Kugwiritsa ntchito makina ophimba zitsulo oletsa kusindikiza zala kumayimira kupita patsogolo kwakukulu paukadaulo woteteza pamwamba. Mwa kuphatikiza ukadaulo wa vacuum ndi zokutira zapadera, makina awa amapanga gawo lopyapyala, losawonongeka pamwamba pa zitsulo lomwe limateteza ku zala ndi zinthu zina zosokoneza...
Ndi kukula kwa ukadaulo wopaka utoto, makamaka ukadaulo wopaka utoto wa magnetron, pakadali pano, chifukwa cha zinthu zilizonse zitha kukonzedwa ndi filimu ya ion bombardment, chifukwa chandamale chimapukutidwa munjira yopaka utoto ku mtundu wina wa substrate, khalidwe la ...
A. Kuchuluka kwa kupopera madzi. Mwachitsanzo, mukapopera madzi a SiO2, kuchuluka kwa kupopera madzi kumatha kufika 200nm/min, nthawi zambiri kufika 10 ~ 100nm/min. Ndipo kuchuluka kwa kupangidwa kwa filimu kumakhala kofanana ndi mphamvu ya ma frequency ambiri. B. Kugwirizana pakati pa filimu ndi substrate ndi kwakukulu kuposa vacuum vacuum vacuum...
Kupopera kwa Magnetron kumaphatikizapo makamaka kunyamula kwa plasma, kupukuta kwa chandamale, kuyika filimu yopyapyala ndi njira zina, mphamvu ya maginito pa njira yopopera ya magnetron idzakhala ndi mphamvu. Mu dongosolo la magnetron sputtering kuphatikiza mphamvu ya maginito ya orthogonal, ma elekitironi amakhudzidwa ndi...
Makina opopera vacuum pamakina opopera ali ndi zofunikira izi: (1) Makina opopera vacuum ayenera kukhala ndi liwiro lalikulu lopopera, lomwe siliyenera kungotulutsa mpweya wotulutsidwa kuchokera ku substrate ndi zinthu zomwe zasanduka nthunzi komanso zigawo zomwe zili mu makina opopera vacuum ...
Chimodzi mwa ubwino waukulu wa makina ang'onoang'ono osinthasintha a PVD vacuum plaster ndi kusinthasintha kwawo. Makina awa adapangidwa kuti agwirizane ndi kukula ndi mawonekedwe osiyanasiyana a substrate, zomwe zimapangitsa kuti akhale abwino kwambiri pakupanga zinthu zazing'ono kapena zopangidwa mwamakonda. Kuphatikiza apo, kukula kwake kochepa komanso...
Pamene maatomu a nembanemba ayamba kuikidwa, kuphulika kwa ma ion kumakhala ndi zotsatira zotsatirazi pa mawonekedwe a nembanemba/substrate. (1) Kusakaniza thupi. Chifukwa cha kulowetsedwa kwa ma ion amphamvu kwambiri, kuphulika kwa maatomu osungidwa ndi kulowetsedwa kwa maatomu pamwamba ndi zochitika za kugundana kwa cascade, ndi ...
Makhalidwe a magnetron sputtering coating (3) Kuchepa kwa mphamvu yotulutsa. Chifukwa cha mphamvu yotsika ya cathode yomwe imagwiritsidwa ntchito pa cholinga, plasma imamangidwa ndi mphamvu ya maginito yomwe ili pafupi ndi cathode, motero imaletsa tinthu tamphamvu kwambiri kumbali ya substrate yomwe anthu adawombera. ...
Poyerekeza ndi ukadaulo wina wokutira, wokutira wa magnetron sputtering umadziwika ndi zinthu zotsatirazi: magawo ogwira ntchito ali ndi kusintha kwakukulu kwamphamvu kwa liwiro loyika zokutira ndipo makulidwe (mkhalidwe wa malo okutira) amatha kulamulidwa mosavuta, ndipo palibe kapangidwe...