איבערבליק פון געוויינטלעך וואַקוום קאָוטינג פּראָצעסן

אין מאָדערנער ייבערפלאַך אינזשעניריע, איז פיזישע פארע דעפּאָזיציע (PVD) ארויסגעקומען ווי אַ קערן וואַקוום קאָוטינג טעכנאָלאָגיע צוליב איר אויסגעצייכנטער פילם פאָרשטעלונג און סביבה-פרייַנדלעך קעראַקטעריסטיקס. דער אַרטיקל גיט אַ טיפע אַנאַליז פון די פּרינציפּן, קלאַסיפיקאַציעס און טיפּישע אַפּליקאַציעס פון PVD טעכנאָלאָגיע, און אָפפערס טעכנישע איינזיכטן פֿאַר פּראָפעסיאָנאַלן אין דעם פעלד.

נומער 1 גרונט־פּרינציפּן פֿון PVD טעכנאָלאָגיע
PVD איז אַ פּראָצעס וואָס ווערט דורכגעפירט אונטער וואַקוום באַדינגונגען (געווענליך ≤10⁻³ Pa), אין וועלכן אַ קאָוטינג מאַטעריאַל ווערט פיזיש פארדאַמפּט און דערנאָך קאָנדענסירט אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך צו פאָרמירן אַ האַרטן דין פילם. די טעכניק איז כאַראַקטעריזירט דורך:

רעלאַטיוו נידעריקע דעפּאָזיציע טעמפּעראַטור (בכלל <500°C)

הויך פילם ריינקייט און קאָנטראָלירבאַרע קאָמפּאָזיציע

ענווייראָנמענטאַלי פרייַנדלעך (קיין אָפּפאַל וואַסער אַרויסלאָזן)

נאַנאָמעטער-לעוועל פּרעציזיע קאָנטראָל

נומער 2 קלאַסיפֿיקאַציעס פֿוןפּי-די-ווי-די עקוויפּמענטטפּראָצעסן
1. וואַקוום פֿאַרדאַמפּונג קאָוטינג
וואַקוום פארדאַמפּונג באַשטייט פון אויפהייצן דעם קאָוטינג מאַטעריאַל ביז עס דערגרייכט זיין זעטיגט פארע דרוק און פארדאַמפּט. געוויינטלעכע טיפּן אַרייַננעמען:

קעגנשטעליק היץ פארדאַמפּונג
ניצט רעפראַקטאָרי מעטאַלן ווי טונגעסטאַן אָדער מאָליבדענום ווי הייצונג עלעמענטן. פּאַסיק פֿאַר נידעריק שמעלץ פונקט מאַטעריאַלס ווי אַלומינום (Al) און זילבער (Ag).

עלעקטראָן שטראַל פֿאַרדאַמפּונג (EB-PVD)
ניצט אַן עלעקטראָן ביקס (10–30 קילוואָלט) צו באַמבאַרדירן דעם ציל מאַטעריאַל, דזשענערייטינג לאָקאַליזירטע טעמפּעראַטורן איבער 3000°C. ידעאַל פֿאַר הויך-שמעלץ-פּונקט אָקסיידז.

מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE)
א העכסט פּינקטלעכע טעכניק וואָס ווערט דורכגעפירט אונטער אַ גאָר הויכן וואַקוום (≤10⁻⁸ פּאַ), וואָס ערמעגליכט אַטאָמישן קאָנטראָל פֿאַר עפּיטאַקסיאַל פֿילם וווּקס.

2. שפּריצן דעפּאַזישאַן
שפּאַטערינג באַשטייט פון הויך-ענערגיע פּאַרטיקלען וואָס באַמבאַרדירן אַ ציל מאַטעריאַל, אַרויסוואַרפנדיק אַטאָמען וואָס זעצן זיך אַוועק אויף דעם סאַבסטראַט. שליסל שפּאַטערינג טייפּס אַרייַננעמען:

גלייכשטראָם ספּאַטערינג (גלייכשטראָם)
גרונטלעכע שפּאַטערינג מעטאָדע; ציל מוז זיין עלעקטריש קאַנדאַקטיוו.

RF ספּאַטערינג (ראַדיאָ אָפטקייט)
ארבעט ביי 13.56 מעגארץ, ערמעגליכנדיג דאס שפארן פון איזאלירנדע מאטעריאלן.

מאַגנעטראָן ספּאַטערינג

באַלאַנסירט טיפּ: מאַגנעטישע פעלד שטאַרקייט פון 100–300 גאַוס אַריבער די ציל ייבערפלאַך

אַנבאַלאַנסט טיפּ: פֿאַרבעסערטע פּלאַזמע דיפיוזשאַן פֿאַר בעסער דעפּאַזישאַן

מיטל-פרעקווענץ צווילינג קאַטאָדע: לייזט דעם "ציל פאַרסאַמונג" פּראָבלעם אין רעאַקטיוו ספּאַטערינג

הויך-מאַכט אימפּולס מאַגנעטראָן ספּאַטערינג (HIPIMS): יאָניזאַציע ראַטעס >90%, פּראָדוצירנדיק גאָר-געדיכטע, נישט-קאָלומנאַר פילמען

נומ. 3 טיפּישע אַפּליקאַציעס פון PVD טעכנאָלאָגיע
געצייַג קאָוטינגז
האַרטע באַדעקונגען ווי TiN, TiAlN (האַרטקייט >3000 HV)

ברייט געניצט פֿאַר קאַטינג מכשירים און פורעם ייבערפלאַך פֿאַרבעסערונג

דעקאָראַטיווע קאָוטינגז
גאָלד-ווי ענדיקונגען ניצן ZrN, TiZrN

אַפּליייד צו מאָביל טעלעפאָן ראָמען, קלאָזעט פיקסטשערז און קאַנסומער סכוירע

פונקציאָנעלע דין פילמען
ITO (אינדיום צין אקסייד) טראַנספּאַרענטע קאַנדאַקטיווע פילמען מיט בויגן קעגנשטעל <10 Ω/□

אָפּטישע אַנטי-רעפלעקטיוו קאָוטינגז מיט זעבאר ליכט טראַנסמיטאַנס >99%

האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג
וועיפער-לעוועל מעטאַליזאַציע (אַל, קופּער ינטערקאַנעקץ)

באַריער שיכט דעפּאַזישאַן ניצן TaN, TiN פֿאַר דיפוזיע קעגנשטעל

-דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום.