Rozpylanie magnetronowe próżniowe jest szczególnie odpowiednie do reaktywnych powłok osadzania. W rzeczywistości proces ten może osadzać cienkie warstwy dowolnych materiałów tlenkowych, węglikowych i azotkowych. Ponadto proces ten jest również szczególnie odpowiedni do osadzania wielowarstwowych struktur filmowych, w tym projektów optycznych, kolorowych filmów, powłok odpornych na zużycie, nanolaminatów, powłok supersieciowych, filmów izolacyjnych itp. Już w 1970 r. opracowano wysokiej jakości przykłady osadzania filmów optycznych dla różnych materiałów warstw filmów optycznych. Materiały te obejmują przezroczyste materiały przewodzące, półprzewodniki, polimery, tlenki, węgliki i azotki, podczas gdy fluorki są stosowane w procesach takich jak powlekanie parowe.
Główną zaletą procesu rozpylania magnetronowego jest wykorzystanie reaktywnych lub niereaktywnych procesów powlekania do osadzania warstw tych materiałów i dobra kontrola składu warstwy, grubości filmu, jednorodności grubości filmu i właściwości mechanicznych warstwy. Proces ma następujące cechy.
1、Duża szybkość osadzania. Dzięki zastosowaniu szybkich elektrod magnetronowych można uzyskać duży przepływ jonów, co skutecznie poprawia szybkość osadzania i szybkość rozpylania tego procesu powlekania. W porównaniu z innymi procesami powlekania rozpylaniem, rozpylanie magnetronowe ma dużą pojemność i wysoką wydajność i jest szeroko stosowane w różnych produkcjach przemysłowych.
2、Wysoka wydajność energetyczna. Cel rozpylania magnetronowego zazwyczaj wybiera napięcie w zakresie 200 V-1000 V, zwykle jest to 600 V, ponieważ napięcie 600 V mieści się w najwyższym efektywnym zakresie wydajności energetycznej.
3. Niska energia rozpylania. Napięcie docelowe magnetronu jest przyłożone nisko, a pole magnetyczne ogranicza plazmę w pobliżu katody, co zapobiega wyrzucaniu na podłoże cząstek o wyższej energii.
4、Niska temperatura podłoża. Anoda może być używana do odprowadzania elektronów generowanych podczas rozładowania, bez potrzeby uzupełniania podłoża, co może skutecznie zmniejszyć bombardowanie elektronami podłoża. W ten sposób temperatura podłoża jest niska, co jest bardzo idealne dla niektórych podłoży z tworzyw sztucznych, które nie są bardzo odporne na powlekanie w wysokiej temperaturze.
5. Trawienie powierzchni docelowej metodą rozpylania magnetronowego nie jest równomierne. Nierównomierne trawienie powierzchni docelowej metodą rozpylania magnetronowego jest spowodowane nierównomiernym polem magnetycznym celu. Lokalizacja szybkości trawienia celu jest większa, więc efektywny współczynnik wykorzystania celu jest niski (tylko 20-30% współczynnika wykorzystania). Dlatego też, aby poprawić wykorzystanie celu, rozkład pola magnetycznego musi zostać zmieniony za pomocą pewnych środków lub użycie magnesów poruszających się w katodzie może również poprawić wykorzystanie celu.
6、Tarcza kompozytowa. Może tworzyć powłokę stopową tarczy kompozytowej. Obecnie proces rozpylania tarczy magnetronowej kompozytowej został pomyślnie pokryty stopem Ta-Ti, (Tb-Dy)-Fe i folią stopową Gb-Co. Struktura tarczy kompozytowej ma cztery rodzaje, odpowiednio: tarcza okrągła inkrustowana, tarcza kwadratowa inkrustowana, tarcza mała kwadratowa inkrustowana i tarcza sektorowa inkrustowana. Lepsze jest zastosowanie struktury tarczy sektorowej inkrustowanej.
7. Szeroki zakres zastosowań. Proces rozpylania magnetronowego może osadzać wiele pierwiastków, do najpopularniejszych należą: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti, Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO itp.
Rozpylanie magnetronowe jest jednym z najpowszechniej stosowanych procesów powlekania w celu uzyskania wysokiej jakości folii. Dzięki nowej katodzie ma wysokie wykorzystanie celu i wysoką szybkość osadzania. Proces powlekania metodą rozpylania magnetronowego próżniowego Guangdong Zhenhua Technology jest obecnie szeroko stosowany w powlekaniu podłoży o dużej powierzchni. Proces ten jest stosowany nie tylko do osadzania folii jednowarstwowej, ale także do powlekania folii wielowarstwowej, ponadto jest również stosowany w procesie roll to roll do folii opakowaniowych, folii optycznych, laminowania i innych powłok foliowych.
Czas publikacji: 31-05-2024