San innealtóireacht dhromchla nua-aimseartha, tá Taisceadh Fisiceach Gaile (PVD) tagtha chun cinn mar theicneolaíocht sciath folúis lárnach mar gheall ar a fheidhmíocht scannáin den scoth agus a thréithe atá neamhdhíobhálach don chomhshaol. Soláthraíonn an t-alt seo anailís dhomhain ar phrionsabail, aicmithe agus feidhmeanna tipiciúla na teicneolaíochta PVD, ag tairiscint léargais theicniúla do ghairmithe sa réimse.
Uimh.1 Bunphrionsabail na Teicneolaíochta PVD
Is próiseas é PVD a dhéantar faoi choinníollacha folúis (≤10⁻³ Pa de ghnáth), ina ndéantar ábhar sciath a ghalú go fisiciúil agus ansin é a chomhdhlúthú ar dhromchla an tsubstráit chun scannán tanaí soladach a fhoirmiú. Is iad seo a leanas tréithrithe an teicníc seo:
Teocht taiscthe réasúnta íseal (de ghnáth <500°C)
Íonacht ard scannáin agus comhdhéanamh inrialaithe
Neamhdhíobhálach don chomhshaol (gan aon scaoileadh fuíolluisce)
Rialú cruinneas leibhéal nanaiméadar
Uimh.2 AicmitheTrealamh PVDtPróisis
1. Sciath Galú Folúis
Is éard atá i gceist le galú folúis ná an t-ábhar sciath a théamh go dtí go sroicheann sé a bhrú gaile sáithithe agus go ngalaíonn sé. I measc na gcineálacha coitianta tá:
Galú Teasa Frithsheasmhach
Úsáideann sé miotail theasfhulangacha amhail tungstain nó moluibdín mar eilimintí téimh. Oiriúnach d'ábhair leáphointe íseal amhail alúmanam (Al) agus airgead (Ag).
Galú Léas Leictreon (EB-PVD)
Úsáideann sé gunna leictreon (10–30 kV) chun an t-ábhar sprice a bhuamáil, ag giniúint teochtaí áitiúla os cionn 3000°C. Oiriúnach d'ocsaídí leáphointe ard.
Eipeatacsas Bhíoma Móilíneach (MBE)
Teicníc an-bheacht a dhéantar faoi fholús sár-ard (≤10⁻⁸ Pa), rud a ligeann do rialú ag an leibhéal adamhach ar fhás scannáin eipitacsaigh.
2. Taisceadh Spútála
Is éard atá i gceist le spútaradh ná cáithníní ardfhuinnimh a bhuaileann ábhar sprice, ag scaoileadh adaimh a thaisceann ar an tsubstráit. I measc na bpríomhchineálacha spútaradh tá:
Spútaráil DC (Sruth Díreach)
Modh bunúsach spútaireachta; ní mór don sprioc a bheith seoltach leictreach.
Spútadh RF (Minicíocht Raidió)
Oibríonn sé ag 13.56 MHz, rud a chuireann ar chumas ábhair inslithe a spútaradh.
Spútadh Maighnéadróin
Cineál Cothrom: Neart réimse maighnéadaigh de 100–300 Gauss trasna dhromchla an sprice
Cineál Neamhchothrom: Feabhsú ar scaipeadh plasma le haghaidh taiscthe níos fearr
Catóid Dúbailte Lár-Minicíochta: Réitíonn sé an fhadhb "nimhiú sprice" i spútaradh imoibríoch
Spútaráil Maighnéadrón Impulse Ardchumhachta (HIPIMS): Rátaí ianúcháin >90%, ag táirgeadh scannáin thar a bheith dlúth, neamhcholúnacha
Uimh.3 Feidhmeanna Tipiciúla Teicneolaíochta PVD
Bratuithe Uirlisí
Bratuithe crua ar nós TiN, TiAlN (cruas >3000 HV)
Úsáidtear go forleathan le haghaidh uirlisí gearrtha agus feabhsú dromchla múnla
Bratuithe Maisiúla
Bailchríocha cosúil le hór ag baint úsáide as ZrN, TiZrN
Feidhmeach maidir le frámaí fón póca, daingneáin seomra folctha, agus earraí tomhaltóra
Scannáin Thanaí Feidhmiúla
Scannáin sheoltaí trédhearcacha ITO (Ocsaíd Stáin Indiam) le friotaíocht leatháin <10 Ω/□
Bratuithe frith-fhrithchaiteacha optúla le tarchur solais infheicthe >99%
Pacáistiú Leathsheoltóra
Miotalú ar leibhéal na vaiféire (idirnaisc Al, Cu)
Taisceadh ciseal bacainn ag baint úsáide as TaN, TiN le haghaidh friotaíocht idirleata
-Tá an t-alt seo foilsithe agmonaróir meaisín sciath folúis Folúsghlantóir Zhenhua.
Am an phoist: 18 Meitheamh 2025