Igwe mkpuchi ion sputtering nke na-arụ ọrụ n'ụzọ zuru oke na-eji ọganihu kachasị ọhụrụ na teknụzụ sputtering ion iji nye usoro mkpuchi na-enweghị ntụpọ na nke dị irè. Site na ikike ya na-arụ ọrụ n'ụzọ zuru oke, igwe ahụ na-enye nkenke na nguzozi na-enweghị atụ, na-ahụ na coatin kachasị mma...
Ojiji nke igwe mkpuchi ihe mkpuchi ígwè na-egbochi mkpịsị aka na-anọchite anya nnukwu ọganihu na teknụzụ nchekwa elu. Site na ijikọta teknụzụ ikuku na mkpuchi pụrụ iche, igwe ndị a na-emepụta akwa dị gịrịgịrị, nke na-anaghị emebi emebi n'elu elu ígwè nke na-echebe megide mkpịsị aka na ihe ndị ọzọ...
N'ihe gbasara mmepụta ihe dị elu na mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ọchịchọ maka igwe mkpuchi ihe eji eme ihe na-amụbawanye. Igwe ndị a dị elu na-agbanwe ụzọ e si ekpuchi ọtụtụ ihe, na-enye ogologo oge, arụmọrụ na ịma mma ka mma. Na blọgụ a, po...
Na mmepe na-abawanye nke teknụzụ mkpuchi sputtering, karịsịa teknụzụ mkpuchi magnetron sputtering, ugbu a, maka ihe ọ bụla enwere ike ịkwadebe site na ihe nkiri ion bombu lekwasịrị anya, n'ihi na ebumnuche ahụ na-agbaze n'usoro mkpuchi ya na ụdị substrate ụfọdụ, àgwà nke...
A. Oke ọsọ ịgbasa mmiri. Dịka ọmụmaatụ, mgbe ị na-agbasa mmiri SiO2, ọnụego itinye ihe nwere ike iru 200nm/min, nke na-abụkarị 10~100nm/min. Ọkwa nke mmepụta ihe nkiri ahụ dabere kpọmkwem na ike ugboro ugboro dị elu. B. Nrapado dị n'etiti ihe nkiri ahụ na substrate karịrị vap vap...
Usoro mmepụta ihe nkiri oriọna ụgbọala bụ akụkụ dị mkpa nke ụlọ ọrụ mmepụta ụgbọala. Usoro mmepụta ndị a na-ahụ maka mkpuchi na mmepụta nke ihe nkiri oriọna ụgbọala, nke na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịkwalite mma na ọrụ nke oriọna ụgbọala. Dịka ọchịchọ maka...
Ịmịpụta magnetron gụnyere mbufe plasma mwepụ, ịcha ihe mgbaru ọsọ, itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na usoro ndị ọzọ, ebe ndọta magnetron na usoro ịmịpụta magnetron ga-enwe mmetụta. Na sistemụ ịmịpụta magnetron tinyere ebe ndọta orthogonal, elektrọn na-adabere na...
Igwe mkpuchi uzuoku na sistemụ mgbapụta nwere ihe ndị a dị mkpa: (1) Sistemụ mkpuchi uzuoku kwesịrị inwe oke ọnụego mgbapụta, nke ekwesịghị naanị ịgbapụta gas ndị ewepụtara na substrate na ihe ndị a gbapụrụ agbapụ na ihe ndị dị na vacuum ch...
Igwe mkpuchi ọla PVD na-eji usoro a maara dị ka Physical Vapor Deposition (PVD) iji tinye mkpuchi dị gịrịgịrị mana siri ike n'elu ihe ịchọ mma. Usoro a gụnyere iji ihe mgbaru ọsọ ígwè siri ike dị elu, nke a na-ekupụ n'ime ebe ikuku na-adịghị. Uzuoku ígwè nke na-esi na ya pụta na-eme ka...
Otu n'ime uru dị na obere igwe mkpuchi ihe mkpuchi PVD na-agbanwe agbanwe bụ ọtụtụ ihe ha na-eme. Emebere igwe ndị a ka ha nabata ọtụtụ nha na ọdịdị dị iche iche nke substrate, na-eme ka ha dị mma maka obere nhazi ma ọ bụ usoro nrụpụta ahaziri ahazi. Na mgbakwunye, obere nha ya na nhazi ya na-agbanwe agbanwe...
N'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-agbanwe agbanwe, ngwaọrụ ịkpụ ihe na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkpụzi ngwaahịa anyị na-eji kwa ụbọchị. Site na ịkpụ ihe ziri ezi na ụlọ ọrụ ụgbọ elu ruo na imewe dị mgbagwoju anya na ngalaba ahụike, ọchịchọ maka ngwaọrụ ịkpụ ihe dị elu na-aga n'ihu na-arị elu. Iji mezuo ọchịchọ a, US...
Mgbe ntinye nke atọm membrane malitere, bọmbụ ion nwere mmetụta ndị a na njikọ membrane/substrate. (1) Ngwakọta anụ ahụ. N'ihi ntinye ion ike dị elu, ịgbasa atọm ndị a na-etinye na ntinye azụ nke atọm elu na ihe mberede nkwekọrịta cascade, wi...
Ntufu bụ ihe na-eme ka ihe ndị na-arụ ọrụ ike (nke a na-akpọkarị ion gas dị mma) kụọ elu ihe siri ike (nke a na-akpọ ihe a na-achọ n'okpuru), na-eme ka atọm (ma ọ bụ molekul) dị n'elu ihe a na-achọ n'ime ya gbapụ. Grove chọpụtara ihe a na 1842 mgbe...
Àgwà nke mkpuchi magnetron sputtering (3) Ike dị ala na-agbapụta. N'ihi obere voltaji kathode etinyere na ihe a na-achọ, a na-ejikọta plasma site na oghere magnet n'ime oghere dị nso na kathode ahụ, si otú a na-egbochi ihe ndị nwere ike dị elu n'akụkụ ihe ndị a gbara.
Ma e jiri ya tụnyere teknụzụ mkpuchi ndị ọzọ, mkpuchi magnetron sputtering mara atụmatụ ndị a: paramita ọrụ nwere nnukwu mgbanwe mgbanwe nke mkpuchi ntinye ọsọ na ọkpụrụkpụ (ọnọdụ nke ebe a kpuchiri) enwere ike ịchịkwa ya ngwa ngwa, ọ dịghịkwa imewe...