TiN ହେଉଛି କଟିଂ ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ସର୍ବପ୍ରାଚୀନ କଠିନ ଆବରଣ, ଯାହାର ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ କଠିନତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଭଳି ସୁବିଧା ରହିଛି। ଏହା ପ୍ରଥମ ଶିଳ୍ପାୟିତ ଏବଂ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ କଠିନ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ, ଯାହା ଆବୃତ ଉପକରଣ ଏବଂ ଆବୃତ ଛାଞ୍ଚରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। TiN କଠିନ ଆବରଣ ପ୍ରାରମ୍ଭରେ ଥର୍ମାଲ୍ CVD ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଦ୍ୱାରା 1000 ℃ ରେ ଜମା କରାଯାଇଥିଲା। ବର୍ତ୍ତମାନ ଏହାକୁ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ, ହୋଲୋ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ, ହଟ୍ ୱାୟାର ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ, PECVD ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଦ୍ୱାରା 500 ℃ ରେ ପାଇହେବ। ଏହି ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠ କଠିନ ଧାତୁ ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଗତି ଇସ୍ପାତ ଗଠନ ଉପକରଣ ଏବଂ ଛାଞ୍ଚର ଛାଞ୍ଚ ନିର୍ମାଣରେ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଆସୁଛି। 500 ℃ ରେ TiN ଜମା କରିବା ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରି ଆବୃତ କଟିଂ ଉପକରଣର ଜମା କରିବାରେ ଅଗ୍ରଣୀ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଛି। ଉଚ୍ଚମାନର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଶିଳ୍ପ ବିକାଶର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଏହି ଆଧାରରେ ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନ ସହିତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର କଠିନ ଆବରଣ ବିକଶିତ କରାଯାଇଛି: ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପରେ ଆଧାରିତ ବାଇନାରୀ, ଟର୍ନାରୀ ଏବଂ କ୍ୱାଟର୍ଣ୍ଣରୀ ସାଧାରଣ କଠୋରତା ସହିତ କଠିନ ଆବରଣ TiN ଆଧାରରେ ବିକଶିତ ହୋଇଛି, ଏବଂ ଏହି କଠିନ ଆବରଣ ଉପରେ ଆଧାରିତ ସୁପରହାର୍ଡ ନାନୋ ଆବରଣ, ଏବଂ ଅତି-ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ସହିତ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ସୁପରହାର୍ଡ ଆବରଣ ମଧ୍ୟ ବିକଶିତ ହୋଇଛି।
କଠିନ ଆବରଣର ମୁଖ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୂଚକ ହେଉଛି କଠିନତା। ଆବରଣ କଠିନତା ଅନୁସାରେ, କଠିନ ଆବରଣକୁ ତିନି ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇପାରେ: ସାଧାରଣ କଠିନ ଆବରଣ, ସୁପରହାର୍ଡ ନାନୋ ଆବରଣ, ଏବଂ ଆନ୍ତରିକ ସୁପରହାର୍ଡ/ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠିନ ଆବରଣ, ଯେପରି ନିମ୍ନଲିଖିତ ସାରଣୀରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି।
– ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା,କଠିନ ଆବରଣ ମେସିନର ନିର୍ମାତା.
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୦୭-୨୦୨୩