي سامهون آئي آهي. هي مضمون PVD ٽيڪنالاجي جي اصولن، درجه بندي، ۽ عام ايپليڪيشنن جو هڪ گهرو تجزيو مهيا ڪري ٿو، جيڪو فيلڊ ۾ پيشه ور ماڻهن لاءِ ٽيڪنيڪل بصيرت پيش ڪري ٿو.

نمبر 1 پي وي ڊي ٽيڪنالاجي جا بنيادي اصول
پي وي ڊي هڪ اهڙو عمل آهي جيڪو ويڪيوم حالتن ۾ ڪيو ويندو آهي (عام طور تي ≤10⁻³ Pa)، جنهن ۾ ڪوٽنگ مواد کي جسماني طور تي بخار بڻايو ويندو آهي ۽ پوءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي هڪ مضبوط پتلي فلم ٺاهڻ لاءِ گاڙ ڪيو ويندو آهي. هي ٽيڪنڪ هن ريت آهي:

نسبتاً گهٽ جمع ٿيڻ جو گرمي پد (عام طور تي <500°C)

اعليٰ فلم جي پاڪائي ۽ ڪنٽرول لائق جوڙجڪ

ماحول دوست (گندو پاڻي خارج نه ٿيڻ)

نانو ميٽر-سطح جي درستگي ڪنٽرول

نمبر 2 جي درجه بنديپي وي ڊي سامانٽيعمل
1. ويڪيوم ايواپريشن ڪوٽنگ
ويڪيوم بخارات ۾ ڪوٽنگ مواد کي گرم ڪرڻ شامل آهي جيستائين اهو پنهنجي سير ٿيل بخارات جي دٻاءُ تائين نه پهچي ۽ بخارات نه بڻجي وڃي. عام قسمن ۾ شامل آهن:

مزاحمتي گرمي بخارات
گرم ڪرڻ وارن عنصرن جي طور تي ٽنگسٽن يا موليبڊينم جهڙين ريفريڪٽري ڌاتون استعمال ڪري ٿو. ايلومينيم (Al) ۽ چاندي (Ag) جهڙن گهٽ پگھلڻ واري نقطي وارين شين لاءِ مناسب.

اليڪٽران بيم ايواپوريشن (EB-PVD)
هڪ اليڪٽران گن (10-30 kV) استعمال ڪري ٿو ٽارگيٽ مواد تي بمباري ڪرڻ لاءِ، 3000°C کان مٿي مقامي گرمي پد پيدا ڪري ٿو. اعليٰ پگھلڻ واري نقطي آڪسائيڊ لاءِ مثالي.

ماليڪيولر بيم ايپيٽيڪسي (MBE)
هڪ انتهائي صحيح ٽيڪنڪ جيڪا الٽرا هاءِ ويڪيوم (≤10⁻⁸ Pa) هيٺ ڪئي وئي آهي، جيڪا ايپيٽيڪسيل فلم جي واڌ لاءِ ايٽمي سطح جي ڪنٽرول جي اجازت ڏئي ٿي.

2. ڦڦڙن جو جمع
اسپٽرنگ ۾ تيز توانائي وارا ذرڙا شامل آهن جيڪي هڪ ٽارگيٽ مواد تي بمباري ڪندا آهن، ايٽم کي خارج ڪندا آهن جيڪي سبسٽريٽ تي جمع ٿين ٿا. اهم اسپٽرنگ قسمن ۾ شامل آهن:

ڊي سي اسپٽرنگ (سڌو ڪرنٽ)
بنيادي ڦڦڙ هڻڻ جو طريقو؛ ٽارگيٽ برقي طور تي هلندڙ هجڻ گهرجي.

آر ايف اسپٽرنگ (ريڊيو فريڪوئنسي)
13.56 MHz تي ڪم ڪري ٿو، جيڪو موصلي مواد جي ڦڦڙن جي اجازت ڏئي ٿو.

ميگنيٽرون اسپٽرنگ

متوازن قسم: نشانو بڻايل مٿاڇري تي 100-300 گاس جي مقناطيسي ميدان جي طاقت

غير متوازن قسم: بهتر جمع لاءِ بهتر پلازما ڊفيوژن

وچين فريڪوئنسي ٽوئن ڪيٿوڊ: رد عمل واري اسپٽرنگ ۾ "ٽارگيٽ پوائزننگ" جي مسئلي کي حل ڪري ٿو.

هاءِ پاور امپلس ميگنيٽرون اسپٽرنگ (HIPIMS): آئنائيزيشن جي شرح 90٪ کان وڌيڪ، الٽرا ڊينس، غير ڪالمنر فلمون پيدا ڪندي

نمبر 3 پي وي ڊي ٽيڪنالاجي جا عام ايپليڪيشن
اوزار جي ڪوٽنگ
سخت ڪوٽنگون جهڙوڪ TiN، TiAlN (سختي> 3000 HV)

ڪٽڻ جي اوزارن ۽ مولڊ جي مٿاڇري کي وڌائڻ لاءِ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي

آرائشي ڪوٽنگون
ZrN، TiZrN استعمال ڪندي سون جهڙيون ختميون

موبائل فون فريم، غسل خاني جي سامان، ۽ صارفين جي سامان تي لاڳو ٿيل

فنڪشنل پتلي فلمون
آئي ٽي او (انڊيم ٽين آڪسائيڊ) شفاف ڪنڊڪٽو فلمون جن ۾ شيٽ جي مزاحمت <10 Ω/□ آهي

نظر ايندڙ روشني جي منتقلي سان آپٽيڪل اينٽي ريفليڪٽو ڪوٽنگ > 99٪

سيمي ڪنڊڪٽر پيڪنگنگ
ويفر-ليول ميٽالائيزيشن (Al، Cu انٽر ڪنيڪٽس)

پکيڙ مزاحمت لاءِ TaN، TiN استعمال ڪندي رڪاوٽ پرت جمع ڪرڻ

-هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم.