කැපුම් මෙවලම්වල භාවිතා කරන ලද මුල්ම දෘඩ ආලේපනය TiN වන අතර එහි වාසි අතර ඉහළ ශක්තිය, ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය ඇතුළත් වේ. එය ආලේපිත මෙවලම් සහ ආලේපිත අච්චු වල බහුලව භාවිතා වන පළමු කාර්මිකකරණය වූ සහ බහුලව භාවිතා වන දෘඩ ආලේපන ද්රව්යය වේ. TiN දෘඩ ආලේපනය මුලින් තාප CVD තාක්ෂණය මගින් 1000 ℃ හි තැන්පත් කරන ලදී. දැන් එය කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනය, මැග්නට්රෝන ස්පුටරින් ආලේපනය, කුහර කැතෝඩ අයන ආලේපනය, උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය, PECVD සහ වෙනත් තාක්ෂණයන් මගින් 500 ℃ හි ලබා ගත හැකිය. මෙම ආලේපනය දිගු කලක් තිස්සේ මතුපිට දැඩි කිරීමේ ලෝහ ද්රව්ය සැකසීම සහ අධිවේගී වානේ සාදන මෙවලම් සහ අච්චු නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කර ඇත. 500 ℃ හි TiN තැන්පත් කිරීම අයන ආලේපන තාක්ෂණය භාවිතයෙන් ආලේපිත කැපුම් මෙවලම් තැන්පත් කිරීමට පුරෝගාමී වී ඇත. ඉහළ මට්ටමේ සැකසුම් කර්මාන්ත සංවර්ධනයේ අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා විවිධ සංරචක සහිත විවිධ දෘඩ ආලේපන මෙම පදනම මත සංවර්ධනය කර ඇත: නයිට්රයිඩ් සහ කාබයිඩ් මත පදනම් වූ ද්විමය, ත්රිත්ව සහ චතුර්ථක සාමාන්ය දෘඪතාව සහිත දෘඩ ආලේපන TiN පදනම මත සංවර්ධනය කර ඇති අතර, මෙම දෘඩ ආලේපන මත පදනම් වූ සුපිරි දෘඪ නැනෝ ආලේපන මෙන්ම අතිශය ඉහළ දෘඪතාව සහිත අභ්යන්තර සුපිරි දෘඪ ආලේපන ද සංවර්ධනය කර ඇත.
දෘඩ ආලේපනවල ප්රධාන කාර්ය සාධන දර්ශකය වන්නේ දෘඪතාවයි. ආලේපන දෘඪතාව අනුව, දෘඪ ආලේපන වර්ග තුනකට බෙදිය හැකිය: සාමාන්ය දෘඪ ආලේපන, සුපිරි දෘඪ නැනෝ ආලේපන සහ අභ්යන්තර සුපිරි දෘඪ/අතිශයින්ම දෘඪ ආලේපන, පහත වගුවේ දක්වා ඇත.
– මෙම ලිපිය ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා විසින් නිකුත් කරන ලදී,දෘඩ ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයෙක්.
පළ කිරීමේ කාලය: ජූනි-07-2023